一种玻璃水平立式翻转镀膜装置及其翻转镀膜方法与流程

1.本发明涉及一种镀膜装置，尤其涉及一种玻璃水平立式翻转镀膜装置及其翻转镀膜方法。


背景技术：

2.在大型玻璃磁控溅射镀膜生产线上，通常使用水平放置玻璃传输方式，玻璃从前道工序经过传输线进入真空镀膜腔体，溅射镀膜源体安装于腔体上盖，在玻璃经过源体时，经过磁控溅射将源体靶材的材料溅射到玻璃面上，从而让玻璃获得所需要的功能，例如降低能量损耗的折返射膜层、用于光伏发电的发电膜层。
3.这个工作方式的不足在于，一次只能对一片玻璃进行镀膜，另外磁控溅射源的材料如果是陶瓷等材料会有靶材的粉尘掉到玻璃产品的表面，会对玻璃所镀的膜层产生不利的影响。


技术实现要素：

4.本发明的目的是克服现有技术的缺陷，提供一种玻璃水平立式翻转镀膜装置，可以将前端水平传输的需要镀膜上表面的单片玻璃面板，调整为双片立式且镀膜面都朝外的方式进入后续的立式磁控溅射镀膜生产线的立式装载线，进而实现双玻璃同时传输镀膜；该双玻璃水平转立式装置没有玻璃的托片架结构，玻璃直接传输，且不接触被镀面，占地面积小，结构紧凑。
5.本发明的另一个目的是提供一种玻璃水平立式翻转镀膜方法。
6.实现上述目的的技术方案是：一种玻璃水平立式翻转镀膜装置，包括机架、旋转机构和两套传输系统，其中：
7.所述两套传输系统相背设置在所述机架内，每套传输系统均包括支架、水平传输装置、竖直传输装置、被动导向装置、传输驱动装置和至少1个传感器；所述水平传输装置沿玻璃的传输方向设置在所述支架的一侧平面上，所述竖直传输装置和被动导向装置一一对应地设置在所述支架的两端，所述传输驱动装置安装在所述支架的一端，所述传输驱动装置驱动所述水平传输装置和竖直传输装置工作；所述传感器安装在所述支架上；
8.所述旋转机构安装在所述机架上，且与所述两套传输系统的支架相连，所述旋转机构驱动所述两套传输系统同步转动。
9.上述的一种玻璃水平立式翻转镀膜装置，其中，所述旋转机构包括旋转驱动装置和同步带轮，所述旋转驱动装置的输出端通过同步带与所述同步带轮相连。
10.上述的一种玻璃水平立式翻转镀膜装置，其中，所述旋转驱动装置和传输驱动装置均采用伺服马达。
11.上述的一种玻璃水平立式翻转镀膜装置，其中，所述机架呈框架型结构，包括支撑横杆和支撑立杆，所述支撑横杆和支撑立杆呈十字形交叉布局，所述支撑横杆与水平传输玻璃面板的传输线相邻，所述支撑立杆与立式磁控溅射镀膜生产线的立式装载线相邻。
12.上述的一种玻璃水平立式翻转镀膜装置，其中，所述支撑横杆和支撑立杆的中部分别设置有旋转座；所述旋转驱动装置安装在所述机架上，且位于所述支撑横杆的下方；所述同步带轮安装在所述支撑横杆上的旋转座上，且所述旋转驱动装置的输出端通过同步带与所述同步带轮相连；
13.所述两套传输系统的支架连接在一起，两个支架的中部两侧分别固定有一个旋转轴，其中一侧的旋转轴插入在所述支撑立杆上的旋转座中，另一侧的旋转轴插入在支撑横杆上的旋转座中并与所述同步带轮相连，所述旋转驱动装置通过同步带驱动所述同步带轮转动，所述同步带轮与其相连的旋转轴转动，进而带动所述两套传输系统同步转动。
14.上述的一种玻璃水平立式翻转镀膜装置，其中，所述水平传输装置、竖直传输装置和被动导向装置均采用滚轮装置。
15.上述的一种玻璃水平立式翻转镀膜装置，其中，所述水平传输装置包括若干个水平传输滚轮组件，每个水平传输滚轮组件均由横向托杆和均布在其上的多个水平传输滚轮本体组成，所述若干个水平传输滚轮组件沿玻璃的传输方向依次设置在所述支架的一侧平面上；
16.所述竖直传输装置包括沿玻璃的前进方向设置在所述支架的一端的多个竖直传输滚轮本体；
17.所述被动导向装置包括沿玻璃的前进方向设置在所述支架的另一端的多个被动导向滚轮本体。
18.上述的一种玻璃水平立式翻转镀膜装置，其中，传输玻璃时，玻璃的镀膜面位于所述两套传输系统的水平传输装置外侧；玻璃的两端一一对应地与所述竖直传输装置和被动导向装置接触。
19.上述的一种玻璃水平立式翻转镀膜装置，其中，所述传感器为光电传感器，所述光电传感器的数量为四个，其中两个光电传感器分别安装在所述支架的一端，且与所述竖直传输装置同侧设置；另外两个光电传感器分别安装在所述支架的另一端，且与所述被动导向装置同侧设置。
20.实现上述目的的另一种技术方案是：一种玻璃水平立式翻转镀膜方法，采用上述玻璃水平立式翻转镀膜装置进行玻璃水平立式翻转镀膜，包括以下步骤：
21.s1:将需要镀膜的单片玻璃水平传输进入玻璃水平立式翻转镀膜装置的一个传输系统；
22.s2:旋转机构工作，旋转90度，带动两套传输系统同步转动，驱动两套传输系统同时以带有传输驱动装置的一边为底部向下旋转成竖直状态；
23.s3:该玻璃所处的传输系统的传输驱动装置驱动相应的水平传输装置和竖直传输装置运动，将玻璃传输给立式装载线的前端轨道,且玻璃需要镀膜的镀膜面处于外侧；
24.s4:当玻璃离开后，旋转机构工作继续旋转90度，带动两套传输系统同步转动，使得两套传输系统同步调整为水平状态，接收水平传输的另一片玻璃，玻璃水平传输进入另一个传输系统；
25.s5：然后重复步骤s2-s3,将玻璃传输给立式装载线的后端轨道，且玻璃需要镀膜的镀膜面处于外侧。
26.本发明的玻璃水平立式翻转镀膜装置及其翻转镀膜方法，可以将前端水平传输的
需要镀膜上表面的单片玻璃面板，调整为双片立式且镀膜面都朝外的方式进入后续的立式磁控溅射镀膜生产线的立式装载线，进而实现双玻璃同时传输镀膜；该双玻璃水平转立式装置没有玻璃的托片架结构，玻璃直接传输，且不接触被镀面，占地面积小，结构紧凑。
附图说明
27.图1为本发明的玻璃水平立式翻转镀膜装置的立体结构图(处于立式状态时)；
28.图2为本发明的玻璃水平立式翻转镀膜装置的立体结构图(处于水平状态时)；
29.图3为两套传输系统的结构示意图；
30.图4为图3中s部分的局部放大图；
31.图5为单套传输系统的结构示意图；
32.图6为图5中c部分的局部放大图；
33.图7为图5中d部分的局部放大图；
34.图8为本发明的玻璃水平立式翻转镀膜装置的使用状态图。
具体实施方式
35.为了使本技术领域的技术人员能更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对其具体实施方式进行详细地说明：
36.请参阅图1至图7，本发明的最佳实施例，一种玻璃水平立式翻转镀膜装置，包括机架1、旋转机构和两套传输系统。
37.机架1呈框架型结构，优选地，机架1呈立方体框架型结构，机架1的底面均布有若干水平调节支脚11，方便调整整个双玻璃水平转立式装置的水平。
38.机架包括支撑横杆21和支撑立杆22，支撑横杆21横向安装在机架1的一侧(前侧)的中部，支撑立杆22竖向安装在机架1的另一侧(后侧)的中部，支撑横杆21和支撑立杆22呈十字形交叉布局。
39.旋转机构包括旋转驱动装置和同步带轮32，旋转驱动装置采用旋转伺服马达31，支撑横杆21和支撑立杆22的中部分别设置有旋转座33；旋转伺服马达31安装在机架1上，优选地，机架1的一侧安装有旋转伺服马达安装架12，旋转伺服马达安装架12位于支撑横杆21的下方，旋转伺服马达31固定在旋转伺服马达安装架12上。同步带轮32安装在支撑横杆21上的旋转座33上，同步带轮32位于旋转伺服马达31的输出端的正上方；旋转伺服马达31的输出端通过同步带34与同步带轮32相连。
40.每套传输系统均包括支架5、水平传输装置、竖直传输装置、被动导向装置、传输驱动装置和至少1个传感器，优选地，在本实施例中，两套传输系统结构相同，水平传输装置、竖直传输装置和被动导向装置均采用滚轮装置，即水平传输装置采用水平传输滚轮装置7，竖直传输装置采用竖直传输滚轮装置4，被动导向装置采用被动导向滚轮装置8，传输驱动装置采用传输伺服马达9；传感器为四个传感器，优选为光电传感器10。水平传输滚轮装置7沿玻璃的传输方向设置在支架5的一侧平面上，竖直传输滚轮装置4和被动导向滚轮装置8一一对应地设置在支架5的两端，传输伺服马达9安装在支架5的一端，且与竖直传输滚轮装置4同侧设置；传输伺服马达9的输出端分别通过齿轮组与水平传输滚轮装置7和竖直传输滚轮装置4相连；其中两个光电传感器10分别安装在支架5的一端，且与竖直传输滚轮装置4
同侧设置；另外两个光电传感器10分别安装在支架5的另一端，且与被动导向滚轮装置8同侧设置，四个光电传感器10用于检测玻璃在玻璃水平立式翻转镀膜装置上的位置。两套传输系统的传输伺服马达9可以独立工作，可以单独控制相应玻璃的传输。两套传输系统相背设置在机架1内，且两套传输系统的支架5连接在一起，两个支架5的中部的两侧分别固定有一个旋转轴51，其中一侧的旋转轴51插入在支撑立杆22上的旋转座33中，另一侧的旋转轴插入在支撑横杆21上的旋转座33中并与同步带轮32相连，所述旋转伺服马达通过同步带驱动所述同步带轮转动，所述同步带轮与其相连的旋转轴转动，旋转伺服马达31通过同步带34驱动同步带轮32转动，同步带轮32带动安装在支撑横杆上的旋转座中旋转轴(与同步带轮相连的旋转轴转动)转动，另外一侧的旋转轴在相应的旋转座33中被动转动，进而带动两套传输系统同步转动，调整两套传输系统同时为水平状态或者竖直状态。
41.再请参阅图5、图6和图7，水平传输滚轮装置7包括若干个水平传输滚轮组件71，每个水平传输滚轮组件71均由横向托杆711和均布在其上的多个水平传输滚轮本体712组成，若干个水平传输滚轮组件71沿玻璃的传输方向依次设置在支架5的一侧平面上；
42.竖直传输滚轮装置4包括沿玻璃的前进方向设置在支架5一端的多个竖直传输滚轮本体42；被动导向滚轮装置8跟竖直传输滚轮装置4类似，包括沿玻璃的前进方向设置在支架5另一端的多个被动导向滚轮本体(图中未显示)。
43.传输伺服马达9的输出端安装有两个驱动链轮91、92，齿轮组分为第一齿轮组61和第二齿轮组62。
44.第一齿轮组61和第二齿轮组62一上一下地安装在支架5的一端，且均与竖直传输滚轮装置4同侧设置；第一齿轮组61和第二齿轮组62结构相同，均包括纵向连接杆和设置其上的多个齿轮，具体地，第一齿轮组61包括纵向连接杆611和设置其上的多个齿轮612，第二齿轮组62包括纵向连接杆621和设置其上的多个齿轮622。第一齿轮组61的纵向连接杆611的一端设置有同步链轮613；第二齿轮组62的纵向连接杆621的一端设置有同步链轮623。
45.若干个水平传输滚轮组件71的横向托杆的一端分别设置有第一斜齿轮713，所有的第一斜齿轮713一一对应地与第一齿轮组61的各个齿轮相啮合；
46.多个竖直传输滚轮本体42的一端分别设置有第二斜齿轮43，所有的第二斜齿轮43一一对应地与第二齿轮组62的各个齿轮622相啮合；
47.传输伺服马达9的输出端的一个驱动链轮91通过链条93与第一齿轮组61的纵向连接杆上的同步链轮613相连；传输伺服马达9的输出端的另一个驱动链轮92通过链条94与第二齿轮组62的纵向连接杆上的同步链轮623相连。
48.传输伺服马达9工作时，通过驱动链轮91、链条93和同步链轮613带动第一齿轮组61旋转，通过驱动链轮92、链条94和同步链轮623带动第二齿轮组62旋转，第一齿轮组61的各个齿轮612通过与其啮合的第一斜齿轮713驱动横向托杆转动，进而带动水平传输滚轮装置7的所有水平传输滚轮本体712旋转，带动其上的玻璃传输；第二齿轮组62的各个齿轮622通过与其啮合的第二斜齿轮43驱动竖直传输滚轮装置4的所有竖直传输滚轮本体42旋转，带动与其接触的玻璃传输。
49.传输玻璃时，玻璃400位于两套传输系统的水平传输滚轮装置7外侧，且玻璃400的镀膜面都朝外；玻璃400的两端一一对应地与竖直传输滚轮装置4和被动导向滚轮装置8接触。
50.一种玻璃水平立式翻转镀膜方法，采用本发明的玻璃水平立式翻转镀膜装置进行玻璃水平立式翻转镀膜，包括以下步骤：
51.s1:将需要镀膜的单片玻璃水平传输进入玻璃水平立式翻转镀膜装置的一个传输系统；
52.s2:旋转机构工作，旋转90度，带动两套传输系统同步转动，驱动两套传输系统同时以带有传输驱动装置的一边为底部向下旋转成竖直状态；
53.s3:该玻璃所处的传输系统的传输驱动装置驱动相应的水平传输装置和竖直传输装置运动，将玻璃传输给立式装载线的前端轨道,且玻璃需要镀膜的镀膜面处于外侧；
54.s4:当玻璃离开后，旋转机构工作继续旋转90度，带动两套传输系统同步转动，使得两套传输系统同步调整为水平状态，接收水平传输的另一片玻璃，玻璃水平传输进入另一个传输系统；
55.s5：然后重复步骤s2-s3,将玻璃传输给立式装载线的后端轨道，且玻璃需要镀膜的镀膜面处于外侧。
56.请参阅图8，本发明的玻璃水平立式翻转镀膜装置，没有玻璃的托片架结构，玻璃直接传输，且不接触被镀面，占地面积小，结构紧凑。在使用时，玻璃水平立式翻转镀膜装置200安装在水平传输玻璃面板的传输线100和立式磁控溅射镀膜生产线的立式装载线300之间；且支撑横杆21与水平传输玻璃面板的传输线100相邻，支撑立杆22与立式磁控溅射镀膜生产线的立式装载线300相邻。当整个玻璃水平立式翻转镀膜装置的两套传输系统处于水平状态，先设定一套传输系统为a面，另一套传输系统为b面(见图3)。a面处于上方时，相应的传输系统工作接收水平传输玻璃面板的传输线100上的玻璃面板，玻璃400的镀膜面位于所述两套传输系统的水平传输滚轮装置外侧，玻璃400进入后，旋转伺服马达31工作旋转90度，带动两套传输系统同步转动，驱动两套传输系统同时以带有传输伺服马达9的一边为底部向下旋转成竖直状态，a面的传输系统运动将玻璃传输给磁控溅射镀膜线的立式装载线300的前端轨道；当玻璃400离开后，旋转伺服马达31工作继续旋转90度，带动两套传输系统同步转动，使得两套传输系统同步调整为水平状态，且b面处于上方，相应的传输系统工作接收水平传输玻璃面板的传输线100上的另一个玻璃面板，玻璃进入后，旋转伺服马达31工作旋转90度，带动两套传输系统同步转动，驱动两套传输系统同时以带有传输伺服马达9的那个边为底部向下旋转成竖直状态，b面的传输系统运动将玻璃传输给磁控溅射镀膜线的立式装载线300的后端轨道，此时玻璃需要镀膜面仍旧处于外侧，这样就完成了水平的玻璃转变成两块玻璃并排且立式准备进入镀膜生产线进行工艺生产。
57.进一步地，在进行双玻璃同时传输镀膜时，玻璃板材的长度尺寸可以根据需要调整，高度尺寸为竖直传输装置4和被动导向装置8之间的间距。
58.更进一步地，在发明的另一个实施例中，从镀膜生产线中镀膜完成的立式玻璃也可以运用相同的工作原理沿着反方向转变成水平的玻璃进行输出。
59.综上所述，本发明的玻璃水平立式翻转镀膜装置及其翻转镀膜方法，可以将前端水平传输的需要镀膜上表面的单片玻璃面板，调整为双片立式且镀膜面都朝外的方式进入后续的立式磁控溅射镀膜生产线的立式装载线，进而实现双玻璃同时传输镀膜；该玻璃水平立式翻转镀膜装置没有玻璃的托片架结构，玻璃直接传输，且不接触被镀面，占地面积小，结构紧凑。同时，本发明的竖直镀膜可以有效减少溅射源体本身对被镀玻璃板材的污
染，只需要增加例如翻转机构和配备多一倍的磁控溅射源的成本。但是由于可以同时对两片玻璃进行竖直磁控溅射工艺，作为镀膜系统主要成本的真空腔室及真空系统和单片玻璃时一样。因此，本发明在增加有限成本的情况下，生产产量可翻倍，生产效率大大提高。
60.本发明需要明确的一点是，本发明同样可以应用于光伏、太阳能电池及其他镀膜领域上。本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本发明的权利要求书范围内。