一种能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片的制作方法

1.本发明涉及检测硫化氢及二氧化硫的传感器固体芯片技术领域，尤其涉及一种能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片。


背景技术：

2.硫化氢具有易燃性，与空气混合能形成爆炸性混合物，遇明火易发生爆炸，硫化氢气体比空气重，能在较低处扩散到相当远的地方，遇明火会引起回燃。二氧化硫是一种对人体健康有害的气体，短时间暴露在高浓度二氧化硫下会严重损害呼吸系统，长期生活或工作在含少量二氧化硫的环境中也可导致呼吸系统疾病，影响人体健康。
3.因此，对硫化氢和二氧化硫的检测变得非常重要，很多研究者做出了大量的工作：cn1122102510p37.4关于氧化钼电阻型硫化氢气体传感器，和cn112210239764.0一种硫化氢选择性氧化催化剂及其制备方法和应用的现有技术，都是采用半导体氧化物的电阻变化来进行硫化氢的检测，但是存在：电阻的测量容易受空气灰尘及其它颗粒物的影响，使得电阻与实际偏差较大，会导致对硫化氢的整体检测准确性较差的问题；
4.cn113916791a一种锆基传感器及其制备方法﹑检测方法，是公开的使用固体电化学传感器能检测硫化氢，存在不能检测二氧化硫的缺陷。实际硫化氢与空气接触，非常容易被氧化产生二氧化硫，这样在实际检测使用过程中，硫化氢混合气体中通常会含有二氧化硫，如何采用固体电解质传感器芯片准确检测二氧化硫及硫化氢，现有的公开技术文献，鲜有报道。


技术实现要素：

5.本发明的目的是为了解决现有技术中使用半导体氧化物的电阻变化来进行硫化氢检测存在的问题，以及现有的固体电化学传感器存在不能检测二氧化硫的缺陷。本发明解决了原利用半导体氧化物检测硫化氢，检测数据与实际偏差较大，整体测量准确性差的问题，实现了采用固体电解质传感器芯片利用泵电流，能够同时检测二氧化硫及硫化氢，整体使用方便安全，能在高温下使用，检测灵敏性好，适合作为能同时检测硫化氢及二氧化硫的固体传感器芯片推广使用。
6.为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
7.一种能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片，包括传导氧离子的固体电解质层和设置在传导氧离子固体电解质层底部的绝缘层，绝缘层由氧化铝制成，
8.所述传导氧离子的固体电解质层上设有测试腔，
9.所述测试腔上设有进气通道，测试腔内设有电极，两个临近的所述测试腔之间设有扩散障，
10.所述传导氧离子固体电解质层与所述绝缘层之间还设有参考气体通道层。
11.为了制作能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片，进一步地，所述传导氧离子的固体电解质层为陶瓷片状体，
12.所述能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片的制作方法为：
13.步骤一：将氧化锆和氧化铝混合物混合搅拌制成流延浆料，采用流延成型方式制成流延陶瓷生坯片；
14.步骤二：采用点涂方式将进气通道设置在步骤一中的流延陶瓷生坯片上，采用丝印加工方式，将电极﹑测试腔﹑扩散障﹑参比电极通道层印刷在步骤一中的流延陶瓷生坯上；
15.步骤三：采用等静压层压方式，将印刷有电极﹑测试腔﹑扩散障进气通道的步骤一中的流延陶瓷生坯﹑以及其它不同的流延陶瓷生坯片﹑参比电极通道层以及绝缘层，这些片层叠压在一起；
16.步骤四：将已制成的叠压在一起后的流延陶瓷生坯，烧结成型，制成呈层状结构的能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片。
17.为了制作流延浆料，使其能够满足制作能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片的实际需要，更进一步地，所述流延浆料的组成按照重量份为：粘结剂pvb聚乙烯醇缩丁醛为10份，增塑剂为10份，陶瓷粉末为60份，乙醇和甲苯的混合溶剂20份，其中每份的重量单位能够为千克或克，
18.将所述流延浆料组成的物质采用砂磨机连续砂磨48小时，加入有机硅消泡剂1份，采用砂磨机连续砂磨20分钟，制成流延浆料，
19.所述增塑剂为环氧大豆油﹑脂肪酸甲脂中的一种或两种的混合物，增塑剂由郑州宝泰纳米材料有限公司生产，所述陶瓷粉末为氧化锆和氧化铝粉末的混合物，陶瓷粉末由法国圣戈班集团生产，所述pvb聚乙烯醇缩丁醛由天元航材(营口)科技股份有限公司生产，
20.所述乙醇和甲苯混合溶剂两者的体积比为2:1，乙醇和甲苯混合溶剂由济南三恩化工有限公司生产，所述有机硅消泡剂由山东仕源化工科技有限公司生产。
21.为了使制作的能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片，能满足固体传感器芯片的实际使用工艺需要，更进一步地，所述步骤四中的烧结成型的烧结温度为1365℃
±
10℃，烧结时间为1.5小时。
22.为了使制作的多孔材料，能满足制作能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片中进气通道﹑扩散障﹑参考气体通道层的实际需要，进一步地，所述进气通道﹑扩散障﹑参考气体通道层由多孔材料制成，
23.所述多孔材料的组成按照重量份为：氧化锆粉末为80份，氧化铝粉末为10份，石墨造孔剂为10份，粘结剂pvb聚乙烯醇缩丁醛为10份，其中每份的重量单位能够为千克或克，使用三辊研磨机连续研磨2小时后制成多孔材料浆料，采用丝印加工方式，将进气通道﹑扩散障﹑参考气体通道层印刷在对应的流延陶瓷生坯上，
24.所述氧化锆粉末由法国圣戈班集团生产，所述石墨造孔剂由青岛富润达石墨有限公司生产，所述pvb聚乙烯醇缩丁醛由天元航材(营口)科技股份有限公司生产。
25.为了使制作的能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片中的测试腔，能满足检测硫化氢及二氧化硫的实际需要，进一步地，所述测试腔的厚度为0.1～0.3毫米。
26.为了使制作的能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片中的固体电解质层及内部结构，能满足准确检测硫化氢及二氧化硫的实际需要，进一步地，所述传导氧离子的固体电解质层从上到下依次有第一固体电解质层﹑第二固体电解质层﹑第三固体电解质层﹑第四固体电解质层﹑第五固体电解质层，第五固体电解质层底部设有绝缘层，
27.所述第一固体电解质层上设有进气通道，
28.所述第二固体电解质层上从左到有依次设有测试腔一﹑测试腔二﹑测试腔三，测试腔一与测试腔二之间设有扩散障一，测试腔二与测试腔三之间设有扩散障二，所述测试腔一上设有第一电极，测试腔二的上下区域分别设有两个第二电极，测试腔三的上下区域分别设有两个第三电极，两个第三电极为测量电极，
29.所述进气通道位于第二固体电解质层中测试腔一的第一电极的上面，
30.所述第四固体电解质层上设有参考气体通道层，参考气体通道层内设有第四电极，第四电极为参比电极，
31.所述绝缘层内设有电阻加热器电极。
32.为了对能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片中不同泵电池单元进行细化描述，更清楚完整的解释不同泵电池单元的实际运行功能，更进一步地，所述进气通道上顶部有开口区，待检测的混合气体能通过开口区和进气通道，进入到测试腔一内，
33.所述测试腔一上的第一电极能与参比电极形成电化学第一泵电池单元，通过电化学第一泵电池单元能在测试腔一内设定恒定氧分压，该恒定氧分压小于待检测的混合气体的氧分压，
34.所述测试腔二上下区域的两个第二电极能与参比电极形成电化学第二泵电池单元，两个第二电极都位于进入测试腔一内待检测的混合气体扩散方向的下游，
35.所述电化学第一泵电池单元和电化学第二泵电池单元能够在限定的泵电流范围内运行，通过限定电化学第一泵电池单元和电化学第二泵电池单元的泵电流对应的电势数值，能够确保待检测的混合气体中硫化氢在测试腔一和测试腔二内全部被完全氧化为二氧化硫，
36.所述测试腔三的上下区域的两个第三电极能与参比电极形成电化学第三泵电池单元，两个第三电极为测量电极，两个第三电极都位于进入测试腔二内待检测的混合气体扩散方向的下游。
37.为了使第一电极﹑第二电极﹑测量电极﹑参比电极和电阻加热器电极浆料，能满足制作能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片的实际需要，再进一步地，所述第一电极﹑第二电极﹑测量电极和参比电极都采用丝印加工方式，将电极浆料分别印刷在第二固体电解质层和第四固体电解质层上，
38.所述第一电极﹑第二电极﹑测量电极和参比电极的电极浆料组成按照重量份为：重金属铂粉末为50份，氧化锆粉末为10份，松油醇为30份，乙基纤维素为10份，有机硅消泡剂1份，其中每份的重量单位能够为千克或克，使用三辊研磨机连续研磨2小时，制成均一的电极浆料，采用丝印加工方式，将第一电极﹑第二电极﹑测量电极和参比电极浆料印刷在对应的流延陶瓷生坯上，
39.所述电阻加热器电极的电极浆料组成按照重量份为：重金属铂粉末为57份，玻璃粉粘结剂为3份，氧化铝粉末为10份，松油醇为20份，粘结剂pvb聚乙烯醇缩丁醛为10份，有机硅消泡剂1份，其中每份的重量单位能够为千克或克，使用三辊研磨机连续研磨2小时，制成均一的电极浆料，采用丝印加工方式，将电阻加热器电极浆料印刷在对应的流延陶瓷生坯上，
40.所述氧化锆粉末和氧化铝粉末都由法国圣戈班集团生产，重金属铂粉末由贵研铂
业股份有限公司生产，玻璃粉粘结剂由佛山市玻晶材料有限公司生产，松油醇由江西鑫森天然植物油有限公司生产。
41.与现有技术相比，本发明提供了一种能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片，具备以下有益效果：
42.该能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片，利用传导氧离子的固体电解质层﹑设置在传导氧离子固体电解质层底部的绝缘层﹑测试腔﹑进气通道﹑电极﹑扩散障﹑参考气体通道层整体组合制成传感器芯片，运用测试腔一上的第一电极能与参比电极形成电化学第一泵电池单元，测试腔二上下区域的两个第二电极能与参比电极形成电化学第二泵电池单元，测试腔三的上下区域的两个第三电极能与参比电极形成电化学第三泵电池单元，同时在参考气体通道层内设有参比电极，在第一时间间隔内借助于电化学第三泵电池单元和参比电极，使电化学第三泵电池单元电势电位在-90至-300mv范围内，在该电势电位下，通过进气通道进入到测试腔一﹑扩散到测试腔二中的待检测的混合气体，该待检测的混合气体中所含的二氧化硫全部被定量地还原，在该过程中检测到流向第三电极与参比电极之间的泵电流，运用此时的泵电流能直接量度待检测的混合气体中最初存在的硫化氢浓度；
43.同时，在第一时间间隔内借助于电化学第三泵电池单元和参比电极，确定存在于气体混合物中的硫化氢的浓度，并且在第二时间间隔内，确定气体混合物中硫化氢和二氧化硫的总和。在第一时间间隔中获得的测量信号产生了对气体混合物中存在的硫化氢浓度的直接测量。此外，气体混合物中的二氧化硫浓度通过简单地形成在第一和第二时间间隔内采集的测量信号的差值来获得；
44.以此来实现利用固体传感器芯片既能检测待检测混合气体中的硫化氢，又能检测二氧化硫，整体使用方便安全，检测准确性好，灵敏性好。
附图说明
45.图1为本发明提出的一种能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片整体示意图；
46.图2为本发明提出的一种能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片整体垂直纵向剖切面的正面放大示意图。
47.图中：a、第一固体电解质层；b、第二固体电解质层；c、第三固体电解质层；d、第四固体电解质层；e、第五固体电解质层；f、绝缘层；11、第一电极；12、第二电极；13、测量电极；14、参比电极；15、电阻加热器电极；p1、扩散障一；p2、扩散障二；p3、参考气体通道层；p4、进气通道；t1、测试腔一；t2、测试腔二；t3、测试腔三。
具体实施方式
48.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
49.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
50.下面结合实施例和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
51.实施例1：
52.参见附图：一种能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片，包括传导氧离子的固体电解质层和设置在传导氧离子固体电解质层底部的绝缘层f，绝缘层f由氧化铝制成，
53.所述传导氧离子的固体电解质层上设有测试腔，
54.所述测试腔上设有进气通道p4，测试腔内设有电极，两个临近的所述测试腔之间设有扩散障，
55.所述传导氧离子固体电解质层与所述绝缘层f之间还设有参考气体通道层p3。
56.为了制作能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片，进一步地，所述传导氧离子的固体电解质层为陶瓷片状体，
57.所述能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片的制作方法为：
58.步骤一：将氧化锆和氧化铝混合物混合搅拌制成流延浆料，采用流延成型方式制成流延陶瓷生坯片；
59.步骤二：采用点涂方式将进气通道设置在步骤一中的流延陶瓷生坯片上，采用丝印加工方式，将电极﹑测试腔﹑扩散障﹑参比电极通道层p3印刷在步骤一中的流延陶瓷生坯上；
60.步骤三：采用等静压层压方式，将印刷有电极﹑测试腔﹑扩散障进气通道p4的步骤一中的流延陶瓷生坯﹑以及其它不同的流延陶瓷生坯片﹑参比电极通道层p3以及绝缘层f，这些片层叠压在一起；
61.步骤四：将已制成的叠压在一起后的流延陶瓷生坯，烧结成型，制成呈层状结构的能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片。
62.为了制作流延浆料，使其能够满足制作能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片的实际需要，更进一步地，所述流延浆料的组成按照重量份为：粘结剂pvb聚乙烯醇缩丁醛为10份，增塑剂为10份，陶瓷粉末为60份，乙醇和甲苯的混合溶剂20份，其中每份的重量单位能够为千克或克，
63.将所述流延浆料组成的物质采用砂磨机连续砂磨48小时，加入有机硅消泡剂1份，采用砂磨机连续砂磨20分钟，制成流延浆料，
64.所述增塑剂为环氧大豆油﹑脂肪酸甲脂中的一种或两种的混合物，增塑剂由郑州宝泰纳米材料有限公司生产，所述陶瓷粉末为氧化锆和氧化铝粉末的混合物，陶瓷粉末由法国圣戈班集团生产，所述pvb聚乙烯醇缩丁醛由天元航材(营口)科技股份有限公司生产，
65.所述乙醇和甲苯混合溶剂两者的体积比为2:1，乙醇和甲苯混合溶剂由济南三恩化工有限公司生产，所述有机硅消泡剂由山东仕源化工科技有限公司生产。
66.为了使制作的能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片，能满足固体传感器芯片的实际使用工艺需要，更进一步地，所述步骤四中的烧结成型的烧结温度为1365℃
±
10℃，烧结时间为1.5小时。
67.为了使制作的多孔材料，能满足制作能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片中进气通道p4﹑扩散障﹑参考气体通道层p3的实际需要，进一步地，所述进气通道p4﹑扩散障﹑参考气体通道层p3由多孔材料制成，
68.所述多孔材料的组成按照重量份为：氧化锆粉末为80份，氧化铝粉末为10份，石墨造孔剂为10份，粘结剂pvb聚乙烯醇缩丁醛为10份，其中每份的重量单位能够为千克或克，
使用三辊研磨机连续研磨2小时后制成多孔材料浆料，采用丝印加工方式，将进气通道﹑扩散障﹑参考气体通道层p3印刷在对应的流延陶瓷生坯上，
69.所述氧化锆粉末由法国圣戈班集团生产，所述石墨造孔剂由青岛富润达石墨有限公司生产，所述pvb聚乙烯醇缩丁醛由天元航材(营口)科技股份有限公司生产。
70.为了使制作的能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片中的测试腔，能满足检测硫化氢及二氧化硫的实际需要，进一步地，所述测试腔的厚度为0.1～0.3毫米。
71.为了使制作的能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片中的固体电解质层及内部结构，能满足准确检测硫化氢及二氧化硫的实际需要，进一步地，所述传导氧离子的固体电解质层从上到下依次有第一固体电解质层a﹑第二固体电解质层b﹑第三固体电解质层c﹑第四固体电解质层d﹑第五固体电解质层e，第五固体电解质层e底部设有绝缘层f，
72.所述第一固体电解质层a上设有进气通道p4，
73.所述第二固体电解质层b上从左到有依次设有测试腔一t1﹑测试腔二t2﹑测试腔三t3，测试腔一t1与测试腔二t2之间设有扩散障一p1，测试腔二t2与测试腔三t3之间设有扩散障二p2，所述测试腔一t1上设有第一电极11，测试腔二t2的上下区域分别设有两个第二电极12，测试腔三t3的上下区域分别设有两个第三电极，两个第三电极为测量电极13，
74.所述进气通道p4位于第二固体电解质层b中测试腔一t1的第一电极11的上面，
75.所述第四固体电解质层d上设有参考气体通道层p3，参考气体通道层p3内设有第四电极，第四电极为参比电极14，
76.所述绝缘层f内设有电阻加热器电极15。
77.为了对能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片中不同泵电池单元进行细化描述，更清楚完整的解释不同泵电池单元的实际运行功能，更进一步地，所述进气通道p4上顶部有开口区，待检测的混合气体能通过开口区和进气通道p4，进入到测试腔一t1内，
78.所述测试腔一t1上的第一电极11能与参比电极14形成电化学第一泵电池单元，通过电化学第一泵电池单元能在测试腔一t1内设定恒定氧分压，该恒定氧分压小于待检测的混合气体的氧分压，
79.所述测试腔二t2上下区域的两个第二电极12能与参比电极14形成电化学第二泵电池单元，两个第二电极12都位于进入测试腔一t1内待检测的混合气体扩散方向的下游，
80.所述电化学第一泵电池单元和电化学第二泵电池单元能够在限定的泵电流范围内运行，通过限定电化学第一泵电池单元和电化学第二泵电池单元的泵电流对应的电势数值，能够确保待检测的混合气体中硫化氢在测试腔一t1和测试腔二t2内全部被完全氧化为二氧化硫，
81.所述测试腔三t3的上下区域的两个第三电极能与参比电极14形成电化学第三泵电池单元，两个第三电极为测量电极13，两个第三电极都位于进入测试腔二t2内待检测的混合气体扩散方向的下游。
82.为了使第一电极11﹑第二电极12﹑测量电极13﹑参比电极14和电阻加热器电极15浆料，能满足制作能检测硫化氢及二氧化硫的传感器芯片的实际需要，再进一步地，所述第一电极11﹑第二电极12﹑测量电极13和参比电极14都采用丝印加工方式，将电极浆料分别印刷在第二固体电解质层b和第四固体电解质层d上，
83.所述第一电极11﹑第二电极12﹑测量电极13和参比电极14的电极浆料组成按照重
量份为：重金属铂粉末为50份，氧化锆粉末为10份，松油醇为30份，乙基纤维素为10份，有机硅消泡剂1份，其中每份的重量单位能够为千克或克，使用三辊研磨机连续研磨2小时，制成均一的电极浆料，采用丝印加工方式，将第一电极11﹑第二电极12﹑测量电极13和参比电极14浆料印刷在对应的流延陶瓷生坯上，
84.所述电阻加热器电极15的电极浆料组成按照重量份为：重金属铂粉末为57份，玻璃粉粘结剂为3份，氧化铝粉末为10份，松油醇为20份，粘结剂pvb聚乙烯醇缩丁醛为10份，有机硅消泡剂1份，其中每份的重量单位能够为千克或克，使用三辊研磨机连续研磨2小时，制成均一的电极浆料，采用丝印加工方式，将电阻加热器电极15浆料印刷在对应的流延陶瓷生坯上，
85.所述氧化锆粉末和氧化铝粉末都由法国圣戈班集团生产，重金属铂粉末由贵研铂业股份有限公司生产，玻璃粉粘结剂由佛山市玻晶材料有限公司生产，松油醇由江西鑫森天然植物油有限公司生产；
86.使用时，在第一时间间隔内借助于电化学第三泵电池单元中测量电极13和参比电极14上的泵电流，确定存在于待检测混合气体中的硫化氢的浓度，并且在第二时间间隔内，确定待检测混合气体中硫化氢和二氧化硫的总和。因此，在第一时间间隔中获得的测量信号产生了对待检测混合气体中存在的硫化氢浓度的直接测量。此外，待检测混合气体中的二氧化硫浓度通过简单地形成在第一时间间隔和第二时间间隔内采集的测量信号的差值来获得。
87.在第一个时间间隔，电势被施加到第一电极11和参比电极14上，还原气体混合物中存在的氧和二氧化硫，至少从气体混合物中大部分被除去，相对于参比电极14的电势，第一电极11电势优选范围为-90mv到-700mv；
88.通过为第一电极11选择合适的电极材料，能够进一步提高第一电极11的选择性，第一电极11能够用贵金属铂-金合金材料制成；
89.在第一时间间隔中，额外施加一个电位，该电位导致气体混合物中仍然包含的氧气浓度进一步降低，并且气体混合物中包含的硫化氢定量氧化成二氧化硫至第二电极12。为此，对第二电极12和参比电极14施加相对于电势，此时，第二电极12相对空气参考气体通道层p3中参比电极14的电势范围为-100mv～-600mv。第二电极12能够用铂或铂合金材料制成；
90.在第一时间间隔中，在第一电极11和参比电极14上施加的电位范围为-90mv至-300mv，在该电位下，气体混合物中所含的特别是二氧化硫被定量地还原，并且在该过程中检测到流向测试腔三t3中测量电极13和参比电极14之间的泵电流；
91.电化学第一泵电池单元的泵电流是气体混合物中最初存在的硫化氢浓度的直接量度检测值；
92.在第二时间间隔中，向第一电极11和参比电极14之间施加一个电势，使待检测混合物气体中的氧浓度被选择性地降低，而存在于待检测混合物气体中的二氧化硫不被分解，同时，存在于待检测混合物气体中的硫化氢被氧化，相对于空气参考气体通道层p3中参比电极14，此时向第一电极11施加的电势电位相对于参比电极14的范围为-100mv～-300mv；
93.在第二时间间隔中，如果在第一时间间隔中，仍然存在于气体混合物中的硫化氢
在第二电极12处被氧化以形成相应的二氧化硫，同时，气体混合物中仍然存在的氧气浓度进一步降低；在这种情况下，需要在第二电极12处施加的电势电位相对于参比电极14的范围为-100至-300mv；
94.在第二时间间隔中，二氧化硫在测量电极13处被还原，二氧化硫首先由硫化氢的氧化产生，其次可能是气体混合物的组分。因此，在第二时间间隔中，由硫化氢的氧化产生的二氧化硫的浓度和从一开始就已经存在于气体混合物中的二氧化硫的浓度由电化学第三泵电池单元中测量电极13和参比电极14上的泵电流确定。所以，与第一时间间隔一样，此时施加在测量电极13的电势电位相对于空气参考气体通道层p3中参比电极14的范围为-100mv至-500mv，运用不同的电势电位而引起的电化学第一泵电池单元的泵电流﹑电化学第二泵电池单元的泵电流和电化学第三泵电池单元的泵电流的变化，能够更进一步地进行待检测混合气体中检测到的硫化氢﹑二氧化硫的检测数据标定。
95.本发明解决了原利用半导体氧化物检测硫化氢，检测数据与实际偏差较大，整体测量准确性差的问题，同时解决了现有的固体电化学传感器存在不能检测二氧化硫的缺陷，实现了采用固体电解质传感器芯片利用泵电流，能够同时检测二氧化硫及硫化氢，整体使用方便安全，能在高温下使用，检测灵敏性好，适合作为能同时检测硫化氢及二氧化硫的固体传感器芯片推广使用。
96.上述仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。