一种用于玻璃晶圆的化学机械抛光液及其制备方法和应用与流程

技术特征：
1.一种用于玻璃晶圆的化学机械抛光液，其特征在于，所述抛光液由磨料1-20％、润湿分散剂0.001-0.1％、助洗剂0.1-1％、螯合剂0.01-1％和润滑保湿剂1-5％组成，余量为水；所述磨料为金属氧化物；所述磨料粒度为10-60nm；所述润湿分散剂为水溶性炔二醇乙氧基化物；所述助洗剂为有机酸胺酯类化合物；所述螯合剂包括有机酸及其盐、氨基酸及其盐、有机膦类化合物中的任意一种或多种；所述润滑保湿剂包括多元醇及多元醇的组合物或糖类物质。2.根据权利要求1所述的用于玻璃晶圆的化学机械抛光液，其特征在于，所述抛光液由磨料5-10％、润湿分散剂0.005-0.05％、助洗剂0.2-0.5％、螯合剂0.1-0.5％和润滑保湿剂2-4％组成；所述磨料粒度为20-40nm。3.根据权利要求1所述的用于玻璃晶圆的化学机械抛光液，其特征在于，所述金属氧化物包括氧化硅，氧化铝，氧化铈和氧化锆中的任意一种；优选地，所述水溶性炔二醇乙氧基化物包括2,4,7,9-四甲基-5-癸炔-4,7-二醇乙氧基化物、2,5,8,11四甲基-6十二碳炔-5-8二醇乙氧基化物和丁炔二醇乙氧基化物中的任意一种；优选地，所述有机酸胺酯类化合物包括甲基醇胺酯化合物、氨基甲酸酯化合物、聚乙二醇氨基丙烯酸酯化合物和聚乙二醇二琥珀酰胺琥珀酸亚胺酯化合物中的任意一种；优选地，所述螯合剂包括柠檬酸及钠盐或铵盐，草酸及草酸铵，氨基乙酸，乙二胺四乙酸二钠盐和甲叉基膦酸中的任意一种；优选地，所述多元醇及多元醇的组合物包括乙二醇，丙三醇，丁二醇、聚乙二醇、丙二醇、已二醇、木糖醇、聚丙二醇和山梨糖醇中的一种或多种；优选地，所述糖类物质包括甲基葡糖聚醚、甲壳质衍生物、海藻糖、透明质酸钠和糖类同分异构体中的一种或多种。4.根据权利要求3所述的用于玻璃晶圆的化学机械抛光液，其特征在于，所述磨料为氧化硅；所述润湿分散剂为2,5,8,11-四甲基-6-十二碳炔-5,8-二醇聚氧乙烯醚；所述助洗剂为甲基醇胺酯化合物；所述多元醇为丙三醇或丙二醇；所述糖类物质为甲基葡萄糖聚醚。5.一种如权利要求1-4任一项所述的用于玻璃晶圆的化学机械抛光液的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：按照相应质量份数选取磨料、润湿分散剂、助洗剂、螯合剂和润滑保湿剂后，添加防霉杀菌剂、消泡剂和水，搅拌混匀至形成透明溶液，调节ph值至9-12，冷却，过滤。6.根据权利要求5所述的用于玻璃晶圆的化学机械抛光液的制备方法，其特征在于，所述防霉杀菌剂包括双烷基二甲基季铵盐；优选地，所述双烷基二甲基季铵盐包括双十烷基季铵盐ddac，十二烷基二甲基苄基氯化铵bkc和十二烷基二甲基苄基氯化铵中任意一种。7.根据权利要求6所述的用于玻璃晶圆的化学机械抛光液的制备方法，其特征在于，所
述防霉杀菌剂为十二烷基二甲基苄基氯化铵；所述防霉杀菌剂的添加浓度为10-200ppm，优选为50-100ppm。8.根据权利要求5所述的用于玻璃晶圆的化学机械抛光液的制备方法，其特征在于，所述ph值优选为10-11。9.根据权利要求5所述的用于玻璃晶圆的化学机械抛光液的制备方法，其特征在于，所述制备方法还包括在形成透明溶液后加消泡剂；所述消泡剂的添加浓度为10-1000ppm，优选为50-100ppm；所述消泡剂为聚醚硅氧烷共聚物乳液。10.一种用于玻璃晶圆的化学机械抛光液的应用，其特征在于，将如权利要求1-4任一项所述的抛光液用于玻璃晶圆的化学机械抛光过程中，玻璃晶圆的表面粗糙度可达到小于0.2nm，表面平整度可达

技术总结
本发明公开了一种用于玻璃晶圆的化学机械抛光液及其制备方法和应用，属于玻璃晶圆抛光技术领域。该抛光液通过纳米级磨料颗粒对玻璃晶圆表面的修饰作用，达到原子级的粗糙度(0.1-0.2nm)，平整度可达采用润湿分散剂阻止纳米级磨料颗粒的团聚，避免抛光过程中产生微划伤，影响粗糙度。采用螯合剂和助洗剂，能够有效去除抛光过程中产生的颗粒物残留和有机物残留。采用复合润滑分散剂和润滑保湿剂组分，确保抛光过程中不产生结晶，保证浆料的均匀分布，保证抛光表面的平整度和光洁度。适用于各种尺寸的玻璃晶圆超光滑抛光，表面透光度高，无划伤，无雾面，可以满足先进制程的汽车芯片对玻璃衬底表面质量的要求。芯片对玻璃衬底表面质量的要求。芯片对玻璃衬底表面质量的要求。


技术研发人员：宋伟红 蔡庆东 柏旭青 宋菁
受保护的技术使用者：纳芯微电子（河南）有限公司
技术研发日：2022.06.09
技术公布日：2022/9/6