弹性波装置的制作方法

1.本发明涉及弹性波装置。


背景技术：

2.以往，已知有一种利用了在包括linbo3或litao3的压电膜传播的板波的弹性波装置。例如，在下述的专利文献1中，公开了一种利用了作为板波的兰姆波(lamb wave)的弹性波装置。这里，压电基板包括linbo3或litao3。在压电基板的上表面设置有idt电极。在idt电极的连接于一个电位的多个电极指与连接于另一个电位的多个电极指之间施加电压。由此激励兰姆波。在该idt电极的两侧设置有反射器。由此，构成利用了板波的弹性波谐振器。
3.在先技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开2012-257019号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的问题
7.为了实现弹性波装置的小型化，考虑减少电极指的根数。但是，当减少电极指的根数时，q值变低。另一方面，当idt电极的电极指与汇流条的距离过短时，由于它们的干扰而产生不需要的波，存在使谐振特性劣化这样的问题。
8.本发明的目的在于，提供一种即便在推进了小型化的情况下也能够提高q值且谐振特性难以劣化的弹性波装置。
9.用于解决问题的手段
10.在本发明的弹性波装置的某个广义方面中，所述弹性波装置具备：压电膜，其包括铌酸锂或钽酸锂；第一汇流条电极及第二汇流条电极，其设置在所述压电膜上，并且相对置；以及第一电极指及第二电极指，其设置在所述压电膜上，所述第一电极指的一端与所述第一汇流条电极连接，所述第二电极指的一端与所述第二汇流条电极连接，所述弹性波装置利用厚度剪切一次模式的体波，在将所述第一电极指及所述第二电极指延伸的方向设为第一方向、将与所述第一方向正交的方向设为第二方向时，所述第一电极指与所述第二电极指在所述第二方向上相对置，在所述第一汇流条电极与所述第二电极指之间配置有第一间隙，在所述第二汇流条电极与所述第一电极指之间配置有第二间隙，在将相邻的所述第一电极指与所述第二电极指的中心间距离设为p的情况下，所述第一间隙及所述第二间隙的沿着所述第一方向的长度为0.92p以上。
11.在本发明的弹性波装置的另一个广义方面中，所述弹性波装置具备：压电膜，其包括铌酸锂或钽酸锂；第一汇流条电极及第二汇流条电极，其设置在所述压电膜上，并且相对置；以及第一电极指及第二电极指，其设置在所述压电膜上，所述第一电极指的一端与所述第一汇流条电极连接，所述第二电极指的一端与所述第二汇流条电极连接，在将所述压电膜的厚度设为d、将相邻的所述第一电极指与所述第二电极指的中心间距离设为p的情况
下，d/p为0.5以下，在将所述第一电极指及所述第二电极指延伸的方向设为第一方向、将与所述第一方向正交的方向设为第二方向时，所述第一电极指与所述第二电极指在所述第二方向上相对置，在所述第一汇流条电极与所述第二电极指之间配置有第一间隙，在所述第二汇流条电极与所述第一电极指之间配置有第二间隙，所述第一间隙及所述第二间隙的沿着所述第一方向的长度为0.92p以上。
12.发明效果
13.根据本发明的弹性波装置，即便在推进了小型化的情况下，也能够提高q值，并且谐振特性难以劣化。
附图说明
14.图1的(a)是示出本发明的第一实施方式的弹性波装置的外观的简图的立体图，图1的(b)是示出压电膜上的电极构造的俯视图。
15.图2是沿着图1的(a)中的a-a线的局部剖视图。
16.图3的(a)是用于说明在以往的弹性波装置的压电膜传播的兰姆波的示意性正面剖视图，图3的(b)是用于说明本发明的一实施方式的弹性波装置中的在压电膜传播的厚度剪切一次模式的体波的示意性正面剖视图。
17.图4是示出厚度剪切一次模式的体波的振幅方向的图。
18.图5是示出将相邻的第一电极指及第二电极指的中心间距离或者中心间距离的平均距离设为p、将压电膜的厚度设为d的情况下的d/p与作为谐振器的分数带宽之间的关系的图。
19.图6是示出第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度为0.31p～1.54p的情况下的阻抗频率特性的图。
20.图7是图6的放大图。
21.图8是示出第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度为1.54p～9.23p的情况下的阻抗频率特性的图。
22.图9是示出本发明的第二实施方式的弹性波装置的电极构造的俯视图。
23.图10是示出第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度为0.31p～1.54p的情况下的阻抗频率特性的图。
24.图11是示出第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度为0.31p～1.54p的情况下的衰减量频率特性的图。
25.图12是示出本发明的一实施方式的弹性波装置的谐振特性的一例的参考图。
26.图13是示出分数带宽与标准化的杂散的大小之间的关系的图。
27.图14是示出d/2p、金属化率mr、以及分数带宽之间的关系的图。
28.图15是在欧拉角(0
°
，θ，ψ)的linbo3中使d/p无限接近0的情况下的分数带宽的映射的图。
具体实施方式
29.以下，参照附图，对本发明的具体实施方式进行说明，由此使本发明变得清楚。
30.需要说明的是，本说明书所记载的各实施方式是例示的内容，预先指出在不同的
实施方式之间能够进行结构的部分置换或组合。
31.图1的(a)是示出本发明的第一实施方式的弹性波装置的外观的简图的立体图。图1的(b)是示出第一实施方式中的压电膜上的电极构造的俯视图。
32.如图1的(a)所示，弹性波装置1具有压电膜2。压电膜2具有第一主面2a及第二主面2b。第一主面2a及第二主面2b相对置。在本实施方式中，压电膜2是铌酸锂膜。更具体而言，压电膜2是linbo3膜。需要说明的是，压电膜2的材料不限于上述，例如，也可以使用litao3等钽酸锂。压电膜2的厚度优选为40nm以上且1000nm以下。
33.在压电膜2的第一主面2a上设置有功能电极5。如图1的(b)所示，功能电极5具有多个电极指。多个电极指在与压电膜2的厚度方向交叉的方向上排列。多个电极指包括多对第一电极指8及第二电极指9。此外，功能电极5具有第一汇流条电极6及第二汇流条电极7。第一汇流条电极6及第二汇流条电极7相对置。多个第一电极指8的一端分别与第一汇流条电极6连接。多个第一电极指8的另一端与第二汇流条电极7对置。多个第二电极指9的一端分别与第二汇流条电极7连接。多个第二电极指9的另一端与第一汇流条电极6对置。第一电极指8及第二电极指9平行地延伸。多个第一电极指8及多个第二电极指9相互交替插入。
34.这里，将第一电极指8及第二电极指9延伸的方向设为第一方向y，将与第一方向y正交的方向设为第二方向x。在第二方向x上，第一电极指8及第二电极指9相对置。第一方向y及第二方向x的双方是与压电膜2的厚度方向交叉的方向。因此，第一电极指8及第二电极指9也可以说在与压电膜2的厚度方向交叉的方向上对置。
35.第一电极指8及第二电极指9与互不相同的电位连接。在从第二方向x观察时，相邻的一对第一电极指8及第二电极指9重叠的区域是激励区域b。在图1的(b)中，作为例子而示出了一个激励区域b，但多个第一电极指8与多个第二电极指9之间的区域都是激励区域b。
36.这里，将相邻的第一电极指8与第二电极指9的中心间距离设为p。第一电极指8及第二电极指9的中心间距离成为将第一电极指8的第二方向x上的中心与第二电极指9的第二方向x上的中心连结的距离。
37.如图1的(b)所示，在第一汇流条电极6与第二电极指9之间配置有第一间隙g1。在第二汇流条电极7与第一电极指8之间配置有第二间隙g2。在本实施方式中，第一间隙g1及第二间隙g2的沿着第一方向y的长度为0.92p以上。第一间隙g1及第二间隙g2的沿着第一方向y的长度相同。需要说明的是，第一间隙g1及第二间隙g2的沿着第一方向y的长度也可以不同。在第一间隙g1及第二间隙g2中的至少一方，沿着第一方向y的长度为0.92p以上即可。
38.功能电极5包括al、alcu合金等适当的金属或合金。alcu合金中的cu优选为1重量％以上且10重量％以下。功能电极5也可以包括层叠金属膜。在该情况下，例如也可以具有紧贴层。作为紧贴层，例如举出ti层、cr层等。
39.图2是沿着图1的(a)中的a-a线的局部剖视图。
40.在压电膜2的第二主面2b上，隔着绝缘层3层叠有支承构件4。绝缘层3及支承构件4具有框状的形状。绝缘层3具有开口部3a。支承构件4具有开口部4a。由此，形成有气隙10。气隙10是为了不妨碍压电膜2的激励区域b的振动而设置的。支承构件4在俯视下不与至少一对第一电极指8及第二电极指9重叠。需要说明的是，也可以不设置绝缘层3。因此，支承构件4能够直接或间接地层叠于压电膜2的第二主面2b。
41.绝缘层3包括氧化硅。不过，除了氧化硅之外，还能够使用氮氧化硅、氧化铝等适当
的绝缘性材料。支承构件4包括si。构成支承构件4的si的压电膜2侧的面上的面方位可以为(100)，也可以为(111)或(110)。用于支承构件4的si期望为电阻率4kω以上的高电阻。不过，支承构件4也能够使用适当的绝缘性材料或半导体材料而构成。
42.然而，在本实施方式中，在压电膜2上未设置反射器。弹性波装置1不具有反射器。或者，在弹性波装置1具有反射器的情况下，能够减少反射器的电极指的根数。这是因为弹性波装置1利用厚度剪切一次模式的体波。
43.本实施方式的特征在于，弹性波装置1利用厚度剪切一次模式的体波，第一间隙g1及第二间隙g2的沿着第一方向y的长度为0.92p以上。由此，即便在推进了小型化的情况下，也能够提高q值，并且谐振特性难以劣化。以下，与厚度剪切一次模式的详细情况一起来说明该效果的详细情况。
44.如图2所示，相邻的一对第一电极指8及第二电极指9的构造在第二方向x上设置有多对。该对数无需为整数对，也可以是1.5对或2.5对等。需要说明的是，功能电极5中的电极指相邻并非指电极指彼此配置为直接接触的情况，而是指电极指彼此隔着间隔而配置的情况。另外，在第一电极指8与第二电极指9相邻的情况下，在第一电极指8与第二电极指9之间不配置其他的信号电极或接地电极。
45.在弹性波装置1的驱动时，向多个第一电极指8与多个第二电极指9之间施加交流电压。更具体而言，向第一汇流条电极6与第二汇流条电极7之间施加交流电压。由此，在压电膜2中，厚度剪切一次模式的体波被激励。
46.在弹性波装置1中，在将压电膜2的厚度设为d、将相邻的第一电极指8及第二电极指9的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。因此，上述厚度剪切一次模式的体波有效地被激励，能够得到良好的谐振特性。
47.弹性波装置1具备上述结构，并且利用厚度剪切一次模式的体波。由此，即便为了实现小型化而减少了第一电极指8及第二电极指9的对数，也难以产生q值的下降。
48.在本实施方式中，在压电膜2使用了z切割的压电体。因此，第二方向x成为与压电膜2的极化方向正交的方向。需要说明的是，在压电膜2使用其他的切割角的压电体的情况下，不限于此。
49.参照图3的(a)及图3的(b)对厚度剪切一次模式的体波与以往利用的兰姆波的不同进行说明。
50.图3的(a)是用于说明在专利文献1所记载的弹性波装置的压电膜传播的兰姆波的示意性正面剖视图。这里，波如箭头所示那样在压电膜201中传播。这里，在压电膜201中，第一主面201a与第二主面201b对置，连结第一主面201a与第二主面201b的厚度方向是第三方向z。第二方向x是idt电极的电极指排列的方向。如图3的(a)所示，兰姆波沿第二方向x传播。由于兰姆波是板波，因此，虽然压电膜201整体上振动，但是波沿第二方向x传播。因此，在idt电极的第二方向x两侧配置反射器，得到谐振特性。
51.与此相对，如图3的(b)所示，在本发明的弹性波装置中，振动位移是厚度剪切方向。因此，波几乎沿第三方向z传播并发生谐振。因此，波的第二方向x的成分比第三方向z的成分显著小。而且，由于通过该第三方向z的波的传播而得到谐振特性，因此，即便减少反射器的电极指的根数，也难以产生传播损耗。此外，即便为了推进小型化而减少了包括第一电极指8及第二电极指9的电极对的对数，也难以产生q值的下降。
52.需要说明的是，如图4所示，厚度剪切一次模式的体波的振幅方向在压电膜2的激励区域所包含的第一区域451与激励区域所包含的第二区域452中相反。在图4中，示意性示出在第一电极指8与第二电极指9之间施加了第二电极指9相比于第一电极指8成为高电位的电压的情况下的体波。第一区域451是激励区域中的与压电膜2的厚度方向正交且将压电膜2一分为二的虚拟平面vp1与第一主面2a之间的区域。第二区域452是激励区域中的虚拟平面vp1与第二主面2b之间的区域。
53.如上所述，在弹性波装置1中，配置有多对第一电极指8及第二电极指9。厚度剪切一次模式不使波沿第二方向x传播，因此，无需设置多对包括第一电极指8及第二电极指9的电极对。即，设置有至少一对第一电极指8及第二电极指9即可。
54.在弹性波装置1中，第一电极指8是与信号电位连接的电极，第二电极指9是与接地电位连接的电极。不过，也可以是，第一电极指8与接地电位连接，第二电极指9与信号电位连接。在本实施方式中，如上所述，至少一对电极指是与信号电位连接的电极指或者与接地电位连接的电极指，未设置浮置电极。
55.然而，在本实施方式中，d/p为0.5以下。需要说明的是，d/p优选为0.24以下。在该情况下，能够得到更加良好的谐振特性。参照图5对此进行说明。
56.使d/p变化，得到多个弹性波装置。图5是示出该d/p与作为弹性波装置的谐振器的分数带宽之间的关系的图。
57.根据图5可知，在d/p＞0.5时，即便调整d/p，分数带宽也小于5％。与此相对，在d/p≤0.5的情况下，如果在该范围内使d/p变化，则能够使分数带宽成为5％以上。因此，能够构成具有高耦合系数的谐振器。另外，在d/p为0.24以下的情况下，能够将分数带宽提高到7％以上。在此基础上，如果在该范围内调整d/p，则能够得到分数带宽更加宽的谐振器，能够实现具有更加高的耦合系数的谐振器。需要说明的是，例如，在压电膜2具有厚度偏差的情况下，也可以采用将该厚度平均化而得到的值。
58.相邻的第一电极指8及第二电极指9的中心间距离p优选为1μm以上且10μm以下。在将功能电极5的多个电极指的沿着第二方向x的尺寸设为宽度时，第一电极指8及第二电极指9的宽度分别优选为50nm以上且1000nm以下。
59.这里，如图1的(b)所示，在第一实施方式中，第一间隙g1及第二间隙g2的沿着第一方向y的长度为0.92p以上。由此，即便在推进了小型化的情况下，谐振特性也难以劣化。以下说明该详细情况。
60.使第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度不同，准备了多个弹性波装置。对该多个弹性波装置的阻抗特性进行了测定。需要说明的是，在各弹性波装置中，将第一电极指及第二电极指的对数设为一对。所准备的各弹性波装置的设计参数如下所述。
61.压电膜：材料
…
linbo3，厚度400nm
62.包括第一电极指及第二电极指的电极对的对数＝1对
63.第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度：0.31p、0.62p、0.92p、1.23p、1.54p、3.08p、4.62p、6.15p或者9.23p。
64.图6是示出第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度为0.31p～1.54p的情况下的阻抗频率特性的图。图7是图6的放大图。图8是示出第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度为1.54p～9.23p的情况下的阻抗频率特性的图。
65.如图6及图7所示，可知相比于第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度为0.92p以上的情况，在上述长度为0.62p的情况下，阻抗特性劣化。在上述长度为0.31p的情况下，阻抗特性进一步劣化。这样，可知在上述长度比0.92p短的情况下，谐振特性劣化。另一方，可知在第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度为0.92p以上的情况下，阻抗特性几乎不变。此外，如图8所示，可知在第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度为1.54p以上的情况下，阻抗特性不特别发生变化。
66.这里，为了使弹性波装置变得小型，除了减少电极指的根数之外，也可以缩短第一间隙及第二间隙的沿着第二方向的长度。如图6～图8所示，即便将第一间隙及第二间隙的沿着第二方向的长度缩短至0.92p，谐振特性也难以劣化。在第一实施方式中，第一间隙g1及第二间隙g2的沿着第一方向y的长度为0.92p以上。在此基础上，在第一实施方式中，利用厚度剪切一次模式的体波。由此，即便在推进了弹性波装置1的小型化的情况下，也能够提高q值，并且谐振特性难以劣化。
67.需要说明的是，第一间隙g1及第二间隙g2的沿着第一方向y的长度优选为9.2p以下，更优选为3p以下。由此，能够适当地推进弹性波装置1的小型化。
68.在第一实施方式中，第二电极指9的前端隔开第一间隙g1而与第一汇流条电极6对置。第一电极指8的前端隔开第二间隙g2而与第二汇流条电极7对置。需要说明的是，不限于此，第一间隙g1配置在第一汇流条电极6与第二电极指9之间即可。第二间隙g2配置在第二汇流条电极7与第一电极指8之间即可。以下示出具有这种结构的第一实施方式以外的例子。
69.图9是示出第二实施方式的弹性波装置的电极构造的俯视图。
70.本实施方式在功能电极15具有多个第一虚设电极指18及多个第二虚设电极指19这一方面与第一实施方式不同。除了上述方面以外，本实施方式的弹性波装置具有与第一实施方式的弹性波装置1相同的结构。
71.多个第一虚设电极指18的一端分别与第一汇流条电极6连接。多个第一虚设电极指18与多个第二电极指9分别对置。在本实施方式中，第一间隙g1也配置在第一汇流条电极6与第二电极指9之间。不过，第一虚设电极指18的前端隔开第一间隙g1而与第二电极指9的前端对置。
72.多个第二虚设电极指19的一端分别与第二汇流条电极7连接。多个第二虚设电极指19与多个第一电极指8分别对置。在本实施方式中，第二间隙g2也配置在第二汇流条电极7与第一电极指8之间。不过，第二虚设电极指19的前端隔开第二间隙g2而与第一电极指8的前端对置。
73.在本实施方式中，弹性波装置也利用厚度剪切一次模式的体波，第一间隙g1及第二间隙g2的沿着第一方向y的长度也为0.92p以上。由此，即便在推进了弹性波装置的小型化的情况下，也能够提高q值，并且谐振特性难以劣化。
74.需要说明的是，可知即便使第一虚设电极指18及第二虚设电极指19的宽度在0.15μm以上且0.3μm以下的范围内不同，主模式的特性也不特别发生变化。可知即便使第一虚设电极指18及第二虚设电极指19的沿着第一方向y的长度在1μm以上且5μm以下的范围内不同，主模式的特性也不特别发生变化。
75.这里，使第一间隙g1及第二间隙g2的沿着第一方向y的长度不同，准备了多个弹性
波装置。对该多个弹性波装置的阻抗特性进行了测定。需要说明的是，在各弹性波装置中，将第一电极指及第二电极指的对数设为一对。各弹性波装置的设计参数如下所述。
76.压电膜：材料
…
linbo3，厚度400nm
77.包括第一电极指及第二电极指的电极对的对数＝1对
78.第一电极指及第二电极指的中心间距离p：3.25μm
79.第一虚设电极指及第二虚设电极指的沿着第一方向的长度：3μm
80.第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度：0.31p、0.62p、0.92p、1.23p或者1.54p。
81.图10是示出第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度为0.31p～1.54p的情况下的阻抗频率特性的图。
82.如图10所示，可知相比于第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度为0.92p以上的情况，在上述长度为0.62p的情况下，阻抗特性劣化。在上述长度为0.31p的情况下，阻抗特性进一步劣化。这样，可知在上述长度比0.92p短的情况下，谐振特性劣化。在图9所示的本实施方式中，第一间隙g1及第二间隙g2的沿着第一方向y的长度为0.92p以上，因此，谐振特性难以劣化。
83.图11是示出第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度为0.31p～1.54p的情况下的衰减量频率特性的图。
84.如图11所示，可知在第一间隙及第二间隙的沿着第一方向的长度为0.31p的情况下，在箭头c所示的频率处，产生了较大的纹波。与此相对，在上述长度为0.92p以上的情况下，纹波得到抑制。在图9所示的本实施方式中，第一间隙g1及第二间隙g2的沿着第一方向y的长度为0.92p以上，因此，能够抑制纹波。
85.此外，在本发明中，针对激励区域b的上述相邻的第一电极8、第二电极9的金属化率mr期望满足mr≤1.75(d/p) 0.075。在该情况下，能够有效地减小杂散。参照图12及图13对此进行说明。
86.图12是示出本发明的一实施方式的弹性波装置的谐振特性的一例的参考图。箭头e所示的杂散出现在谐振频率与反谐振频率之间。需要说明的是，这里，设为d/p＝0.08，并且将linbo3的欧拉角设为(0
°
，0
°
，90
°
)。另外，设为上述金属化率mr＝0.35。
87.参照图1的(b)对金属化率mr进行说明。在图1的(b)的电极构造中，设仅设置有一对第一电极8、第二电极9。在该情况下，由单点划线包围的部分成为激励区域b。详细而言，该激励区域b包括下述的1)～3)的区域。1)在第二方向y上，第一电极指8中的与第二电极指9重叠的区域。2)在第二方向y上，第二电极指9中的与第一电极指8重叠的区域。3)在第二方向y上，第一电极指8与第二电极指9之间的区域中的与第一电极指8及第二电极指9重叠的区域。而且，相对于该激励区域b的面积的激励区域b内的第一电极指8、第二电极指9的面积成为金属化率mr。即，金属化率mr是金属化部分的面积相对于激励区域b的面积的比。
88.需要说明的是，在设置有多对第一电极指8和第二电极指9的情况下，将全部激励区域b所包含的金属化部分相对于激励区域b的合计面积的比例设为mr即可。
89.图13是示出按照本发明而构成了多个弹性波谐振器的情况下的分数带宽与标准化的杂散的大小之间的关系的图。杂散的大小是杂散的相位旋转量通过180度而标准化的大小。需要说明的是，关于分数带宽，对压电膜的厚度或电极指的尺寸进行了各种变更、调
整。另外，图13是使用了z切割的包括linbo3的压电膜的情况下的结果，但在使用其他切割角的压电膜的情况下，也成为同样的趋势。
90.在图13中的由椭圆j包围的区域，杂散变大为1.0。根据图13可知，当分数带宽超过0.17时，即，超过17％时，即便使构成分数带宽的参数变化，杂散级别为1以上的较大的杂散也出现在通带内。因此，分数带宽优选为17％以下。在该情况下，通过调整压电层2的厚度、第一电极指8、第二电极指9的尺寸等，能够减小杂散。
91.图14是示出d/2p、金属化率mr以及分数带宽之间的关系的图。构成按照本发明且d/2p和mr不同的各种弹性波装置，对分数带宽进行了测定。图14的虚线d的右侧的标注阴影线而示出的部分是分数带宽为17％以下的区域。该标注了阴影线的区域与未标注阴影线的区域的边界由mr＝3.5(d/2p) 0.075表示。即，mr＝1.75(d/p) 0.075。因此，优选为mr≤1.75(d/p) 0.075。在该情况下，容易使分数带宽成为17％以下。更优选为图14中的单点划线d1所示的mr＝3.5(d/2p) 0.05的右侧的区域。即，更优选为mr≤1.75(d/p) 0.05。由此，能够使分数带宽更加可靠地成为17％以下。
92.图15是示出相对于使d/p无限接近0的情况下的linbo3的欧拉角(0
°
，θ，ψ)的分数带宽的映射的图。图15的标注阴影线而示出的部分是至少得到5％以上的分数带宽的区域，当近似该区域的范围时，成为由下述的式(1)、式(2)及式(3)表示的范围。
93.(0
°±
10
°
，0
°
～20
°
，任意的ψ)
…
式(1)
94.(0
°±
10
°
，20
°
～80
°
，0
°
～60
°
(1-(θ-50)2/900)
1/2
)或者(0
°±
10
°
，20
°
～80
°
，[180
°‑
60
°
(1-(θ-50)2/900)
1/2
]～180
°
)
…
式(2)
[0095]
(0
°±
10
°
，[180
°‑
30
°
(1-(ψ-90)2/8100)
1/2
]～180
°
，任意的ψ)
…
式(3)
[0096]
因此，在上述式(1)、式(2)或者式(3)的欧拉角范围的情况下，能够充分地扩大分数带宽，是优选的。
[0097]
附图标记说明
[0098]1…
弹性波装置；
[0099]2…
压电膜；
[0100]
2a
…
第一主面；
[0101]
2b
…
第二主面；
[0102]3…
绝缘层；
[0103]
3a
…
开口部；
[0104]4…
支承构件；
[0105]
4a
…
开口部；
[0106]5…
功能电极；
[0107]
6、7
…
第一汇流条电极、第二汇流条电极；
[0108]
8、9
…
第一电极指、第二电极指；
[0109]
10
…
气隙；
[0110]
15
…
功能电极；
[0111]
18、19
…
第一虚设电极指、第二虚设电极指；
[0112]
201
…
压电膜；
[0113]
201a、201b
…
第一主面、第二主面；
[0114]
451、452
…
第一区域、第二区域；
[0115]b…
激励区域；
[0116]
g1、g2
…
第一间隙、第二间隙；
[0117]
vp1
…
虚拟平面。