一种连续扫描式聚焦激光差分干涉仪及测量方法与流程

技术特征：
1.一种连续扫描式聚焦激光差分干涉仪，其特征在于，所述干涉仪包括：激光器(1)、第一偏振片(2)、半波片(3)、凹透镜(4)、第一双折射分光棱镜(5)、第二双折射分光棱镜(6)、第一凸透镜(7)、第二凸透镜(8)、第三双折射分光棱镜(9)、第二偏振片(10)、第四双折射分光棱镜(11)和光电探测器(12)；其中，所述激光器(1)用于产生激光束并射入所述第一偏振片(2)获得第一偏振光束，所述第一偏振光束射入所述半波片(3)进行偏振方向调控获得第二偏振光束，第二偏振光束经所述凹透镜(4)转化为发散光束，所述发散光束射入所述第一双折射分光棱镜(5)进行偏光处理后获得第三偏振光束，所述第三偏振光束射入所述第二双折射分光棱镜(6)分解为两束具有分离角度且强度相等的正交偏振光束，所述第一凸透镜(7)用于将所述正交偏振光束汇聚在测量区域形成测点；所述第二凸透镜(8)用于接收测量区域内的光束并射入所述第三双折射分光棱镜(9)，所述第三双折射分光棱镜(9)用于将2束具有分离角的正交偏振光束合成为共光轴的正交偏振光束并射入所述第二偏振片(10)，所述第二偏振片(10)用于对射入的正交偏振光束进行检偏获得第三偏振光束并射入所述第四双折射分光棱镜(11)，所述第四双折射分光棱镜(11)用于对所述第三偏振光束进行与所述第一双折射分光棱镜(5)对应的逆偏光处理，从所述第四双折射分光棱镜(11)射出的光束射入所述光电探测器(12)进行信号采集。2.根据权利要求1所述的一种连续扫描式聚焦激光差分干涉仪，其特征在于，第一双折射分光棱镜(5)、第二双折射分光棱镜(6)、第三双折射分光棱镜(9)和第四双折射分光棱镜(11)均为渥拉斯顿棱镜。3.根据权利要求1所述的一种连续扫描式聚焦激光差分干涉仪，其特征在于，第一双折射分光棱镜(5)和第四双折射分光棱镜(11)参数相同且分光轴平行；第二双折射分光棱镜(6)和第三双折射分光棱镜(9)参数相同且分光轴平行，第二双折射分光棱镜(6)和第三双折射分光棱镜(9)的分离角小于第一双折射分光棱镜(5)和第四双折射分光棱镜(11)的分离角。4.根据权利要求1所述的一种连续扫描式聚焦激光差分干涉仪，其特征在于，第一凸透镜(7)与第二凸透镜(8)参数相同。5.根据权利要求3所述的一种连续扫描式聚焦激光差分干涉仪，其特征在于，所述半波片(3)用于调节激光束偏振方向，使激光束的偏振方向与第一双折射分光棱镜(5)和第四双折射分光棱镜(11)的分光轴重合或呈45度夹角。6.根据权利要求1所述的一种连续扫描式聚焦激光差分干涉仪，其特征在于，第一双折射分光棱镜(5)和第四双折射分光棱镜(11)安装于同步控制的对称位移平台上。7.根据权利要求3所述的一种连续扫描式聚焦激光差分干涉仪，其特征在于，第二双折射分光棱镜(6)和第三双折射分光棱镜(9)的分光轴方向与第一双折射分光棱镜(5)和第四双折射分光棱镜(11)的分光轴方向呈45度。8.根据权利要求3所述的一种连续扫描式聚焦激光差分干涉仪，其特征在于，第二双折射分光棱镜(6)和第三双折射分光棱镜(9)的通光口径大于第一双折射分光棱镜(5)和第四双折射分光棱镜(11)的通光口径。9.根据权利要求1所述的一种连续扫描式聚焦激光差分干涉仪，其特征在于，所述第一偏振片(2)、所述半波片(3)、所述第一双折射分光棱镜(5)、所述第二双折射分光棱镜(6)、
所述第三双折射分光棱镜(9)、所述第二偏振片(10)和第四双折射分光棱镜(11)均安装有旋转框架。10.一种基于权利要求1-9中任意一个所述的一种连续扫描式聚焦激光差分干涉仪的测量方法，其特征在于，所述方法包括：开启所述激光器；旋转所述半波片(3)，使得偏振光束偏振方向与所述第一双折射分光棱镜(5)和所述第四双折射分光棱镜(11)的分光轴平行；沿光轴方向对称移动所述第一双折射分光棱镜(5)和所述第四双折射分光棱镜(11)，实现双测点连续扫描测量；或开启所述激光器；旋转所述半波片(3)，使得偏振光束偏振方向与所述第一双折射分光棱镜(5)和所述第四双折射分光棱镜(11)的分光轴呈45度夹角；沿光轴方向对称移动所述第一双折射分光棱镜(5)和所述第四双折射分光棱镜(11)，实现单测点连续扫描测量。

技术总结
本发明公开了一种连续扫描式聚焦激光差分干涉仪及测量方法，涉及光学测量技术领域，所述干涉仪包括：激光器、第一偏振片、半波片、凹透镜、第一双折射分光棱镜、第二双折射分光棱镜、第一凸透镜、第二凸透镜、第三双折射分光棱镜、第二偏振片、第四双折射分光棱镜和光电探测器；本发明仅需要通过对称移动第一双折射分光棱镜和第四双折射分光棱镜，便可以实现聚焦激光差分干涉仪测点连续扫描，结构灵活性高，实用性强。实用性强。实用性强。


技术研发人员：李宏勋 姚向红 陈爽 袁强
受保护的技术使用者：中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所
技术研发日：2022.08.25
技术公布日：2022/11/11