干燥装置的制作方法

1.本技术涉及干燥技术领域，具体涉及一种干燥装置。


背景技术：

2.目前喷墨打印技术中的溶液材料滴落在图案化的基板上的像素槽内，形成器件发光功能层。溶液型发光材料在滴入像素槽后需要进行干燥，使像素槽内的溶剂完全蒸发，剩下干燥的溶质形成稳定结合的分子结构，提高电子的迁移率。
3.在对现有技术的研究和实践过程中，本技术的发明人发现，由于现有的加热装置采用电阻丝进行加热，该方式容易出现局部热量过高，导致溶液型材料受热不均，进而出现干燥痕迹。


技术实现要素：

4.本技术实施例提供一种干燥装置，可以提高对溶液型材料加热的均匀性，降低溶液型材料在干燥后出现干燥痕迹的风险。
5.本技术实施例提供一种干燥装置，其包括：
6.腔室；
7.第一加热器，所述第一加热器设置在所述腔室内；
8.导热板，所述导热板设置在所述第一加热器上，所述导热板用于干燥待干燥材料，所述导热板与所述第一加热器之间具有第一空间；以及
9.热传导介质，所述热传导介质填充在所述第一空间内。
10.可选的，在本技术的一些实施例中，所述热传导介质为气体。
11.可选的，在本技术的一些实施例中，所述干燥装置还包括第二加热器，所述第二加热器设置在所述导热板远离所述第一加热器的一侧，所述第二加热器与所述导热板之间具有第二空间，所述第二加热器与所述腔室远离所述导热板的一侧具有第三空间；
12.所述第二加热器包括加热部件，所述加热部件设置有多个通孔，所述通孔连通于所述第二空间和所述第三空间。
13.可选的，在本技术的一些实施例中，所述第二加热器还包括吸附层，所述吸附层设置在所述加热部件远离所述导热板的一侧。
14.可选的，在本技术的一些实施例中，所述吸附层还设置在所述加热部件靠近所述导热板的一侧。
15.可选的，在本技术的一些实施例中，所述加热部件包括衬底和设置在所述衬底内的加热体，所述加热体包括多个主体部、第一弯折部和第二弯折部，多个所述主体部均沿着第一方向延伸设置，多个所述主体部沿着第二方向排列设置，所述第一方向与所述第二方向相交；
16.所述第一弯折部设置在所述多个主体部的一侧，所述第二弯折部设置在所述多个主体部的另一侧，第n个所述主体部通过所述第一弯折部连接于第n 1个所述主体部，所述
第n 1个所述主体部通过所述第二弯折部连接于第n 2个所述主体部，n为奇数；
17.所述通孔设置在所述加热体的周侧，且贯穿所述衬底。
18.可选的，在本技术的一些实施例中，所述干燥装置还包括气体纯化器和通道结构，所述气体纯化器和所述通道结构设置在所述腔室外，所述气体纯化器连接于所述通道结构；
19.所述通道结构设置有第一通道口和多个第二通道口，所述第一通道口与多个所述第二通道口连通，所述第一通道口通过连通管连接于所述气体纯化器，所述第二通道口连通于所述第三空间，且面向所述第二加热器；
20.所述第二通道口与所述通孔相互错位设置。
21.可选的，在本技术的一些实施例中，所述通道结构包括一腔体，所述腔体与所述腔室固定连接，所述腔体内设置有第四空间，所述第一通道口连通于所述第四空间远离所述腔室的一侧，所述第二通道口连通于所述第四空间靠近所述腔室的一侧。
22.可选的，在本技术的一些实施例中，所述第一空间的高度小于或等于30毫米。
23.可选的，在本技术的一些实施例中，所述导热板为均热板，所述导热板的材料包括石墨、石墨烯。
24.本技术实施例采用在第一空间中填充热传导介质，以将第一加热器的热量均匀的传至导热板，提高对溶液型材料加热的均匀性。
附图说明
25.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.图1是本技术实施例提供的干燥装置的结构示意图；
27.图2是本技术实施例提供的干燥装置中第二加热器的俯视结构示意图；
28.图3是本技术实施例提供的干燥装置中通道结构的结构示意图。
具体实施方式
29.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。此外，应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。在本技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上”和“下”通常是指装置实际使用或工作状态下的上和下，具体为附图中的图面方向；而“内”和“外”则是针对装置的轮廓而言的。
30.本技术实施例提供一种干燥装置100，下文进行详细说明。需说明的是，以下实施例的描述顺序不作为对实施例优选顺序的限定。
31.请参照图1，本技术实施例提供一种干燥装置100，其包括腔室11、第一加热器12、导热板13和热传导介质14。
32.第一加热器12设置在腔室11内。导热板13设置在第一加热器12上。导热板13用于干燥待干燥材料。导热板13与第一加热器12之间具有第一空间k1。热传导介质14填充在第一空间k1内。
33.本技术实施例采用在第一空间k1中填充热传导介质14，以将第一加热器12的热量均匀的传至导热板13，提高对溶液型材料加热的均匀性。
34.可选的，比如导热板13与腔室11的侧壁之间具有间隙。
35.在本实施例中，热传导介质14包括气体，也就是说，第一加热器12产生的热量热辐射的方式对导热板13进行加热，使得导热板13均匀受热且均匀并对待干燥器件进行干燥处理，降低了待干燥的器件出现干燥痕迹的风险。
36.在一些实施例中，热传导介质14也可以是具有均热效果的材料，比如石墨、石墨烯或硅胶等。
37.可选的，第一空间k1的高度h小于或等于30毫米，以保证热辐射的加热效果。可选的，第一空间k1的高度h介于5毫米和30毫米之间，比如可以是5毫米、10毫米、15毫米、20毫米、25毫米和30毫米。
38.可选的，导热板13为均热板。导热板13的材料包括石墨和/或石墨烯，以提高导热板13的均热效果，降低了待干燥的器件出现干燥痕迹的风险。
39.综上所述，第一加热器12以热辐射的加热方式通过第一空间k1中的气体加热导热板13，使得导热板13均匀受热；另外采用石墨或石墨烯作为导热板13的材料进一步提高了导热板13的均热效果，保证了待干燥的器件各点受热时的温差小于2摄氏度，从而抑制了待干燥的器件出现干燥痕迹的风险。
40.可选的，第一加热器12采用电阻丝的方式进行加热，也可以采用其他电加热方式，本技术并不限制。
41.在本实施例中，干燥装置100还可以包括第二加热器15。
42.第二加热器15设置在导热板13远离第一加热器12的一侧。第二加热器15与导热板13之间具有第二空间k2。第二加热器15与腔室11远离导热板13的一侧之间具有第三空间k3。
43.第一空间k1、第二空间k2和第三空间k3相互连通。
44.第二加热器15包括加热部件151。加热部件151设置有多个通孔152。通孔152设置在加热部件151的周侧。通孔152连通于第二空间k2和第三空间k3。
45.第二加热器15的设置，一方面通过通孔152连通第二空间k2和第三空间k3，便于对远离导热板13的汽态溶剂进行再次加热，以提高溶剂蒸发的稳定性，即降低汽态溶剂因能量降低，改变运动方向的风险；另一方面，当气体纯化器16向腔室11输送气体时部分的汽态溶剂会被气体吹向导热板13上的待干燥器件，而第二加热器15可以缓冲和改变该部分汽态溶剂的运动方向，降低汽态溶剂回归待干燥器件的溶质表面。
46.同时，第二加热器15还可以包括吸附层153，吸附层153设置在加热部件151远离导热板13的一侧。由于加热部件151上设置有吸附层153，吸附层153可以吸附部分溶剂，被吸附层153吸附的溶剂会被加热部件151加热，继而继续蒸发，进一步降低溶剂回流待干燥器件的风险。
47.可选的，吸附层153还可以设置在加热部件151靠近导热板13的一侧，进一步降低
溶剂回流待干燥器件的风险。
48.可选的，吸附层153的材料可以是活性炭、有机高分子、耐高温的高聚吸附树脂或沸石(vocs)分子筛等吸附材料。
49.在本实施例中，干燥装置100还可以包括气体纯化器16和通道结构17。
50.气体纯化器16和通道结构17设置在腔室11外。气体纯化器16连接于通道结构17。通道结构17连通于腔室11的内部空间。具体的，通道结构17的通道口朝向第二加热器15。
51.在本实施例中，通道结构17设置有第一通道口17a和多个第二通道口17b。第一通道口17a与多个第二通道口17b连通。第一通道口17a通过连通管18连接于气体纯化器16。第二通道口17b连通于第三空间k3，且面向第二加热器15。
52.第二通道口17b与通孔152相互错位设置，以降低第二通道口17b对应区域的气流速度，降低汽态溶剂回流的风险。
53.可选的，请参照图2，加热部件151包括衬底1511和设置在衬底1511内的加热体1512。加热体1512包括多个主体部1521、第一弯折部1522和第二弯折部1523。多个主体部1521均沿着第一方向x延伸设置。多个主体部1521沿着第二方向y排列设置。第一方向x与第二方向y相交。可选的，第一方向x垂直于第二方向y。
54.第一弯折部1522设置在多个主体部1521的一侧，第二弯折部1523设置在多个主体部1521的另一侧。第n个主体部1521通过第一弯折部1522连接于第n 1个主体部1521。第n 1个主体部1521通过第二弯折部1523连接于第n 2个主体部1521，n为奇数。
55.加热体1512采用往返式结构，起到均匀加热的效果。
56.比如，当n为1至5时，第1个主体部1521通过第一弯折部1522连接于第2个主体部1521；第3个主体部1521通过第一弯折部1522连接于第4个主体部1521；第5个主体部1521通过第一弯折部1522连接于第6个主体部1521。第2个主体部1521通过第二弯折部1523连接于第3个主体部1521；第4个主体部1521通过第二弯折部1523连接于第5个主体部1521；第6个主体部1521通过第二弯折部1523连接于第7个主体部1521。
57.可选的，第一弯折部1522和第二弯折部1523的形状为半圆环状，或为v字型，但不限于此。
58.通孔152设置在加热体1512的周侧且贯穿衬底1511。
59.请参照图1和图3，通道结构17包括一腔体171。腔体171与腔室11固定连接。腔体171内设置有第四空间k4。第一通道口17a连通于第四空间k4远离腔室11的一侧，第二通道口17b连通于第四空间k4靠近腔室11的一侧。第二通道口17b连通于腔室11的内部空间。
60.可选的，腔体171可以是箱体，或其他具有内部空间的结构。
61.可选的，气体纯化器16为氮气纯化器，但不限于此。
62.本实施例以干燥显示基板为例进行说明，但不限于此。本实施例的干燥过程是：
63.在导热板13上放置显示基板，随后启动气体纯化器16，气体纯化器16将第一空间k1、第二空间k2和第三空间k3内的部分气体吸出，经过气体纯化后向腔室11内排入同等体积的纯氮气或惰性气体。惰性气体可以是氩气和氦气等。本实施例以排入氮气为例进行说明；重复抽吸、纯化和排入的步骤，使得腔室11内的空间处于标准大气压下的氮气环境中。需要说明的是，氮气环境是指腔室11内的气体绝大部分是氮气，并不是只有氮气。
64.然后，第一加热器12和第二加热器15启动并产生热量，热量以热辐射的方式加热
导热板13。导热板13均匀加热显示基板。
65.可选的，显示基板的像素槽内墨水的体积介于30皮升和70皮升之间。第一加热器12和第二加热器15的加热时间均介于10分钟至30分钟之间，比如可以是10分钟、20分钟和30分钟。第一加热器12和第二加热器15的加热温度介于100摄氏度和230摄氏度之间，比如可以是100摄氏度、140摄氏度、180摄氏度、220摄氏度和230摄氏度。可以理解的是，如果加热温度越高，加热时间则越短，而加热温度的大小取决于墨水的材料性质和墨水的体积。
66.最后，显示基板内的溶液型材料的溶剂被蒸发进入第二空间k2，遇到第二加热器15时，被第二加热器15二次加热，汽态溶剂通过通孔152进行第三空间k3，接着汽态溶剂被气体纯化器16通过通道结构17抽吸排出。
67.其中，汽态溶剂被排出后，气体纯化器16会通过通道结构17向腔室11充入氮气，此时充入的氮气会促使部分的汽态溶剂回流，部分回流的汽态溶剂被第二加热器15阻挡；而且由于第二通道口17b与通孔152相互错位设置，减缓了第二通道口17b对应区域的气流速度，降低汽态溶剂回流至待干燥的器件的风险；另外，部分回流的溶剂会被吸附层153所吸附并在第二加热器15的加热下，再次蒸发并朝向第二通道口17b的方向运动，降低了气态溶剂回归待干燥的器件上的溶质表面，达到抑制了待干燥的器件出现水渍的现象。
68.设定时间后，气体纯化器16再次抽吸腔室11内的汽态溶剂，后继续充入氮气以维持腔室11内处于标准大气压下；如此循环，直至干燥完成为止。
69.这样便完成了本实施的干燥装置100的干燥过程。
70.以上对本技术实施例所提供的一种干燥装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。