掩膜装置及其控制方法、镀膜设备与流程

技术特征：
1.一种掩膜装置，其特征在于，包括：基座；掩膜板，所述掩膜板活动地设置在所述基座上；驱动组件，所述驱动组件与所述掩膜板连接，用于驱动所述掩膜板运动以调整所述掩膜板伸出所述基座的尺寸。2.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动件和传动部件，所述传动部件连接所述驱动件和所述掩膜板，所述驱动件通过所述传动部件驱动所述掩膜板运动。3.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述传动部件包括齿轮传动机构。4.根据权利要求3所述的掩膜装置，其特征在于，所述齿轮传动机构包括齿轮和与所述齿轮啮合的齿条，所述齿轮与所述驱动件连接，所述齿条与所述掩膜板可拆卸地连接。5.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述基座包括底座和盖板，所述底座和所述盖板合围成安装空间，所述传动部件至少部分设置在所述安装空间内，所述驱动件位于所述安装空间外，所述掩膜板能够伸出或缩回所述安装空间。6.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述掩膜板的数量为多个，多个所述掩膜板沿所述掩膜板的宽度方向排布，每个所述掩膜板连接有一个所述驱动组件。7.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述掩膜装置还包括与所述驱动组件连接的控制器，所述控制器用于控制所述驱动组件的工作状态，以调整所述掩膜板伸出所述基座的尺寸。8.根据权利要求7所述的掩膜装置，其特征在于，所述控制器用于获取镀膜膜层的厚度，并根据所述镀膜膜层的厚度控制所述驱动组件的工作状态。9.根据权利要求8所述的掩膜装置，其特征在于，所述控制器用于在所述镀膜膜层的厚度大于阈值时，控制所述驱动组件驱动所述掩膜板，以增大所述掩膜板相对于所述基座的伸出量；以及用于在所述镀膜膜层的厚度小于阈值时，控制所述驱动组件驱动所述掩膜板，以减小所述掩膜板相对于所述基座的伸出量。10.根据权利要求9所述的掩膜装置，其特征在于，所述控制器用于确定所述掩膜板的伸缩量，及用于根据所述伸缩量确定所述驱动组件的电机的转动方向和转动角度；以及用于根据确定的所述转动方向和所述转动角度控制所述电机转动。11.一种镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1-10任一项所述的掩膜装置。12.一种控制方法，用于掩膜装置，其特征在于，所述掩膜装置包括基座、掩膜板和驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述掩膜板运动以调整所述掩膜板伸出所述基座的尺寸；所述控制方法包括：获取镀膜膜层的厚度；根据所述镀膜膜层的厚度控制所述驱动组件的工作状态，以调整所述掩膜板伸出所述基座的尺寸。13.根据权利要求12所述的控制方法，其特征在于，所述根据所述镀膜膜层的厚度控制所述驱动组件的工作状态，以调整所述掩膜板伸出所述基座的尺寸，包括：在所述镀膜膜层的厚度大于阈值时，控制所述驱动组件驱动所述掩膜板，以增大所述掩膜板相对于所述基座的伸出量；
在所述镀膜膜层的厚度小于阈值时，控制所述驱动组件驱动所述掩膜板，以减小所述掩膜板相对于所述基座的伸出量。14.根据权利要求12所述的控制方法，其特征在于，所述根据所述镀膜膜层的厚度控制所述驱动组件的工作状态，以调整所述掩膜板伸出所述基座的尺寸，包括：确定所述掩膜板的伸缩量；根据所述伸缩量确定所述驱动组件的电机的转动方向和转动角度；根据确定的所述转动方向和所述转动角度控制所述电机转动。

技术总结
本申请公开了一种掩膜装置及其控制方法、镀膜设备，能够解决在基材上镀膜不均匀的问题。本申请实施方式的掩膜装置包括：基座；掩膜板，掩膜板活动地设置在基座上；驱动组件，驱动组件与掩膜板连接，用于驱动掩膜板运动以调整掩膜板伸出基座的尺寸。本申请实施方式的掩膜装置中，驱动组件驱动掩膜板运动以调整掩膜板伸出基座的尺寸，从而可以调整掩膜板遮盖镀膜材料的面积，以控制镀膜材料镀在基材上的量，使得在基材上形成的镀膜厚度较均匀。使得在基材上形成的镀膜厚度较均匀。使得在基材上形成的镀膜厚度较均匀。


技术研发人员：尚鲲鹏 雷克武 伍平生 薛颜同 王岳利
受保护的技术使用者：宁德时代新能源科技股份有限公司
技术研发日：2022.10.27
技术公布日：2022/11/25