用于多弧离子镀的阴极电弧靶结构的制作方法

技术特征：
1.一种用于多弧离子镀的阴极电弧靶结构，其特征在于，包括：安装盘，所述安装盘上设有第一安装孔；屏蔽罩，所述屏蔽罩对准所述第一安装孔并通过绝缘座安装于所述安装盘的内侧；绝缘密封套，所述绝缘密封套从所述第一安装孔穿过，绝缘密封套的外端设有压在所述安装盘外侧的第一环状凸出部；水冷靶座，所述水冷靶座从所述绝缘密封套穿过，水冷靶座的周部设有压在所述第一环状凸出部外侧的第二环状凸出部，所述水冷靶座的内端可拆卸地安装有置于所述屏蔽罩内的阴极靶材，水冷靶座靠外端安装有磁钢装置；压紧机构，所述压紧机构用于将所述水冷靶座压紧在所述安装盘的外侧；以及引弧装置，所述引弧装置安装在安装盘上，引弧装置上具有能够与所述阴极靶材的靶面接触的引弧针。2.根据权利要求1所述的用于多弧离子镀的阴极电弧靶结构，其特征在于，所述屏蔽罩包括环状辅助阳极和挡污屏蔽板，所述环状辅助阳极通过绝缘座安装于所述安装盘的内侧，环状辅助阳极与安装在安装盘上的电极引入装置电连接，所述挡污屏蔽板的一端设有螺纹连接于所述环状辅助阳极内的连接环。3.根据权利要求1所述的用于多弧离子镀的阴极电弧靶结构，其特征在于，所述水冷靶座包括外套管和内套管，所述第二环状凸出部包括第一凸环和第二凸环；所述外套管从所述绝缘密封套内穿过，所述第一凸环设于外套管的外端并压在所述第一环状凸出部的外侧，所述阴极靶材可拆卸地安装于外套管的内端；所述内套管的内端封闭并插入所述外套管内，内套管和外套管之间形成水冷腔，所述第二凸环设于内套管的外端并压在所述第一凸环的外侧，第二凸环侧部的两对侧分别设有与所述水冷腔连通的水冷进口和水冷出口。4.根据权利要求3所述的用于多弧离子镀的阴极电弧靶结构，其特征在于，所述压紧机构包括多组沿周向间隔设置于所述水冷靶座外的压紧件，每组所述压紧件均包括连接杆、转动压块和锁紧螺母，所述连接杆的内端固定安装盘上，连接杆的外端设有螺杆段，所述转动压块上设有第一穿孔，所述螺杆段的外端穿过所述第一穿孔并螺纹连接有所述锁紧螺母，转动压块能够相对于螺杆段转动以压住或松开所述第二凸环。5.根据权利要求3所述的用于多弧离子镀的阴极电弧靶结构，其特征在于，所述阴极靶材螺纹连接于所述外套管的内端。6.根据权利要求3所述的用于多弧离子镀的阴极电弧靶结构，其特征在于，所述内套管的外端设有端盖，所述端盖上设有第二穿孔，所述磁钢装置设于该内套管内，磁钢装置上连接有从端盖上的第二穿孔穿出的磁钢调节杆，所述磁钢调节杆能够相对于端盖轴向移动调节。7.根据权利要求6所述的用于多弧离子镀的阴极电弧靶结构，其特征在于，所述磁钢调节杆的外部沿轴向间隔设置有多个定位槽，所述第二穿孔的内周面设有能够卡入任一所述定位槽的定位珠。8.根据权利要求1所述的用于多弧离子镀的阴极电弧靶结构，其特征在于，所述引弧装置还包括引弧针调节杆、旋转机构和伸缩推杆；所述安装盘上设有第二安装孔，所述第二安装孔内安装有轴套，所述引弧针调节杆穿
过轴套，所述引弧针垂直连接于所述引弧针调节杆的内端；所述旋转机构的输出端与所述引弧针调节杆的外端相连，用于驱动所述引弧针调节杆转动；所述伸缩推杆的输出端与所述旋转机构相连，用于驱动所述旋转机构和引弧针调节杆轴向移动。9.根据权利要求8所述的用于多弧离子镀的阴极电弧靶结构，其特征在于，所述旋转机构采用旋转气缸，所述伸缩推杆采用伸缩气缸。

技术总结
本发明公开了一种用于多弧离子镀的阴极电弧靶结构，包括安装盘、屏蔽罩、绝缘密封套、水冷靶座、压紧机构和引弧装置；安装盘上设有第一安装孔；屏蔽罩通过绝缘座安装于安装盘的内侧；绝缘密封套从第一安装孔穿过，绝缘密封套的外端设有压在安装盘外侧的第一环状凸出部；水冷靶座从绝缘密封套穿过，水冷靶座的周部设有压在第一环状凸出部外侧的第二环状凸出部，水冷靶座的内端可拆卸地安装有置于屏蔽罩内的阴极靶材，水冷靶座靠外端安装有磁钢装置；压紧机构用于将水冷靶座压紧在安装盘的外侧；引弧装置安装在安装盘上，引弧装置上具有能够与阴极靶材的靶面接触的引弧针。本发明解决了现有技术中阴极靶材不便于更换的问题。决了现有技术中阴极靶材不便于更换的问题。决了现有技术中阴极靶材不便于更换的问题。


技术研发人员：ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者：圣思科技（廊坊）有限公司
技术研发日：2022.08.10
技术公布日：2022/11/15