用于衬底容器的歧管的制作方法

技术特征：
1.一种衬底容器，其包括：壳体，其界定内部空间，所述壳体包含前开口、第一侧壁、第二侧壁、后壁、底壁及沿所述壳体的所述前开口延伸于相对壁之间的前边缘；及歧管，其附接到所述底壁、顶壁、所述第一侧壁及/或所述第二侧壁，更靠近所述壳体的所述前开口而非所述后壁，所述歧管包含：进口，其经配置以接收净化气体的流；及气体分配部分，其包含经配置以将净化气体的所述流分配到所述内部空间中的气体分配表面，所述气体分配部分包含沿所述壳体的前边缘沿一个方向延伸于相对壁之间的所述气体分配表面。2.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述歧管的所述进口附接到所述壳体的所述底壁中的进口端口。3.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述气体分配部分具有沿所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的距离的大部分延伸的长度。4.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述气体分配表面经配置以沿朝向所述壳体的所述前开口的方向分配所述净化气体的至少部分。5.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述气体分配表面包括多孔材料。6.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述气体分配表面包含在所述第一侧壁与所述第二侧壁之间沿所述气体分配表面的长度布置的多个开口。7.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述歧管包含经配置以促进所述净化气体从所述衬底容器的所述内部空间排放的出口。8.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述底壁、所述顶壁、所述第一侧壁或所述第二侧壁中的每一者具有面向所述内部空间的内表面，且所述歧管经配置以按相对于其附接的相应底壁、顶壁、第一侧壁或第二侧壁的所述内表面的角度从所述气体分配表面分配所述净化气体。9.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述歧管至少包含具有沿所述第一侧壁的所述前边缘延伸的气体分配表面的第一气体分配部分及具有沿所述壳体的所述第二侧壁的前边缘中的一者延伸的气体分配表面的第二气体分配部分，其中所述壳体的所述第一侧壁与所述第二侧壁相对。10.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述歧管包含支撑包含所述气体分配表面的所述气体分配部分的框架。11.根据权利要求1所述的衬底容器，其进一步包括：出口端口，其用于从所述内部空间放出气体，其中所述气体分配部分延伸于所述进口与所述出口端口之间。12.根据权利要求11所述的衬底容器，其中所述歧管包含附接到所述出口端口的额外进口。13.根据权利要求12所述的衬底容器，其中包含所述气体分配表面的所述气体分配部分经配置以允许净化气体在所述容器的所述内部空间中的正压下通过所述气体分配表面扩散且经由所述出口端口从所述容器排放。14.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述歧管进一步包括连接到用于从所述内部
空间放出气体的出口端口的气体扩散部分。15.根据权利要求1所述的衬底容器，其进一步包括附接到所述容器的所述顶壁的额外歧管。16.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述壳体包含与所述前开口相对的后壁，且所述底壁包含用于将净化气体的额外流引入到所述内部空间中的后进口端口，所述后进口端口安置成靠近所述后壁而非所述前开口。17.根据权利要求1所述的衬底容器，其进一步包括：门，其经配置以接收于由所述壳体界定的所述前开口内以封闭所述内部空间。18.一种衬底容器，其包括：壳体，其界定内部空间，所述壳体包含前开口、第一侧壁、第二侧壁、后壁、顶壁、底壁且包含沿所述壳体的所述前开口延伸于相对壁之间的前边缘及所述壳体的所述底壁及/或所述顶壁中的端口；及歧管，其在所述前开口附近附接到所述壳体，所述歧管包含：气体扩散部分，其包含经配置以允许净化气体的流从所述内部空间扩散到所述歧管中的气体扩散表面，所述气体扩散部分包含沿一个方向延伸于所述壳体的所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的所述气体扩散表面；及出口，其联接到所述壳体中的至少一个端口，所述出口经配置以经由所述壳体中的所述至少一个端口将所述净化气体从所述歧管排放到所述衬底容器的外部。19.根据权利要求18所述的衬底容器，其中所述歧管附接到所述壳体的所述底壁或所述顶壁中的所述端口。20.一种在具有打开的前开口时净化衬底容器的方法，其包括：经由安置于所述衬底容器的壁中的前进口端口将净化气体的第一流供应到安置于所述衬底容器内的歧管的进口，所述歧管安置成更靠近所述前开口而非所述衬底容器的后壁；经由所述歧管将所述第一流的所述净化气体分配于所述衬底容器的内部空间内；及经由所述衬底容器的壁中的第二进口端口将净化气体的第二流供应到所述衬底容器的所述内部空间，所述第二进口端口安置成更靠近所述衬底容器的所述后壁而非所述衬底容器的所述前开口。

技术总结
本发明揭示一种衬底容器，其包含界定内部空间的壳体及具有进口及气体分配表面的歧管。所述壳体包含前开口、底壁及后壁。所述歧管附接到所述底壁且更靠近所述前开口而非所述后壁。所述气体分配表面经配置以将净化气体分配到所述内部空间中。一种净化开口衬底容器的方法包含将净化气体的第一流供应到歧管及将净化气体的第二流供应到所述衬底容器的内部空间。所述方法还包含所述歧管将所述第一流的所述净化气体分配于所述衬底容器的所述内部空间内。间内。间内。


技术研发人员：M
受保护的技术使用者：恩特格里斯公司
技术研发日：2021.03.04
技术公布日：2022/10/25