干燥装置的制作方法

技术特征：
1.一种干燥装置，其特征在于，包括：腔室；第一加热器，所述第一加热器设置在所述腔室内；导热板，所述导热板设置在所述第一加热器上，所述导热板用于干燥待干燥材料，所述导热板与所述第一加热器之间具有第一空间；以及热传导介质，所述热传导介质填充在所述第一空间内。2.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述热传导介质包括气体。3.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥装置还包括第二加热器，所述第二加热器设置在所述导热板远离所述第一加热器的一侧，所述第二加热器与所述导热板之间具有第二空间，所述第二加热器与所述腔室远离所述导热板的一侧之间具有第三空间；所述第二加热器包括加热部件，所述加热部件设置有多个通孔，所述通孔连通所述第二空间和所述第三空间。4.根据权利要求3所述的干燥装置，其特征在于，所述第二加热器还包括吸附层，所述吸附层设置在所述加热部件远离所述导热板的一侧。5.根据权利要求4所述的干燥装置，其特征在于，所述吸附层还设置在所述加热部件靠近所述导热板的一侧。6.根据权利要求4所述的干燥装置，其特征在于，所述加热部件包括衬底和设置在所述衬底内的加热体，所述加热体包括多个主体部、第一弯折部和第二弯折部，多个所述主体部均沿着第一方向延伸设置，多个所述主体部沿着第二方向排列设置，所述第一方向与所述第二方向相交；所述第一弯折部设置在所述多个主体部的一侧，所述第二弯折部设置在所述多个主体部的另一侧，第n个所述主体部通过所述第一弯折部连接于第n 1个所述主体部，所述第n 1个所述主体部通过所述第二弯折部连接于第n 2个所述主体部，n为奇数；所述通孔设置在所述加热体的周侧，且贯穿所述衬底。7.根据权利要求3所述干燥装置，其特征在于，所述干燥装置还包括气体纯化器和通道结构，所述气体纯化器和所述通道结构设置在所述腔室外，所述气体纯化器连接于所述通道结构；所述通道结构设置有第一通道口和多个第二通道口，所述第一通道口与多个所述第二通道口连通，所述第一通道口通过连通管连接于所述气体纯化器，所述第二通道口连通于所述第三空间，且面向所述第二加热器；所述第二通道口与所述通孔相互错位设置。8.根据权利要求7所述的干燥装置，其特征在于，所述通道结构包括一腔体，所述腔体与所述腔室固定连接，所述腔体内设置有第四空间，所述第一通道口连通于所述第四空间远离所述腔室的一侧，所述第二通道口连通于所述第四空间靠近所述腔室的一侧。9.根据权利要求2所述的干燥装置，其特征在于，所述第一空间的高度小于或等于30毫米。10.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述导热板为均热板，所述导热板的材料包括石墨和/或石墨烯。

技术总结
本申请实施例公开了一种干燥装置，第一加热器设置在腔室内；导热板设置在第一加热器上，导热板用于干燥待干燥材料，导热板与所述第一加热器之间具有第一空间；热传导介质填充在第一空间内。本申请采用在第一空间中填充热传导介质，以将第一加热器的热量均匀的传至导热板，提高对溶液型材料加热的均匀性。提高对溶液型材料加热的均匀性。提高对溶液型材料加热的均匀性。


技术研发人员：杨佳伟 罗秋园 孙凌霄
受保护的技术使用者：广东聚华印刷显示技术有限公司
技术研发日：2021.05.21
技术公布日：2022/11/22