一种球形旋转等离子体源装置的制作方法

技术特征：
1.一种球形旋转等离子体源装置，其特征在于，所述球形旋转等离子体源装置包括：台架；分子泵，所述分子泵固定在所述台架的底部；抽气机，所述抽气机的输入端与所述分子泵的输出端相连通；抽气管道，两个所述抽气管道的一端同时与所述抽气机的输出端相连通，且所述抽气管道的另一端穿过所述台架的顶部；连通管道，两个所述连通管道的一端分别与两个所述抽气管道的另一端相连通，且所述连通管道与所述抽气管道相垂直；球形腔体，所述球形腔体的前端设置有接口，所述球形腔体的两端分别与两个所述连通管道的另一端相连通；探针组件，所述探针组件固定在所述球形腔体上，所述探针组件穿过所述接口，且所述探针组件嵌入所述球形腔体内；支撑架，所述支撑架固定在所述台架上，且所述支撑架位于所述球形腔体的下方；磁场线圈，两个所述磁场线圈固定在所述支撑架上，且两个所述磁场线圈分别绕设在两个所述连通管道的外侧；支撑座，所述支撑座固定在所述支撑架上；支撑杆，所述支撑杆的一端与所述支撑座相连接；减震垫，所述减震垫为弹性体，所述减震垫与所述支撑杆的另一端相连接，且所述减震垫与所述球形腔体的底部相贴合。2.根据权利要求1所述的一种球形旋转等离子体源装置，其特征在于，所述球形旋转等离子体源装置还包括：固定架，所述固定架呈l形，所述固定架与所述台架的底部相连接，且所述固定架的一边位于所述抽气管道的下方；固定卡箍，所述固定卡箍固定在所述固定架上，且所述固定卡箍绕设在所述抽气管道的外侧。3.根据权利要求2所述的一种球形旋转等离子体源装置，其特征在于，所述球形旋转等离子体源装置还包括：夹板，所述夹板的一端设置有凹槽，两个所述夹板位于所述抽气管道的外侧，且所述抽气管道同时嵌入两个所述夹板的凹槽内；螺纹杆，所述螺纹杆的外壁上设置有第一外螺纹，至少四个所述螺纹杆依次穿过所述台架和所述夹板；第一固定螺母，所述第一固定螺母内设置有第一内螺纹，两个所述第一固定螺母套设在所述螺纹杆的外侧，且两个所述第一固定螺母分别与所述台架的顶壁的两侧相贴合；第二固定螺母，所述第二固定螺母内设置有第一内螺纹，两个所述第二固定螺母套设在所述螺纹杆的外侧，且两个所述第二固定螺母分别与所述夹板的两侧相贴合；其中，所述第一外螺纹与所述第一内螺纹相适配。4.根据权利要求3所述的一种球形旋转等离子体源装置，其特征在于，所述球形旋转等离子体源装置还包括：让位孔，所述让位孔设置在所述台架的顶部，且所述让位孔绕设在所述抽气管道的外
侧。5.根据权利要求1所述的一种球形旋转等离子体源装置，其特征在于，所述球形旋转等离子体源装置还包括：固定板，所述固定板与所述台架的底部相连接；固定杆，至少四个所述固定杆的一端与所述固定板相连接，且至少四个所述固定杆的另一端与所述分子泵相连接。6.根据权利要求5所述的一种球形旋转等离子体源装置，其特征在于，所述球形旋转等离子体源装置还包括：地脚座，所述地脚座的顶部设置有螺纹孔，所述螺纹孔内设置有第二内螺纹，四个所述地脚座位于所述台架的下方；调节杆，所述调节杆的外壁设置有第二外螺纹，所述调节杆的一端与所述台架的底部相连接，且所述调节杆的另一端嵌入所述地脚座的螺纹孔内；其中，所述第二内螺纹与所述第二外螺纹相适配。7.根据权利要求6所述的一种球形旋转等离子体源装置，其特征在于：所述球形腔体为石英体；所述连通管道为石英体。

技术总结
本实用新型提供了一种球形旋转等离子体源装置，属于等离子体发生装置技术领域；球形旋转等离子体源装置包括：台架、分子泵、抽气机、抽气管道、连通管道、球形腔体、探针组件、支撑架、磁场线圈、支撑座、支撑杆和减震垫；采用上述结构，通过将减震垫设置为弹性体，并使减震垫与球形腔体的底部相贴合，与实现通过减震垫吸收球形腔体的振动，从而实现对球形腔体减震的技术效果，进而避免因球形腔体发生振动而降低检测准确性的情况发生，以提升探针组件检测的准确性。测的准确性。测的准确性。


技术研发人员：慈连鳌
受保护的技术使用者：沈阳腾鳌真空技术有限公司
技术研发日：2022.03.16
技术公布日：2022/11/10