一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装置的制作方法

1.本实用新型涉及微电子材料技术领域，具体为一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装置。


背景技术：

2.微电子材料主要是大直径(400mm)硅单晶及片材技术，大直径(200mm)硅片外延技术，150mmgaas和100mmi np晶片及其以它们为基的ⅲ一v族半导体超晶格、量子阱异质结构材料制备技术，gesi合金和宽禁带半导体材料等。
3.在微电子材料生产中，目前市场上的夹取装置多为单一夹片，每次只能夹取单一微电子材料，导致生产效率低，且多数夹取装置只能提供建议的夹取升降操作，并不能实现水平位移，使用不便。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对上述背景技术中现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装置，以解决上述背景技术中提出的目前市场上的一些夹取装置，存在多为单一夹片，每次只能夹取单一微电子材料，导致生产效率低，且多数夹取装置只能提供建议的夹取升降操作，并不能实现水平位移，使用不便的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：
8.一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装置，包括顶板、移动装置、升降装置以及夹取装置，移动装置安装在顶板内部，升降装置安装在移动装置下方，夹取装置安装在升降装置底部；
9.顶板内部水平开设有t形槽，t形槽底部贯穿顶板底壁；
10.移动装置包括第一固定装置、第一驱动电机、第一螺纹杆以及与t形槽相适配的t形块，第一固定装置安装在顶板一端，第一固定装置内部安装有第一驱动电机，第一驱动电机输出端通过联轴器固定有第一螺纹杆，t形块上开设有与第一螺纹杆相适配的第一螺纹孔,第一螺纹杆远离第一驱动电机的一端贯穿第一螺纹孔并与t形槽的侧壁通过轴承转动连接；
11.升降装置包括液压缸、液压伸缩杆，t形块底部固定有连接板，连接板底部固定有液压缸，液压缸底部输出端安装有液压伸缩杆；
12.夹取装置包括底板、第二固定装置、第二驱动电机、第二螺纹杆以及多个夹片，底板底部开设有安装槽，底板侧壁安装有第二固定装置，第二驱动电机安装在第二固定装置内部，第二驱动电机输出端通过联轴器固定有第二螺纹杆，第二螺纹杆远离第二驱动电机的一端贯穿安装槽并与安装槽的侧壁通过轴承转动连接；
13.第二螺纹杆上交错开设有多个第一外螺纹以及多个第二外螺纹，多个第一外螺纹
均与多个第二外螺纹方向相反，多个夹片包括多个第一夹片以及多个第二夹片，多个第一夹片侧壁顶部均开设有与第一外螺纹相适配的第一螺纹孔，多个第二夹片侧壁顶部均开设有与第二外螺纹相适配的第二螺纹孔，多个第一夹片与第二外螺纹交错螺纹连接在第二螺纹杆上。
14.优选的，第一固定装置包括壳体以及延伸板，延伸板设有两个，且两个延伸板对称焊接在壳体一端的两侧，两个延伸板上均开设有多个第一固定螺纹孔，壳体一侧壁开设有电机固定槽，壳体对称两侧壁均开设有多个散热槽。
15.优选的，第二固定装置与第一固定装置结构相同，且多个散热槽均与电机固定槽相连通。
16.优选的，安装槽内部固定有两个均与第二螺纹杆相平行的导向杆，两个导向杆的两端分别与安装槽的两侧壁相固定，多个夹片上均开设有与导向杆相适配的导向孔，夹片与导向杆滑动连接。
17.进一步的，夹片侧壁均粘接有橡胶垫。
18.进一步的，多个夹片均安装在安装槽内部。
19.进一步的，顶板顶部开设有多个第二固定螺纹孔。
20.(三)有益效果
21.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该用于微电子材料生产的便捷式夹取装置：
22.(1)通过在底板底部安装槽内设置多个夹片，在夹片上开设与第二螺纹杆相适配的螺纹孔，使用时可通过安装在底板侧壁的第二驱动电机转动第二螺纹杆，带动夹片的移动，由于第二螺纹杆上的外螺纹交错相反设置，使得螺纹杆转动时第一夹片和第二夹片可进行夹取或松开操作，通过在升降装置顶部增设顶板，在顶板内部设置移动装置，可实现升降装置和夹取装置的水平移动操作，方便使用。
23.(2)通过在夹片的侧壁粘接橡胶垫，避免由于夹取力度过大导致夹片损伤微电子材料；通过在顶板顶部开设多个第二固定螺纹孔，方便顶板的拆装；通过在第一驱动电机和第二驱动电机外侧分别设置第一固定装置以及第二固定装置，对驱动电机起到固定装置的同时，延伸板上的第一固定螺纹孔方便固定装置的拆装。
附图说明
24.图1为本实用新型用于微电子材料生产的便捷式夹取装置的主体结构示意图；
25.图2为本实用新型用于微电子材料生产的便捷式夹取装置的局部剖视结构示意图；
26.图3为本实用新型用于微电子材料生产的便捷式夹取装置的主视剖面结构示意图；
27.图4为本实用新型用于微电子材料生产的便捷式夹取装置的夹取装置结构示意图；
28.图5为本实用新型用于微电子材料生产的便捷式夹取装置的第一固定装置结构示意图。
29.图中：顶板1，t形槽2，t形块3，第一螺纹孔4，第一螺纹杆5，第一固定装置6，第一驱
动电机7，连接板8，液压缸9，液压伸缩杆10，底板11，第二固定装置12，第二驱动电机13，安装槽14，多个夹片15，第一夹片1501，第二夹片1502，第二螺纹杆16，第一外螺纹17，第二外螺纹18，导向杆19，橡胶垫20，延伸板21，第一固定螺纹孔22，电机固定槽23，散热槽24，第二固定螺纹孔25，壳体26。
具体实施方式
30.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.请参阅图1-5所示，本实用新型提供一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装置；包括顶板1、移动装置、升降装置以及夹取装置，移动装置安装在顶板1内部，升降装置安装在移动装置下方，夹取装置安装在升降装置底部；
32.顶板1内部水平开设有t形槽2，t形槽2底部贯穿顶板1底壁；
33.移动装置包括第一固定装置6、第一驱动电机7、第一螺纹杆5以及与t形槽2相适配的t形块3，第一固定装置6安装在顶板1一端，第一固定装置6内部安装有第一驱动电机7，第一驱动电机7输出端通过联轴器固定有第一螺纹杆5，t形块3上开设有与第一螺纹杆5相适配的第一螺纹孔4,第一螺纹杆5远离第一驱动电机7的一端贯穿第一螺纹孔4并与t形槽2的侧壁通过轴承转动连接；
34.升降装置包括液压缸9、液压伸缩杆10，t形块3底部固定有连接板8，连接板8底部固定有液压缸9，液压缸9底部输出端安装有液压伸缩杆10；
35.夹取装置包括底板11、第二固定装置12、第二驱动电机13、第二螺纹杆16以及多个夹片15，底板11底部开设有安装槽14，底板11侧壁安装有第二固定装置12，第二驱动电机13安装在第二固定装置12内部，第二驱动电机13输出端通过联轴器固定有第二螺纹杆16，第二螺纹杆16远离第二驱动电机13的一端贯穿安装槽14并与安装槽14的侧壁通过轴承转动连接；
36.第二螺纹杆16上交错开设有多个第一外螺纹17以及多个第二外螺纹18，多个第一外螺纹17均与多个第二外螺纹18螺纹方向相反，多个夹片15包括多个第一夹片1501以及多个第二夹片1502，多个第一夹片1501侧壁顶部均开设有与第一外螺纹17相适配的第一螺纹孔，多个第二夹片1502侧壁顶部均开设有与第二外螺纹18相适配的第二螺纹孔，多个第一夹片1501与第二外螺纹18交错螺纹连接在第二螺纹杆16上；
37.作为本实用新型的一种优选技术方案：第一固定装置6包括壳体26以及延伸板21，延伸板21设有两个，且两个延伸板21对称焊接在壳体26一端的两侧，两个延伸板21上均开设有多个第一固定螺纹孔22，壳体26一侧壁开设有电机固定槽23，壳体26对称两侧壁均开设有多个散热槽24；
38.作为本实用新型的一种优选技术方案：第二固定装置12与第一固定装置6结构相同，且多个散热槽24均与电机固定槽23相连通；
39.作为本实用新型的一种优选技术方案：安装槽14内部固定有两个均与第二螺纹杆16相平行的导向杆19，两个导向杆19的两端分别与安装槽14的两侧壁相固定，多个夹片15
上均开设有与导向杆19相适配的导向孔，夹片15与导向杆19滑动连接；
40.作为本实用新型的一种优选技术方案：夹片15侧壁均粘接有橡胶垫20；
41.作为本实用新型的一种优选技术方案：多个夹片15均安装在安装槽14内部；
42.作为本实用新型的一种优选技术方案：顶板1顶部开设有多个第二固定螺纹孔25。
43.本实施例的工作原理：在使用该用于微电子材料生产的便捷式夹取装置时，如图1和图2-5所示，该装置整体由顶板1、移动装置、升降装置以及夹取装置组成，使用时，通过液压缸9带动液压伸缩杆10伸缩，将夹取装置的底板11升降到合适的位置，然后通过第二驱动电机13转动，第二驱动电机13带动第二螺纹杆16转动，由于第二螺纹杆16上开设有螺纹方向相反的第一外螺纹17和第二外螺纹18，配合与其相适配的第一夹片1501和第二夹片1502，使第一夹片1501和第二夹片1502同时相向运动，以此达到夹取微电子材料的目的，夹取后通过第一驱动电机7转动以此带动第一螺纹杆5转动，配合t形块3上开设的与第一螺纹杆5相适配的第一螺纹孔4，达到t形块3在t形槽2内水平移动的目的；
44.以上便是整个装置的工作过程，且本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
45.尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，需要说明的是，在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；也可以通过中间媒介间接相连。
46.该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220v市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
47.在本实用新型的描述中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。在本文中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
48.对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义；对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。