新风机房在屋脊排气在两端的厂房新风工艺排气布置系统的制作方法

技术特征：
1.一种新风机房在屋脊排气在两端的厂房新风工艺排气布置系统，其特征在于：mau机房布置于洁净生产区屋面屋脊处（1），工艺排气设施布置于生产厂房短边两端支持区屋面（2），mau机房与工艺排气设备区域呈相互垂直关系。2.根据权利要求1所述新风机房在屋脊排气在两端的厂房新风工艺排气布置系统，其特征在于：新风从mau经新风集管（4）、新风支管（6）送入回风夹道（7）；工艺排气经工艺排气主管（5）、工艺排气支管接入各工艺机台；工艺排气主管（5）布置于洁净区钢桁架（8）内。3.根据权利要求2所述新风机房在屋脊排气在两端的厂房新风工艺排气布置系统，其特征在于：工艺排气主管（5）直接从支持区屋面集管接出，经较短的狗屋（3）接入支持区内，再经隔墙间接穿入洁净区钢桁架（8）内。4.根据权利要求2所述新风机房在屋脊排气在两端的厂房新风工艺排气布置系统，其特征在于：mau机房布置在屋脊处，从新风集管（4）接至各回风夹道（7）的新风支管（6）长度相同或相近，便于风量调节。5.根据权利要求2或3所述新风机房在屋脊排气在两端的厂房新风工艺排气布置系统，其特征在于：工艺排气主管（5）布置于洁净区钢桁架（8）内。

技术总结
本实用新型公开了一种新风机房在屋脊排气在两端的厂房新风工艺排气布置系统，该布置方式适用于长宽比较大的芯片制造厂房，包括单个或双子星芯片制造厂房的设计，整体将核心的洁净新风机房设置在洁净区屋脊上；工艺排气设备沿短边设置在两端支持区屋面上，排气区域与MAU机房呈垂直方向布置；工艺排气主管布置在洁净区上技术夹层桁架内，改变了以往将MAU机房设置在厂房长边支持区四层或洁净区桁架层内，排气设备区域在长边屋面上与MAU机房相互平行布置的设计。该方案MAU机房不占用支持区面积，不占用洁净区上技术夹层空间，减小了对桁架内洁净气流的干扰，使洁净室温度、湿度、压力更加均匀和稳定，增加了桁架内的穿管空间。增加了桁架内的穿管空间。增加了桁架内的穿管空间。


技术研发人员：白焰 龚伟力 姚哲卿 杨丽 韩敏娟
受保护的技术使用者：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
技术研发日：2022.08.08
技术公布日：2022/11/15