一种特种气体安全控制方法和半导体工艺设备与流程

技术特征：
1.一种特种气体安全控制方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括：工艺腔室、控制电路；所述控制电路包括用于控制第一气体对应阀门通断的第一电路、用于控制第二气体对应阀门通断的第二电路和用于控制第三气体对应阀门通断的第三电路，所述方法包括：获取所述工艺腔室的压力值；在所述压力值大于预设压力阈值的情况下，当需要打开所述第二气体对应阀门和所述第三气体对应阀门时，控制所述第一电路断开，控制所述第二电路和所述第三电路接通，以使所述第一气体对应阀门关闭、所述第二气体对应阀门和所述第三气体对应阀门打开；当需要打开所述第一气体对应阀门时，控制所述第一电路闭合，以及控制所述第二电路和所述第三电路断开，以使所述第一气体对应阀门打开、所述第二气体对应阀门和所述第三气体对应阀门关闭。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：在所述压力值小于或等于所述预设压力阈值的情况下，控制所述第一电路、所述第二电路和所述第三电路接通，以使所述第一气体对应阀门、所述第二气体对应阀门和所述第三气体对应阀门打开。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述控制电路还包括：第一继电器、第二继电器和第三继电器，所述方法还包括：获取所述工艺腔室的压力值，当所述压力值大于所述预设压力阈值时，通过所述第一继电器控制所述第二继电器接通以及所述第三继电器断开，以使所述第二继电器控制所述第一电路、所述第二电路和所述第三电路的通断；当所述压力值小于或等于所述预设压力阈值时，通过所述第一继电器控制所述第二继电器断开以及所述第三继电器接通，以使所述第三继电器控制所述第一电路、所述第二电路和所述第三电路的通断。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一继电器包括第一对常闭触点和第一对常开触点；所述当所述压力值大于预设压力阈值时，通过所述第一继电器控制所述第二继电器接通以及所述第三继电器断开，以使所述第二继电器控制所述第一电路、所述第二电路和所述第三电路的通断，包括：当所述压力值大于所述预设压力阈值时，通过所述第一继电器控制所述第一对常开触点保持断开状态，以控制所述第三继电器断开，以及通过所述第一继电器控制所述第一对常闭触点保持闭合状态，以控制所述第二继电器接通，以使所述第二继电器控制所述第一电路、所述第二电路和所述第三电路的通断。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第二继电器包括第二对常闭触点、第二对常开触点和第三对常开触点；所述在所述压力值大于预设压力阈值的情况下，当需要打开所述第二气体对应阀门和所述第三气体对应阀门时，控制所述第一电路断开，控制所述第二电路和所述第三电路接通，以使所述第一气体对应阀门关闭、所述第二气体对应阀门和所述第三气体对应阀门打开，包括：通过所述第二继电器控制所述第二对常闭触点断开，控制所述第一电路断开，以及通过所述第二继电器控制所述第二对常开触点和所述第三对常开触点闭合，控制所述第二电路和所述第三电路接通，以使所述第一气体对应阀门关闭、所述第二气体对应阀门和所述
第三气体对应阀门打开。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述当需要打开所述第一气体对应阀门时，控制所述第一电路闭合，以及控制所述第二电路和所述第三电路断开，以使所述第一气体对应阀门打开、所述第二气体对应阀门和所述第三气体对应阀门关闭，包括：通过所述第二继电器控制所述第二对常闭触点保持闭合状态，控制所述第一电路接通，以及通过所述第二继电器控制所述第二对常开触点和所述第三对常开触点保持断开状态，控制所述第二电路和所述第三电路断开，以使所述第一气体对应阀门打开、所述第二气体对应阀门和所述第三气体对应阀门关闭。7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述当所述压力值小于或等于所述预设压力阈值时，通过所述第一继电器控制所述第二继电器断开以及所述第三继电器接通，以使所述第三继电器控制所述第一电路、所述第二电路和所述第三电路的通断，包括：当所述压力值小于或等于所述预设压力阈值时，通过所述第一继电器控制所述第一对常闭触点打开，控制所述第二继电器断开，以及通过所述第一继电器控制所述第一对常开触点闭合，控制所述第三继电器接通，以使所述第三继电器控制所述第一电路、所述第二电路和所述第三电路的通断。8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第三继电器包括第四对常开触点、第五对常开触点和第六对常开触点；所述在所述压力值小于或等于所述预设压力阈值的情况下，控制所述第一电路、所述第二电路和所述第三电路接通，以使所述第一气体对应阀门、所述第二气体对应阀门和所述第三气体对应阀门打开，包括：通过所述第三继电器控制所述第四对常开触点、所述第五对常开触点和所述第六对常开触点闭合，控制所述第一电路、所述第二电路和所述第三电路接通，以使所述第一气体对应阀门、所述第二气体对应阀门和第三气体对应阀门打开。9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一气体为nf3，所述第二气体为h2，所述第三气体为sih4。10.一种半导体工艺设备，其特征在于，所述半导体工艺设备包括：工艺腔室、控制电路；所述控制电路包括用于控制第一气体对应阀门通断的第一电路、用于控制第二气体对应阀门通断的第二电路和用于控制第三气体对应阀门通断的第三电路，所述半导体工艺设备还包括：控制器，用于获取所述工艺腔室的压力值；在所述压力值大于预设压力阈值的情况下，当需要打开所述第二气体对应阀门和所述第三气体对应阀门时，控制所述第一电路断开，控制所述第二电路和所述第三电路接通，以使所述第一气体对应阀门关闭、所述第二气体对应阀门和所述第三气体对应阀门打开；当需要打开所述第一气体对应阀门时，控制所述第一电路闭合，以及控制所述第二电路和所述第三电路断开，以使所述第一气体对应阀门打开、所述第二气体对应阀门和所述第三气体对应阀门关闭。

技术总结
本发明实施例提供了一种特种气体安全控制方法和一种半导体工艺设备，该方法包括：获取腔室的压力值；在压力值大于预设压力阈值的情况下，当需打开第二气体阀门和第三气体阀门时，控制第一电路断开，第二电路和第三电路接通，使第一气体阀门关闭、第二气体阀门和第三气体阀门打开；当需打开第一气体阀门时，控制第一电路闭合，第二电路和第三电路断开，使第一气体阀门打开、第二气体阀门和第三气体阀门关闭。通过将阀门互锁加入电路设计中，使第一气体分别与第二气体、第三气体阀门不会同时开启，从而避免了软件控制失效的风险，防止特种气体之间发生化学反应生成副产物，造成硬件的损坏和人员的伤害，杜绝安全隐患，保护系统和人员安全。人员安全。人员安全。


技术研发人员：刘畅 荣延栋 胡云龙 刘旭
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2022.07.29
技术公布日：2022/11/18