一种排气装置及尾气处理系统的制作方法

1.本实用新型涉及制造领域，具体涉及一种排气装置及尾气处理系统。


背景技术：

2.在工业生产制造过程中，尤其在半导体加工制造过程中，经常会产生尾气废气，如不能及时排出处理会影响生产环境，并且部分尾气还有可能因未能及时排出残存在制造设备内部，积累大量气体在设备内部，无法顺畅排出，造成内部压力过高而报警。现有的尾气处理系统出于排风管路原因，有些区域无法满足排风压力，需要增加排气能力来改善内部压力，因此需要设计一种排气装置及尾气处理系统解决此技术问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种排气装置及尾气处理系统，可以增加尾气处理系统的排气能力。
4.为实现上述目的，本实用新型提供一种排气装置，包括相连的第一筒体与第二筒体，所述第一筒体的一端设有第一进气口，所述第一筒体的另一端设有第一出气口，所述第二筒体的一端设有第二进气口，所述第二筒体的另一端设有第二出气口，所述第一出气口与所述第二进气口相连通；所述第一筒体的内径沿所述第一进气口至所述第一出气口逐渐减小，且所述第一筒体的内壁设有沿所述第一筒体的轴向延伸设置的第一螺旋凸起肋或第一螺旋凹槽，以使进入所述第一筒体的气流的至少一部分沿所述第一螺旋凸起肋或所述第一螺旋凹槽流动。
5.可选的，所述排气装置还包括若干用于连接所述第一筒体和所述第二筒体的连接件，所述连接件的一端与所述第一筒体的外壁相连，所述连接件的另一端与所述第二筒体的外壁相连。
6.可选的，所述第一出气口与所述第二进气口之间设有缝隙。
7.可选的，所述排气装置还包括一进气筒，所述进气筒与所述第一筒体和/或所述第二筒体的外壁相连且所述进气筒与所述缝隙相连通，以使外部气体经所述进气筒再经所述缝隙进入所述第一筒体和所述第二筒体的内部。
8.可选的，所述排气装置还包括一与所述进气筒相连的输气装置，所述输气装置用于向所述进气筒内输入压缩空气。
9.可选的，所述输气装置与所述进气筒之间的输气管路上设有阀门。
10.可选的，所述排气装置还包括一连接管，所述连接管的一端位于所述第一出气口内，所述连接管的另一端位于所述第二进气口内，所述连接管的表面设有多个贯穿所述连接管的整个壁厚的通气孔，以使经所述缝隙进入的气体经所述通气孔进入所述第一筒体和所述第二筒体的内部。
11.可选的，所述第二筒体的内壁设有沿所述第二筒体的轴向延伸设置的第二螺旋凸起肋或第二螺旋凹槽，以使进入所述第二筒体的气流的至少一部分沿所述第二螺旋凸起肋
或所述第二螺旋凹槽流动。
12.可选的，所述第二筒体的内径沿所述第二进气口至所述第二出气口逐渐增大。
13.本实用新型还提供一种尾气处理系统，包括依次连通的燃烧处理装置、水洗冷却装置、吸附过滤装置和上述任一所述的排气装置，所述排气装置的第一进气口与所述吸附过滤装置连通。
14.与现有技术相比，本实用新型提供的排气装置及尾气处理系统具有如下有益效果：
15.本实用新型提供的排气装置，包括相连的第一筒体与第二筒体，所述第一筒体的一端设有第一进气口，所述第一筒体的另一端设有第一出气口，所述第二筒体的一端设有第二进气口，所述第二筒体的另一端设有第二出气口，所述第一出气口与所述第二进气口相连通；所述第一筒体的内径沿所述第一进气口至所述第一出气口逐渐减小，且所述第一筒体的内壁设有沿所述第一筒体的轴向延伸设置的第一螺旋凸起肋或第一螺旋凹槽，以使进入所述第一筒体的气流的至少一部分沿所述第一螺旋凸起肋或所述第一螺旋凹槽流动。当尾气的气流由所述第一进气口进入所述第一筒体时，由于沿所述第一筒体轴向延伸的第一螺旋凸起肋或第一螺旋凹槽的存在，进入所述第一筒体的气流的一部分沿所述第一螺旋凸起肋或所述第一螺旋凹槽流动，从而形成气流螺旋，实现螺旋导流，加快气流流速；所述第一筒体的内径沿所述第一进气口至所述第一出气口逐渐减小，根据流体力学，气流在流往所述第一筒体靠近所述第二筒体的一端时流速因空间限制而变大，流速大则压强小，进一步利用气流前后压强差加快气流流速，实现增加尾气处理排气能力的技术效果。
16.本实用新型提供的尾气处理系统，包括依次连通的燃烧处理装置、水洗冷却装置、吸附过滤装置和上述任一所述的排气装置，所述排气装置的第一进气口与所述吸附过滤装置连通。由于所述尾气处理系统包括所述排气装置，因此所述尾气处理系统可实现增加尾气处理排气能力的技术效果。
附图说明
17.图1为本实用新型一实施例提供的排气装置的整体结构示意图；
18.图2为本实用新型一实施例提供的排气装置的局部剖视图；
19.图3为本实用新型一实施例提供的排气装置的局部仰视图；
20.图4为本实用新型一实施例提供的尾气处理系统的主视图；
21.附图标记如下:
22.1-第一筒体；2-第二筒体；101-第一进气口；102-第一出气口；201-第二进气口；202-第二出气口；11-第一螺旋凸起肋；22-第二螺旋凸起肋；12-连接件；13-缝隙；21-进气筒；23-连接管；24-通气孔；
23.3-输气装置；31-阀门；
24.4-燃烧处理装置；5-水洗冷却装置；6-吸附过滤装置；7-排气装置。
具体实施方式
25.为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅
用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
26.应当明白，当元件或层被称为"在
…
上"、"连接到"其它元件或层时，其可以直接地在其它元件或层上、连接其它元件或层，或者可以存在居间的元件或层。相反，当元件被称为"直接在
…
上"、"直接连接到"其它元件或层时，则不存在居间的元件或层。尽管可使用术语第一、第二、第三等描述各种元件、部件、区、层和/或部分，这些元件、部件、区、层和/或部分不应当被这些术语限制。这些术语仅仅用来区分一个元件、部件、区、层或部分与另一个元件、部件、区、层或部分。因此，在不脱离本实用新型教导之下，下面讨论的第一元件、部件、区、层或部分可表示为第二元件、部件、区、层或部分。空间关系术语例如“在
……
之下”、“在下面”、“下面的”、“在
……
之上”、“在上面”、“上面的”等，在这里可为了方便描述而被使用从而描述图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应当明白，除了图中所示的取向以外，空间关系术语意图还包括使用和操作中的器件的不同取向。例如，如果附图中的器件翻转，然后，描述为“在
……
之下”、“在下面”、“下面的”元件或特征将取向为在其它元件或特征“上”。器件可以另外地取向(旋转90度或其它取向)并且在此使用的空间描述语相应地被解释。在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本实用新型的限制。在此使用时，单数形式的"一"、"一个"和"所述/该"也意图包括复数形式，除非上下文清楚地指出另外的方式。还应明白术语“包括”用于确定可以特征、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语"和/或"包括相关所列项目的任何及所有组合。
27.本实用新型的目的在于提供一种排气装置及尾气处理系统，利用其内部的螺旋凸起肋或螺旋凹槽，并利用所述第一筒体内径变化，加速流入其中的气流的流动，增加尾气处理的排气能力。
28.为实现上述目的，本实用新型提供一种排气装置，请参考图1至图3，图1为本实用新型一实施例提供的排气装置的整体结构示意图；图2为本实用新型一实施例提供的排气装置的局部剖视图；图3为本实用新型一实施例提供的排气装置的局部仰视图。如图1至图3所示，所述排气装置包括同轴连接的第一筒体1与第二筒体2，所述第一筒体1的一端设有第一进气口101，所述第一筒体1的另一端设有第一出气口102，所述第二筒体2的一端设有第二进气口201，所述第二筒体2的另一端设有第二出气口202，所述第一出气口102与所述第二进气口201相连通；所述第一筒体1的内径沿所述第一进气口101至所述第一出气口102逐渐减小，且所述第一筒体1内壁设有沿所述第一筒体1轴向延伸的第一螺旋凸起肋11或第一螺旋凹槽，以使进入所述第一筒体1的气流的一部分沿所述第一螺旋凸起肋11或所述第一螺旋凹槽流动。当尾气的气流由所述第一进气口101进入所述第一筒体1时，由于沿所述第一筒体1轴向延伸的第一螺旋凸起肋11或第一螺旋凹槽的存在，进入所述第一筒体1的气流的一部分沿所述第一螺旋凸起肋11或所述第一螺旋凹槽流动，从而形成气流螺旋，实现螺旋导流，加快气流流速；所述第一筒体1的内径沿所述第一进气口101至所述第一出气口102逐渐减小，根据流体力学，气流流往所述第一筒体1靠近所述第二筒体2的一端时流速因空间限制而变大，流速大则压强小，进一步利用气流前后压强差加快气流流速，实现增加尾气处理排气能力的技术效果。且所述排气装置拥有以下优点：无运动部件，工作时没有噪音；不易堵塞，无需维护；多种气体均可做驱动或被驱动气源；无电气干扰即时停止或启动，具
有很好的使用效果。
29.请继续参考图1至图3，优选的，所述排气装置还包括若干用于连接所述第一筒体1和所述第二筒体2的连接件12，所述连接件12的一端与所述第一筒体1的外壁相连，所述连接件12的另一端与所述第二筒体2的外壁相连。在所述第一出气口102与所述第二进气口201之间设有一缝隙13，可以使气体经所述缝隙13进入到所述排气装置内部，当尾气气流进入所述排气装置时，尾气气流会在所述第一出气口102与所述第二进气口201之间形成较大的气流流速，流速大则压强小，此时所述排气装置内部气压小于外部气压，会使外部气体由于压强差经所述缝隙13被压入所述排气装置中，实现进一步地气体增压，且当所述排气装置设置在一尾气处理系统内部时，可以以此吸取设备内部残存的废气，减少设备内部的废气以及气压。
30.请继续参考图1至图3，优选的，所述排气装置还包括一进气筒21，所述进气筒21与所述第一筒体1和/或所述第二筒体2的外壁相连且所述进气筒21与所述缝隙13相连通，以使外部气体经所述进气筒21再经所述缝隙13进入所述第一筒体1和所述第二筒体2的内部。所述进气筒21可实现进一步对所述排气装置外部气流的引流，使所述排气装置的外部气流顺利有效地被引导至所述排气装置的内部。应理解，可设有多个所述进气筒21沿所述缝隙13均匀设置，以实现均匀引流。
31.进一步的，请参考图1。如图1所示，所述排气装置还包括一与所述进气筒21相连的输气装置3，所述输气装置3用于向所述进气筒21内输入压缩空气。如此设置可以实现主动输入压缩气体进行加压。主动输入的气体在所述缝隙13处节流，由此产生的高速薄空气层吸附到所述排气装置内壁，从而产生转向进而通过所述排气装置，进一步增强所述排气装置的增加尾气处理排气能力的能力，应理解，所述输气装置3与所述进气筒21之间的输气管路上设有阀,31，使操作者可根据不同需要进行对应加压。需要说明的是，多种气体均可作为所述输气装置3的气源。
32.请继续参考图2和图3，如图2和图3所示，所述排气装置还包括一连接管23，所述连接管23的一端位于所述第一出气口102内，所述连接管23的另一端位于所述第二进气口201内，所述连接管23的表面设有多个贯穿所述连接管23的整个壁厚的通气孔24，以使经所述缝隙13进入的气体经所述通气孔24进入所述第一筒体1和所述第二筒体2的内部。所述连接管23由于朝所述排气装置轴线凸起，当尾气气流经过所述第一筒体1和所述第二筒体2内部的抵接处时，由于所述连接管23的空间限制，流速进一步增大，从而气压进一步下降，所述排气装置外的气体会因内外压强差经所述缝隙13再经所述通气孔24被压入所述排气装置中，进一步实现气体加压。
33.请继续参考图1，优选的，所述第二筒体2内壁设有沿所述第二筒体2轴向延伸设置的第二螺旋凸起肋22或第二螺旋凹槽，以使进入所述第二筒体2的气流的一部分沿所述第二螺旋凸起肋22或所述第二螺旋凹槽流动。如此设置使所述第二筒体2也具备了螺旋导流能力，进一步加强流入其中的尾气的气流流速。
34.请继续参考图1，优选的，所述第二筒体2的内径沿所述第二进气口201至所述第二出气口202逐渐增大。当尾气通过所述第一筒体1进入所述第二筒体2时，已实现加速排气，此时需要解除空间限制，使尾气尽快排出，设置所述第二筒体2靠近所述第一筒体1的一端的内径小于所述第二筒体2另一端的内径，可实现空间限制的解除，加快排气。
35.本实用新型还提供一种尾气处理系统，请参考图4，图4为本实用新型一实施例提供的尾气处理系统的主视图。如图4所示，所述尾气处理系统包括依次连通的燃烧处理装置3、水洗冷却装置4、吸附过滤装置5和上述任一所述的排气装置，所述排气装置通过所述第一筒体1内径较大的一端与所述吸附过滤装置5连通。当尾气产生时，所述尾气会先进入所述燃烧处理装置3，将尾气中的可燃物充分燃烧，再进入所述水洗冷却装置4，将所述尾气中的杂质通过冷却与溶解于水的方式去除，再经过吸附过滤装置5，将所述尾气中不溶于水但能被吸附过滤的杂质除去，最终进入所述排气装置排放，由于所述尾气处理系统包括所述排气装置，因此所述尾气处理系统可实现增加尾气处理排气能力的技术效果。
36.需要说明的是，本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的系统而言，由于与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。
37.还需要说明的是，虽然本实用新型已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本实用新型。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本实用新型技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围。
38.还应当理解的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。
39.此外还应该认识到，此处描述的术语仅仅用来描述特定实施例，而不是用来限制本实用新型的范围。必须注意的是，此处的以及所附权利要求中使用的单数形式“一个”和“一种”包括复数基准，除非上下文明确表示相反意思。例如，对“一个步骤”或“一个装置”的引述意味着对一个或多个步骤或装置的引述，并且可能包括次级步骤以及次级装置。应该以最广义的含义来理解使用的所有连词。以及，词语“或”应该被理解为具有逻辑“或”的定义，而不是逻辑“异或”的定义，除非上下文明确表示相反意思。此外，本实用新型实施例的实现可包括手动、自动或组合地执行所选任务。