一种参数化易更换的研磨头法兰的制作方法

1.本实用新型涉及研磨机转接头技术领域，尤其是涉及一种参数化易更换的研磨头法兰。


背景技术：

2.在半导体芯片加工过程中需要使用到研磨机进行研磨，研磨机是由动力旋转组件与研磨头组件组成的，研磨头组件和动力旋转组件是连接在一起的。
3.随着科技的不断更新，为了更好满足半导体芯片加工的需要，研磨头也不断进行更新换代。而更新的研磨头组件并不能与原有机器的动力旋转组件很好的连接在一起，这就使得研磨机反应速度变慢、误码率升高，对加工过程和加工产品造成很大影响。若是改变原有机器及其动力旋转组件，需要大量的人力物力，设计和加工制作的成本较大。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是提供一种参数化易更换的研磨头法兰，解决了上述背景技术中更新的研磨头与原机器的动力旋转组件不匹配，影响研磨机加工效率的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供了一种参数化易更换的研磨头法兰，包括柱形连接部，所述柱形连接部两端向外延伸设置第一连接板和第二连接板，所述柱形连接部的第一连接板一侧向内凹陷设置圆形的第三连接板；
6.所述第一连接板上设置若干螺纹孔，所述第三连接板围绕圆心设置若干进气孔，所述第二连接板上设置若干底部出气孔，所述底部出气孔与所述进气孔之间分别设置一条气路相连通。
7.优选的，所述第一连接板与研磨机的旋转动力组件通过所述若干螺纹孔相连接。
8.优选的，所述第三连接板的进气孔内部设置螺纹，其周围环绕设置若干圆形凹槽。
9.优选的，所述圆形凹槽与研磨机旋转动力组件上的螺帽对应设置。
10.优选的，所述进气孔与研磨机的旋转动力组件中的气管相连接。
11.优选的，所述第二连接板上对称设置连接孔，所述连接孔与研磨头相连接，所述第二连接板外侧设置卡箍抱面，并与研磨头之间通过卡箍固定。
12.优选的，所述第一连接板、第二连接板和第三连接板同一圆心。
13.优选的，所述第三连接板半径小于所述柱形连接部的半径。。
14.因此，本实用新型采用上述结构的一种参数化易更换的研磨头法兰，可以根据研磨头组件和动力旋转组件的型号对研磨头法兰的型号进行更改，使研磨头组件和动力旋转组件更加匹配；同时对研磨头组件和动力旋转组件无任何伤害，且不会影响研磨机的正常工作使用，对于安装拆卸、维修保养也十分方便。
15.下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
16.图1为本实用新型一种参数化易更换的研磨头法兰的结构示意图；
17.图2为本实用新型一种参数化易更换的研磨头法兰中第一连接板示意图；
18.图3为本实用新型一种参数化易更换的研磨头法兰中第二连接板示意图。
19.附图标记说明
20.1、连接部；2、第一连接板；3、第二连接板；4、第三连接板；5、螺纹孔；6、进气孔；7、凹槽；8、气路；9、出气孔；10、连接孔；11卡箍抱面。
具体实施方式
21.以下通过附图和实施例对本实用新型的技术方案作进一步说明。
22.除非另外定义，本实用新型使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
23.实施例
24.一种参数化易更换的研磨头法兰，包括柱形连接部1，柱形连接部1两端向外延伸设置第一连接板2和第二连接板3，柱形连接部1的第一连接板2一侧向内凹陷设置圆形的第三连接板4。第一连接板2、第二连接板3和第三连接板4同一圆心，第三连接板4半径小于柱形连接部1的半径。
25.第一连接板2上设置若干螺纹孔5，第一连接板2通过螺纹孔5与研磨机的动力旋转组件相连接。研磨机旋转动力组的气管与第三连接板上的进气孔6 相连接，气管可以直接旋入进气孔6中进行工作。进气孔6内设置螺纹，增加了与气管间的摩擦力，使气管不易脱落。同时，进气孔周围设置的圆形凹槽7，为研磨机连接部位安装的螺钉预留了空间，避免连接不牢固。
26.第二连接板3上设置若干出气孔9，各出气孔9与进气孔6之间均有一条气路8相连通。出气孔9周围设置若干连接孔10，连接孔10与研磨头组件相连接。第二连接板3外侧设置卡箍抱面11，第二连接板3与研磨头之间通过卡箍进行固定，第二连接头3型号、卡箍型号与研磨头相匹配。连接孔10与卡箍的双重固定方式，使第二连接头3与研磨头组件之间的连接更加稳固。
27.本实用新型中螺纹孔、圆形凹槽、连接孔、进气孔及出气孔的数量、大小、位置和连接部的宽度、第一连接板、第二连接板、第三连接板的半径等此类参数，均可以根据研磨机的实际情况进行调整。第一连接头的型号可以根据研磨机中旋转动力组件的型号进行调整。
28.安装时，将动力旋转组件的气管插入进气孔中，动力旋转组件安装的螺钉与圆形凹槽对应，使得连接面与第三连接板相吻合。之后，在通过第一连接板的螺纹孔中安装螺
钉，将研磨头法兰与动力旋转组件相连接。再将研磨头组件与第二连接板上的连接孔对应连接，使用卡箍将两者外侧边缘进行固定，完成研磨头法兰与研磨头组件的连接。
29.因此，本实用新型采用上述结构的一种参数化易更换的研磨头法兰，可以根据研磨头组件和动力旋转组件的型号对研磨头法兰的型号进行更改，使研磨头组件和动力旋转组件更加匹配；同时对研磨头组件和动力旋转组件无任何伤害，且不会影响研磨机的正常工作使用，对于安装拆卸、维修保养也十分方便。
30.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本实用新型技术方案的精神和范围。


技术特征：
1.一种参数化易更换的研磨头法兰，其特征在于：包括柱形连接部，所述柱形连接部两端向外延伸设置第一连接板和第二连接板，所述柱形连接部的第一连接板一侧向内凹陷设置圆形的第三连接板；所述第一连接板上设置若干螺纹孔，所述第三连接板围绕圆心设置若干进气孔，所述第二连接板上设置若干底部出气孔，所述底部出气孔与所述进气孔之间分别设置一条气路相连通。2.根据权利要求1所述的一种参数化易更换的研磨头法兰，其特征在于：所述第一连接板与研磨机的旋转动力组件通过所述若干螺纹孔相连接。3.根据权利要求1所述的一种参数化易更换的研磨头法兰，其特征在于：所述第三连接板的进气孔内部设置螺纹，其周围环绕设置若干圆形凹槽。4.根据权利要求3所述的一种参数化易更换的研磨头法兰，其特征在于：所述圆形凹槽与研磨机旋转动力组件上的螺帽对应设置。5.根据权利要求3所述的一种参数化易更换的研磨头法兰，其特征在于：所述进气孔与研磨机的旋转动力组件中的气管相连接。6.根据权利要求1所述的一种参数化易更换的研磨头法兰，其特征在于：所述第二连接板上对称设置连接孔，所述连接孔与研磨头相连接，所述第二连接板外侧设置卡箍抱面，并与研磨头之间通过卡箍固定。7.根据权利要求1所述的一种参数化易更换的研磨头法兰，其特征在于：所述第一连接板、第二连接板和第三连接板同一圆心。8.根据权利要求1所述的一种参数化易更换的研磨头法兰，其特征在于：所述第三连接板半径小于所述柱形连接部的半径。

技术总结
本实用新型公开了一种参数化易更换的研磨头法兰，包括柱形连接部，所述柱形连接部两端向外延伸设置第一连接板和第二连接板，所述柱形连接部的第一连接板一侧向内凹陷设置圆形的第三连接板；所述第一连接板上设置若干螺纹孔，所述第三连接板围绕圆心设置若干进气孔，所述第二连接板上设置若干底部出气孔，所述底部出气孔与所述进气孔之间分别设置一条气路相连通。本实用新型采用上述结构的一种参数化易更换的研磨头法兰，可以根据研磨头组件和动力旋转组件的型号对研磨头法兰的型号进行更改，使研磨头组件和动力旋转组件更加匹配；同时对研磨头组件和动力旋转组件无任何伤害，且不会影响研磨机的正常工作使用，对于安装拆卸维修也十分方便。装拆卸维修也十分方便。装拆卸维修也十分方便。


技术研发人员：叶文君 李荣中 梁晗
受保护的技术使用者：丰豹智能科技（上海）有限公司
技术研发日：2022.09.09
技术公布日：2022/11/22