大理石固定装置及激光加工设备的制作方法

1.本技术属于加工设备技术领域，更具体地说，涉及一种大理石固定装置及激光加工设备。


背景技术：

2.晶圆激光加工设备设有机柜，机柜的底座承载有大理石，运动平台设置于大理石。运动平台是直接通过螺丝固定于机柜的底座。晶圆激光加工设备的加工效率较高，运动平台的加速度较高，运动平台的振动会快速传递到机柜的底座，导致机柜的底座晃动。


技术实现要素：

3.本技术的实施例提供一种大理石固定装置及激光加工设备，能保障底座的稳定性。
4.第一方面，本技术的实施例提供一种大理石固定装置，包括：
5.底座；
6.减振垫，承载于所述底座；
7.大理石，承载于所述减振垫；
8.减振固定机构，承载于所述底座；
9.所述减振固定机构位于所述大理石的外侧且抵持于所述大理石，以固定所述大理石在二维平面的位置。
10.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述减振固定机构包括：
11.可调减振部件，承载于所述底座；
12.所述可调减振部件位于所述大理石的外侧且能通过相对所述大理石伸出或缩回来抵持于所述大理石。
13.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述减振固定机构还包括：
14.固定减振部件，承载于所述底座；
15.所述固定减振部件位于所述大理石的外侧且抵持于所述大理石。
16.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述可调减振部件包括：
17.第一安装主体，承载于所述底座且位于所述大理石的外侧；
18.减振脚杯，设置于所述第一安装主体且能相对所述第一安装主体伸出或缩回，以抵持于所述大理石。
19.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述固定减振部件包括：
20.第二安装主体，承载于所述底座且位于所述大理石的外侧；
21.弹性体，设置于所述第二安装主体且抵持于所述大理石。
22.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述固定减振部件位于所述大理石的对角线的一侧以对所述大理石定位；所述可调减振部件位于所述对角线的另一侧以通过相对所述大理石伸长或缩回来顶紧所述大理石。
23.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述固定减振部件和所述可调减振部件的数量为多个，所述大理石为长方体；
24.所述大理石的第一角的外侧设有两个所述固定减振部件；
25.所述大理石的第二角的外侧设有一个所述可调减振部件和一个所述固定减振部件；
26.所述大理石的第三角的外侧设有两个所述可调减振部件；
27.所述大理石的第四角的外侧设有一个所述可调减振部件和一个所述固定减振部件。
28.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述大理石设有定位孔；
29.所述大理石固定装置还包括：
30.紧固件，穿设于所述定位孔和所述减振垫，在大理石固定装置的高度方向将所述大理石与所述底座固定。
31.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述定位孔的数量为多个，各所述定位孔在所述大理石的表面分散设置且呈三角形分布，各所述定位孔穿设有所述紧固件以在不同位置将所述大理石与所述底座固定。
32.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述减振垫的数量为多个且分散设置于所述底座，所述大理石承载于各所述减振垫。
33.第二方面，本技术的实施例提供一种激光加工设备，包括运动平台和上述任一项所述大理石固定装置；所述运动平台设置于所述大理石。
34.在第二方面的一些可能的实施方式中，所述底座为设备机柜底座。
35.本技术的实施例与现有技术相比存在的有益效果是：
36.减振垫位于底座和大理石之间，以吸收大理石在大理石固定装置的高度方向的振动能量；承载于底座的减振固定机构位于大理石的外侧且抵持于大理石，以固定大理石在二维平面的位置并吸收大理石在二维平面的振动能量；这样，能防止大理石将振动传递至底座，能保障底座的稳定性。
附图说明
37.为了更清楚地说明本技术的实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
38.图1为本技术一实施例提供的大理石固定装置的立体图；
39.图2为本技术一实施例提供的大理石固定装置的主视图；
40.图3为本技术一实施例提供的大理石固定装置的可调减振部件的立体图；
41.图4为本技术一实施例提供的大理石固定装置的固定减振部件的立体图。
具体实施方式
42.为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图1至图4及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施
例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
43.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
44.需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
45.应当理解，在本技术说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
46.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
47.本技术的实施例提供一种激光加工设备和一种大理石固定装置。前述激光加工设备包括激光器和前述大理石固定装置。前述激光加工设备可以是激光切割设备，比如用于切割晶圆的激光切割设备。
48.图1为本技术一实施例提供的大理石固定装置的立体图。图2为本技术一实施例提供的大理石固定装置的主视图。参考图1和图2，本技术的实施例提供的大理石固定装置包括底座1、减振垫2、大理石3和减振固定机构4。
49.底座1可以为设备机柜底座，比如激光加工设备的机柜底座。
50.减振垫2承载于底座1。
51.减振垫2可以是橡胶或者聚氨酯弹性体。
52.其中，聚氨酯(polyurethane，简称pu)弹性体是一种强度好且压缩变形小，介于塑料和橡胶之间的一种新型材料。聚氨酯弹性体具有塑料的刚性，又有橡胶的弹性。聚氨酯弹性体具有缓冲、静音、减振、耐磨、耐高温等特点，同时能提高设备的耐磨性，能降低噪音，复原弹性强且可压缩50％，强度高且经久耐用。
53.参考图1，大理石3承载于减振垫2。大理石3一般作为基准平面，用于放置运动平台。运动平台工作时会产生振动并传递至大理石3。
54.减振固定机构4承载于底座1。
55.减振固定机构4位于大理石3的外侧且抵持于大理石3，以固定大理石3在二维平面的位置，也即固定大理石3在x轴方向和y轴方向的位置。
56.前述二维平面可以是水平面。
57.设置于大理石3的运动平台工作时产生振动，振动能量传递至大理石3，再由大理石将振动能量传递至减振垫2和减振固定机构4，由减振垫2和减振固定机构4吸收振动能量。
58.根据上述内容可知，减振垫2位于底座1和大理石3之间，以吸收大理石3在大理石固定装置的高度方向h的振动能量；承载于底座1的减振固定机构4位于大理石3的外侧且抵持于大理石3，以固定大理石3在二维平面的位置并吸收大理石3在二维平面的振动能量；这
样，能减弱大理石与底座1的刚性连接，能提高减振效果，能防止大理石3将振动传递至底座1，能保障底座1的稳定性，能提高加工设备的运行速度。
59.在一些实施例中，减振垫2的数量为多个，分散设置于底座1，大理石3承载于各减振垫2。
60.由多个减振垫2对大理石3进行多点支撑，能保障大理石3与减振垫2充分接触，能进一步提高减振效果。
61.参考图1，在一些实施例中，减振固定机构4包括可调减振部件41。
62.可调减振部件41承载于底座1。
63.可调减振部件41位于大理石3的外侧且能通过相对大理石3伸出或缩回来抵持于大理石3，具体可以是抵持于大理石3的侧表面。这样，能便于安装大理石3，也能适用于固定各种尺寸的大理石3。
64.可调减振部件41的数量可以为多个。各个可调减振部件41抵持于大理石3的不同侧表面，能进一步便于安装大理石3，也能适用于固定更多尺寸的大理石3。
65.图3为本技术一实施例提供的大理石固定装置的可调减振部件的立体图。参考图3，在一些实施例中，可调减振部件41包括第一安装主体411和减振脚杯412。
66.第一安装主体411承载于底座1且位于大理石3的外侧。
67.减振脚杯412设置于第一安装主体411且能相对第一安装主体411伸出或缩回，以抵持于大理石3。
68.示例的，减振脚杯412的一端螺纹连接于第一安装主体411，减振脚杯412相对第一安装主体411转动，能相对第一安装主体411伸出或缩回。
69.参考图1，在一些实施例中，减振固定机构4还包括固定减振部件42。
70.固定减振部件42承载于底座1。
71.固定减振部件42位于大理石3的外侧且抵持于大理石3。
72.固定减振部件42用于在固定的位置对大理石3进行定位，作为固定的安装基准，能保持定位的一致性。
73.图4为本技术一实施例提供的大理石固定装置的固定减振部件的立体图。参考图4，在一些实施例中，固定减振部件42包括第二安装主体421和弹性体422。
74.第二安装主体421承载于底座1且位于大理石3的外侧。
75.弹性体422设置于第二安装主体421且抵持于大理石。
76.弹性体422可以是聚氨酯弹性体或者橡胶。
77.参考图2，在一些实施例中，固定减振部件42位于大理石的对角线d的一侧以对大理石3定位。
78.可调减振部件41位于对角线d的另一侧以通过相对大理石3伸长或缩回来顶紧大理石3。
79.根据上述内容可知，固定减振部件42在大理石的对角线d的一侧对大理石3进行定位，由可调减振部件41在对角线d的另一侧顶紧大理石3，这样能快速固定和安装各种尺寸的大理石。
80.参考图2，在一些实施例中，可调减振部件41和固定减振部件42的数量为多个，大理石3为长方体。其中，前述长方体包括立方体(立方体为特殊的长方体)。
81.参考图2，长方体状的大理石3具有四个角，分别为第一角3a、第二角3b、第三角3c和第四角3d。
82.大理石3的第一角3a的外侧设有两个固定减振部件42。
83.大理石3的第二角3b的外侧设有一个可调减振部件41和一个固定减振部件42。
84.大理石3的第三角3c的外侧设有两个可调减振部件41。
85.大理石3的第四角3d的外侧设有一个可调减振部件41和一个固定减振部件42。
86.这样，由四个固定减振部件42在大理石的对角线d的一侧对大理石3进行定位，再由四个可调减振部件41在对角线d的另一侧顶紧大理石3，能实现使用较少数量的可调减振部件41和较少数量的固定减振部件42快速固定和安装各种尺寸的大理石。
87.参考图2，在一些实施例中，大理石3设有定位孔30。
88.定位孔30可以为通孔，比如光孔。
89.在一些实施例中，大理石固定装置还包括紧固件(图未示出)。
90.紧固件可以是螺栓或者螺钉。
91.紧固件穿设于定位孔30和减振垫2，以在高度方向h将大理石3与底座1固定。
92.示例的，紧固件穿设于定位孔30和减振垫2，并与底座1螺纹连接，将大理石3与底座1固定。
93.由于减振垫2的存在，能防止紧固件在高度方向h将大理石3与底座1固定时导致大理石3崩裂，能保护大理石3。
94.在一些实施例中，定位孔30的数量为多个，各定位孔30在大理石3的表面分散设置且呈三角形分布，各定位孔30穿设有紧固件以在不同位置将大理石3与底座1固定。这样，能提高大理石3与底座1固定连接的稳定性，能保障大理石3在运输过程中不因振动而从底座1脱落。
95.参考图1，在一些实施例中，大理石固定装置还包括支撑部件5。
96.支撑部件5设置于底座1和减振垫2之间，使得底座1在高度方向h的高度升高，以便于将减振垫2固定于底座1。
97.支撑部件5可以是块状的，也可以是条状的。
98.支撑部件5的数量可以为多个，分散设置于底座1。相对应的，减振垫2的数量为多个，分别设置于支撑部件5。
99.本技术的实施例提供的大理石固定装置能稳定安装大理石，大理石不易损坏，使用寿命更长。
100.本技术的实施例提供的大理石固定装置能应用于led(light-emitting diode，发光二极管)半导体的激光加工自动化领域。
101.以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。