一种球形旋转等离子体源装置的制作方法

1.本实用新型属于等离子体发生装置技术领域，具体涉及一种球形旋转等离子体源装置。


背景技术：

2.目前，在相关技术中,等离子体已广泛应用于各种领域，如在半导体集成电路制造方面，不同材料薄膜的生长及电路的蚀刻皆普遍由等离子体技术完成。在科学研究方面等离子体更已成为重要的工具，如纳米钛管的生长、微机电的研发等等。等离子体通过发生装置利用电流驱动反场效应来产生，同时，通过探针组件对等离子体密度进行检测。但在这个过程中，发生装置将会产生振动，从而影响探针组件的检测结果，因此设计一款能够降低发生装置发生振动的装置是十分必要的了。


技术实现要素：

3.为了解决上述现有技术中存在的发生装置将会产生振动，从而影响探针组件的检测结果等问题，本实用新型提供一种球形旋转等离子体源装置，将减震垫设置为弹性体，并使减震垫与球形腔体的底部相贴合，与实现通过减震垫吸收球形腔体的振动，从而实现对球形腔体减震的技术效果，进而避免因球形腔体发生振动而降低检测准确性的情况发生，以提升探针组件检测准确性的效果。其具体技术方案为：
4.一种球形旋转等离子体源装置，球形旋转等离子体源装置包括：台架、分子泵、抽气机、抽气管道、连通管道、球形腔体、探针组件、支撑架、磁场线圈、支撑座、支撑杆和减震垫；分子泵固定在台架的底部；抽气机的输入端与分子泵的输出端相连通；两个抽气管道的一端同时与抽气机的输出端相连通，且抽气管道的另一端穿过台架的顶部；两个连通管道的一端分别与两个抽气管道的另一端相连通，且连通管道与抽气管道相垂直；球形腔体的前端设置有接口，球形腔体的两端分别与两个连通管道的另一端相连通；探针组件固定在球形腔体上，探针组件穿过接口，且探针组件嵌入球形腔体内；支撑架固定在台架上，且支撑架位于球形腔体的下方；两个磁场线圈固定在支撑架上，且两个磁场线圈分别绕设在两个连通管道的外侧；支撑座固定在支撑架上；支撑杆的一端与支撑座相连接；减震垫为弹性体，减震垫与支撑杆的另一端相连接，且减震垫与球形腔体的底部相贴合。
5.另外，本实用新型提供的上述技术方案中的球形旋转等离子体源装置还可以具有如下附加技术特征：
6.在上述技术方案中，球形旋转等离子体源装置还包括：固定架和固定卡箍；固定架呈l形，固定架与台架的底部相连接，且固定架的一边位于抽气管道的下方；固定卡箍固定在固定架上，且固定卡箍绕设在抽气管道的外侧。
7.在上述技术方案中，球形旋转等离子体源装置还包括：夹板、螺纹杆、第一固定螺母和第二固定螺母；夹板的一端设置有凹槽，两个夹板位于抽气管道的外侧，且抽气管道同时嵌入两个夹板的凹槽内；螺纹杆的外壁上设置有第一外螺纹，至少四个螺纹杆依次穿过
台架和夹板；第一固定螺母内设置有第一内螺纹，两个第一固定螺母套设在螺纹杆的外侧，且两个第一固定螺母分别与台架的顶壁的两侧相贴合；第二固定螺母内设置有第一内螺纹，两个第二固定螺母套设在螺纹杆的外侧，且两个第二固定螺母分别与夹板的两侧相贴合；其中，第一外螺纹与第一内螺纹相适配。
8.在上述技术方案中，球形旋转等离子体源装置还包括：让位孔；让位孔设置在台架的顶部，且让位孔绕设在抽气管道的外侧。
9.在上述技术方案中，球形旋转等离子体源装置还包括：固定板和固定杆；固定板与台架的底部相连接；至少四个固定杆的一端与固定板相连接，且至少四个固定杆的另一端与分子泵相连接。
10.在上述技术方案中，球形旋转等离子体源装置还包括：地脚座和调节杆；地脚座的顶部设置有螺纹孔，螺纹孔内设置有第二内螺纹，四个地脚座位于台架的下方；调节杆的外壁设置有第二外螺纹，调节杆的一端与台架的底部相连接，且调节杆的另一端嵌入地脚座的螺纹孔内；其中，第二内螺纹与第二外螺纹相适配。
11.在上述技术方案中，球形腔体为石英体；连通管道为石英体。
12.本实用新型的一种球形旋转等离子体源装置，与现有技术相比，有益效果为：
13.1.通过将分子泵固定在台架的底部，以提升分子泵的稳定性，同时，利用分子泵的高速旋转的转子把动量传输给分子泵内的气体分子；通过将抽气机的输入端与分子泵的输出端相连通，以实现将分子泵的气体抽出；通过将两个抽气管道的一端同时与抽气机的输出端相连通，将两个连通管道的一端分别与两个抽气管道的另一端相连通，并将球形腔体的两端分别与两个连通管道的另一端相连通，以实现抽气机将分子泵内的气体抽入至球形腔体内；通过将支撑架固定在台架上，将两个磁场线圈固定在支撑架上，并使两个磁场线圈分别绕设在两个连通管道的外侧，以实现支撑架对两个磁场线圈进行支撑，并使磁场线圈通电后产生磁场，利用电流驱动反场效应使球体腔体内产生高密度等离子体；通过将探针组件固定在球形腔体上，使探针组件穿过球体腔体的接口，并使探针组件嵌入球形腔体内，以实现探针组件对球形腔体内的等离子体密度进行检测；通过将支撑座固定在支撑架上，将支撑杆的一端与支撑座相连接，将支撑杆的另一端与减震垫相连接，并使减震垫与球形腔体的底部相贴合，由于减震垫为弹性体，因此可实现通过减震垫吸收球形腔体的振动，从而实现对球形腔体减震的技术效果。采用上述结构，通过将减震垫设置为弹性体，并使减震垫与球形腔体的底部相贴合，与实现通过减震垫吸收球形腔体的振动，从而实现对球形腔体减震的技术效果，进而避免因球形腔体发生振动而降低检测准确性的情况发生，以提升探针组件检测的准确性。
14.2.通过将呈l形的固定架与台架的底部相连接，并使固定架的一边位于抽气管道的下方，以实现固定架对抽气管道进行支撑；通过将固定卡箍固定在固定架上，并使固定卡箍绕设在抽气管道的外侧，以实现将抽气管道固定在固定架上，从而提升抽气管道的稳定性。
15.3.通过将夹板的一端设置有凹槽，并使抽气管道同时嵌入两个夹板的凹槽内，以实现两个夹板将抽气管道夹紧；通过将至少四个螺纹杆依次穿过台架和夹板，将两个第一固定螺母套设在螺纹杆的外侧，并将两个第一固定螺母分别与台架顶壁的两侧相贴合，以实现将螺纹杆固定在台架上；通过将两个第二固定螺母套设在螺纹杆的外侧，并使两个第
二固定螺母分别与夹板的两侧相贴合，以实现将夹板固定在螺纹杆上，以提升夹板的稳定性。
16.4.通过将让位孔设置在台架的顶部，并使让位孔绕设在抽气管道的外侧，以放置抽气管道与台架发生干涉，从而避免抽气管道发生损坏。
17.5.通过将固定板与台架的底部相连接，将至少四个固定杆的一端与固定板相连接，并将至少四个固定杆的另一端与分子泵相连接，以实现对分子泵进行支撑，从而提升分子泵的稳定性。
18.6.通过将调节杆的一端与台架的底部相连接，将调节杆的另一端嵌入地脚座的螺纹孔内，以实现转动地脚座，调节调节杆嵌入地脚座的螺纹孔内的长度，从而调节台架与地面的距离，进而实现对台架进行调平。
19.7.通过将球形腔体设置为石英体，将连通管道设置为石英体，以实现球形腔体和连通管道具有绝缘功能。
附图说明
20.图1为本实用新型的实施例1和实施例2的一种球形旋转等离子体源装置的立体图；
21.图2为图1的a处局部放大图；
22.图3为本实用新型的实施例1和实施例2的一种球形旋转等离子体源装置的立体图；
23.图4为图3的b处局部放大图；
24.图5为图3的c处局部放大图；
25.其中，图1至图5中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：
26.10台架，11分子泵，12抽气机，13抽气管道，14连通管道，15球形腔体，16探针组件，17支撑架，18磁场线圈，19支撑座，20支撑杆，21减震垫，22固定架，23固定卡箍，24夹板，25螺纹杆，26第一固定螺母，27第二固定螺母，28让位孔，29固定板，30固定杆，31地脚座，32调节杆。
具体实施方式
27.下面结合具体实施案例和附图1-5对本实用新型作进一步说明，但本实用新型并不局限于这些实施例。
28.一种球形旋转等离子体源装置，如图1-5所示，球形旋转等离子体源装置包括：台架10、分子泵11、抽气机12、抽气管道13、连通管道14、球形腔体15、探针组件16、支撑架17、磁场线圈18、支撑座19、支撑杆20和减震垫21；分子泵11固定在台架10的底部；抽气机12的输入端与分子泵11的输出端相连通；两个抽气管道13的一端同时与抽气机12的输出端相连通，且抽气管道13的另一端穿过台架10的顶部；两个连通管道14的一端分别与两个抽气管道13的另一端相连通，且连通管道14与抽气管道13相垂直；球形腔体15的前端设置有接口，球形腔体15的两端分别与两个连通管道14的另一端相连通；探针组件16固定在球形腔体15上，探针组件16穿过接口，且探针组件16嵌入球形腔体15内；支撑架17固定在台架10上，且支撑架17位于球形腔体15的下方；两个磁场线圈18固定在支撑架17上，且两个磁场线圈18
分别绕设在两个连通管道14的外侧；支撑座19固定在支撑架17上；支撑杆20的一端与支撑座19相连接；减震垫21为弹性体，减震垫21与支撑杆20的另一端相连接，且减震垫21与球形腔体15的底部相贴合。
29.通过将分子泵11固定在台架10的底部，以提升分子泵11的稳定性，同时，利用分子泵11的高速旋转的转子把动量传输给分子泵11内的气体分子；通过将抽气机12的输入端与分子泵11的输出端相连通，以实现将分子泵11的气体抽出；通过将两个抽气管道13的一端同时与抽气机12的输出端相连通，将两个连通管道14的一端分别与两个抽气管道13的另一端相连通，并将球形腔体15的两端分别与两个连通管道14的另一端相连通，以实现抽气机12将分子泵11内的气体抽入至球形腔体15内；通过将支撑架17固定在台架10上，将两个磁场线圈18固定在支撑架17上，并使两个磁场线圈18分别绕设在两个连通管道14的外侧，以实现支撑架17对两个磁场线圈18进行支撑，并使磁场线圈18通电后产生磁场，利用电流驱动反场效应使球体腔体内产生高密度等离子体；通过将探针组件16固定在球形腔体15上，使探针组件16穿过球体腔体的接口，并使探针组件16嵌入球形腔体15内，以实现探针组件16对球形腔体15内的等离子体密度进行检测；通过将支撑座19固定在支撑架17上，将支撑杆20的一端与支撑座19相连接，将支撑杆20的另一端与减震垫21相连接，并使减震垫21与球形腔体15的底部相贴合，由于减震垫21为弹性体，因此可实现通过减震垫21吸收球形腔体15的振动，从而实现对球形腔体15减震的技术效果。采用上述结构，通过将减震垫21设置为弹性体，并使减震垫21与球形腔体15的底部相贴合，与实现通过减震垫21吸收球形腔体15的振动，从而实现对球形腔体15减震的技术效果，进而避免因球形腔体15发生振动而降低检测准确性的情况发生，以提升探针组件16检测的准确性。
30.在本实用新型的实施例中，如图1-5所示，球形旋转等离子体源装置还包括：固定架22和固定卡箍23；固定架22呈l形，固定架22与台架10的底部相连接，且固定架22的一边位于抽气管道13的下方；固定卡箍23固定在固定架22上，且固定卡箍23绕设在抽气管道13的外侧。
31.通过将呈l形的固定架22与台架10的底部相连接，并使固定架22的一边位于抽气管道13的下方，以实现固定架22对抽气管道13进行支撑；通过将固定卡箍23固定在固定架22上，并使固定卡箍23绕设在抽气管道13的外侧，以实现将抽气管道13固定在固定架22上，从而提升抽气管道13的稳定性。
32.在本实用新型的实施例中，如图1-5所示，球形旋转等离子体源装置还包括：夹板24、螺纹杆25、第一固定螺母26和第二固定螺母27；夹板24的一端设置有凹槽，两个夹板24位于抽气管道13的外侧，且抽气管道13同时嵌入两个夹板24的凹槽内；螺纹杆25的外壁上设置有第一外螺纹，至少四个螺纹杆25依次穿过台架10和夹板24；第一固定螺母26内设置有第一内螺纹，两个第一固定螺母26套设在螺纹杆25的外侧，且两个第一固定螺母26分别与台架10的顶壁的两侧相贴合；第二固定螺母27内设置有第一内螺纹，两个第二固定螺母27套设在螺纹杆25的外侧，且两个第二固定螺母27分别与夹板24的两侧相贴合；其中，第一外螺纹与第一内螺纹相适配。
33.通过将夹板24的一端设置有凹槽，并使抽气管道13同时嵌入两个件的凹槽内，以实现两个夹板24将抽气管道13夹紧；通过将至少四个螺纹杆25依次穿过台架10和夹板24，将两个第一固定螺母26套设在螺纹杆25的外侧，并将两个第一固定螺母26分别与台架10顶
壁的两侧相贴合，以实现将螺纹杆25固定在台架10上；通过将两个第二固定螺母27套设在螺纹杆25的外侧，并使两个第二固定螺母27分别与夹板24的两侧相贴合，以实现将夹板24固定在螺纹杆25上，以提升夹板24的稳定性。
34.在本实用新型的实施例中，如图1-5所示，球形旋转等离子体源装置还包括：让位孔28；让位孔28设置在台架10的顶部，且让位孔28绕设在抽气管道13的外侧。
35.通过将让位孔28设置在台架10的顶部，并使让位孔28绕设在抽气管道13的外侧，以放置抽气管道13与台架10发生干涉，从而避免抽气管道13发生损坏。
36.在本实用新型的实施例中，如图1-5所示，球形旋转等离子体源装置还包括：固定板29和固定杆30；固定板29与台架10的底部相连接；至少四个固定杆30的一端与固定板29相连接，且至少四个固定杆30的另一端与分子泵11相连接。
37.通过将固定板29与台架10的底部相连接，将至少四个固定杆30的一端与固定板29相连接，并将至少四个固定杆30的另一端与分子泵11相连接，以实现对分子泵11进行支撑，从而提升分子泵11的稳定性。
38.在本实用新型的实施例中，如图1-5所示，球形旋转等离子体源装置还包括：地脚座31和调节杆32；地脚座31的顶部设置有螺纹孔，螺纹孔内设置有第二内螺纹，四个地脚座31位于台架10的下方；调节杆32的外壁设置有第二外螺纹，调节杆32的一端与台架10的底部相连接，且调节杆32的另一端嵌入地脚座31的螺纹孔内；其中，第二内螺纹与第二外螺纹相适配。
39.通过将调节杆32的一端与台架10的底部相连接，将调节杆32的另一端嵌入地脚座31的螺纹孔内，以实现转动地脚座31，调节调节杆32嵌入地脚座31的螺纹孔内的长度，从而调节台架10与地面的距离，进而实现对台架10进行调平。
40.在本实用新型的实施例中，球形腔体15为石英体；连通管道14为石英体。
41.通过将球形腔体15设置为石英体，将连通管道14设置为石英体，以实现球形腔体15和连通管道14具有绝缘功能。