用于电子枪的激光引入装置及包括其的超快扫描电镜

技术特征：
1.一种用于将脉冲激光引入电子枪的激光引入装置，其中所述电子枪包括具有空腔的主体、阳极帽、布置在所述主体的内侧顶壁上的电子枪灯丝，以及包围所述电子枪灯丝并具有栅极帽孔的栅极帽，其中所述主体的侧壁上具有第一窗口，所述主体的底壁上具有与所述栅极帽孔相对布置的第一出射孔，所述阳极帽布置在所述第一出射孔上，其特征在于，所述激光引入装置包括：布置在所述主体内的反射组件；反光装置，所述反光装置布置在所述阳极帽顶面以朝向所述栅极帽，其中所述反射组件被设置为从第一窗口入射并经过所述反射组件引导的脉冲激光能够被所述反光装置反射以穿过所述栅极帽孔照射所述电子枪灯丝。2.根据权利要求1所述的激光引入装置，其特征在于，所述反射组件包括：具有相对平行的旋转轴线的第一反射镜和第二反射镜，以及承载镜托组件，其将所述第一反射镜和第二反射镜相对地间隔布置。3.根据权利要求2所述的激光引入装置，其特征在于，所述承载镜托组件包括长条状第一镜托部、第二镜托部和结合部，以及长条状的且相对布置的两个支架部，其中所述第一反射镜布置在所述第一镜托部上，所述第二反射镜布置在所述第二镜托部上，所述第一镜托部和第二镜托部平行地布置于所述两个支架部之间并能够沿各自的长度方向轴转以形成所述第一反射镜和第二反射镜的所述旋转轴线；以及所述结合部固定连接在所述两个支架部之间，所述第一镜托部布置在所述第二镜托部和所述结合部之间。4.根据权利要求3所述的激光引入装置，其特征在于，所述两个支架部的每一个具有沿长度方向延伸的中空槽，所述第一镜托部和第二镜托部的每一个延伸穿过两个所述中空槽以使其能够沿所述两个中空槽滑动或轴转，并且能够被螺栓部件从所述两个中空槽的外侧固定。5.根据权利要求1所述的激光引入装置，其特征在于，所述承载镜托组件由导电材质构成以能够将所述反射组件表面上积累的电子导出所述电子枪。6.根据权利要求1至5任一项所述的激光引入装置，其特征在于，还包括至少一个配合镜托组件，所述至少一个配合镜托组件与所述承载镜托组件具有相同的形状和材质并且与所述承载镜托组件相对分散地布置在所述阳极帽周围的所述底壁上。7.根据权利要求6所述的激光引入装置，其特征在于，所述至少一个配合镜托组件和所述承载镜托组件的布置位置相对于所述栅极帽孔指向所述第一出射孔的轴线方向是轴对称的。8.根据权利要求1所述的激光引入装置，其特征在于，所述反光装置为中心具有通孔的圆形薄层，其表面积足够大以使得从所述第一窗口入射的脉冲激光能够经过所述反光装置的外边缘反射而进入所述栅极帽孔并照射所述电子枪灯丝，以及所述反光装置与所述阳极帽布置为一体成形。9.根据权利要求8所述的激光引入装置，其特征在于，所述脉冲激光相对于所述栅极帽孔指向所述第一出射孔的轴线方向能够以预定小角度进入所述栅极帽孔并照射所述电子枪灯丝，所述预定小角度在10
°
至45
°
范围内。10.根据权利要求1所述的激光引入装置，其特征在于，所述电子枪的侧壁被设置为可
拆卸连接，所述激光引入装置还包括管状加长件，所述管状加长件能够与拆卸后的所述电子枪在其所述侧壁处接合以形成密封的完整腔体。11.根据权利要求1所述的激光引入装置，其特征在于，所述承载镜托组件通过微机电系统控制所述反射组件平移或旋转。12.一种具有超快激光源的扫描电镜，其特征在于，还包括如权利要求1至10任一项所述的用于将所述超快激光源生成的脉冲激光引入其电子枪的激光引入装置。

技术总结
本发明提供了一种用于将脉冲激光引入电子枪的激光引入装置，其中电子枪包括具有空腔的主体、阳极帽、布置在所述主体顶壁上的电子枪灯丝，以及包围所述电子枪灯丝并具有栅极帽孔的栅极帽；主体的侧壁上具有第一窗口，底壁上具有与栅极帽孔相对布置的第一出射孔或通道，阳极帽布置在第一出射孔上；激光引入装置包括：布置在主体内的反射组件；反光装置，反光装置布置在阳极帽顶面以朝向栅极帽，反射组件被设置为从第一窗口入射并经过所述反射组件引导的脉冲激光能够被反光装置反射以穿过栅极帽孔照射电子枪灯丝。根据本声明的激光引入装置能够将超快光源以更佳入射角度引入现有扫描电镜并消除电场畸变，具有更低的成本和更高的探测性能和适用范围。高的探测性能和适用范围。高的探测性能和适用范围。


技术研发人员：田源 杨冬 李中文 李俊 田焕芳 杨槐馨 李建奇
受保护的技术使用者：中国科学院物理研究所
技术研发日：2021.12.21
技术公布日：2022/11/29