一种硅片检测载台的制作方法

1.本实用新型涉及硅片检测技术领域，具体为一种硅片检测载台。


背景技术：

2.硅片由晶棒经过切割工艺后制备而成。制备完成的硅片需要进行电阻率、ftir检测。而现有的上述检测设备的机台，用于承载硅片的机构上仅为简单的承载台，技术人员将硅片置于承载台上需要用胶带固定。然而一些检测项目需要精确的测量位置，简单的粘贴难以准确固定硅片的位置，进而影响测量结果。


技术实现要素：

3.针对上述存在的技术不足，本实用新型的目的是提供一种硅片检测载台，以解决背景技术中提出的问题。
4.为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
5.本实用新型提供一种硅片检测载台，包括：
6.承载件，用以承载硅片，所述承载件上设有至少两个在同一位置交叉设置的导槽；
7.限位件，所述限位件部分置于所述导槽中，可沿所述导槽滑动，当所述硅片置于所述承载件上时，所述限位件适于抵接于所述硅片的边缘；
8.锁止件，所述锁止件设于所述导槽中，适于将所述限位件锁止在所述导槽的设定位置。
9.在本实用新型的一些实施例中，所述锁止件为在所述导槽的设定位置处，自所述导槽两侧的内侧壁向所述导槽外延伸形成的限位槽。
10.在本实用新型的一些实施例中，所述限位件包括：卡扣和壳体，所述壳体位于导槽上，所述壳体内部限定形成容纳腔；
11.所述卡扣包括两个相对设置的卡件，两个所述卡件部分设置于所述壳体中，两个所述卡件从所述壳体靠近所述导槽的一面伸出至所述导槽中，两个所述卡件通过弹性件连接，当所述限位件置于所述导槽的设定位置时，所述弹性件推动所述卡件卡入所述限位槽中。
12.在本实用新型的一些实施例中，所述卡件包括：与所述限位槽匹配的卡接部、部分置于所述壳体中的支撑部，所述支撑部呈直角转角结构，所述支撑部包括水平杆和竖直杆，所述水平杆伸出所述壳体的侧壁，所述竖直杆伸出所述壳体的底壁与卡接部垂直连接。
13.在本实用新型的一些实施例中，所述卡件还包括按压部，所述支撑部伸出所述壳体的一端固定连接所述按压部；
14.所述壳体靠近所述承载件中心的一侧面设有弹性层。
15.在本实用新型的一些实施例中，还包括中心定位件，用于对1/4圆形硅片进行定位，所述中心定位件设置于所述承载件的中心位置，所述中心定位件为垂直相接的杆件，在对1/4圆形硅片进行定位时，所述中心定位件与所述硅片的圆心接触的内拐角点与所述导
槽交叉位置的中心点重合。
16.在本实用新型的一些实施例中，所述导槽数量为两个，两个所述导槽垂直交叉连接，所述中心定位件设置于所述导槽中，所述导槽的深度小于所述中心定位件的高度，用以使所述中心定位件部分伸出所述导槽对1/4圆形硅片进行定位。
17.在本实用新型的一些实施例中，所述承载件在所述导槽的交叉处向下开设有容纳所述中心定位件的容置槽。
18.在本实用新型的一些实施例中，所述中心定位件的拐角处垂直向下连接限位杆，所述限位杆从所述容置槽的拐角处穿出所述承载件，并通过紧固件紧固。
19.在本实用新型的一些实施例中，所述中心定位件远离拐角处的两端分别垂直向下一体连接一个限位杆，两个所述限位杆从所述容置槽穿出所述承载件，并通过紧固件紧固。
20.本实用新型的有益效果在于：
21.(1)本实用新型的硅片检测载台，包括承载件、限位件和锁止件，承载件上设有同一位置交叉设置的导槽，限位件部分置于所述导槽中，通过在导槽上滑动限位件，对限位件的位置进行调整，然后通过锁止件对限位件在预设位置进行锁止，可以使本实用新型的硅片检测载台通过固定硅片边缘在承载台上位置而准确固定硅片位置，且限位件的位置可以调整，使本实用新型公开的检测载台可应用于检测多种尺寸的硅片，大大提高了实用价值；
22.(2)本实用新型中的限位件对硅片进行限位时，通过按压两个按压部，挤压弹性件，使得弹性件收缩，卡接部与限位槽侧壁产出间隙，方便移动限位件。移动至限位件置于导槽的设定位置时，停止按压按压部，由于弹性件放松，但依然处于压缩状态，此时弹性件推动卡件的卡接部进入限位槽中，从而实现卡件卡扣在限位槽中，限位件结构简单，操作方便。
23.(3)壳体靠近承载件中心的一侧面设有弹性层，弹性层的设置，用于保护硅片，防止限位件对硅片进行磨损和刮伤，对硅片限位时，弹性层与硅片接触，并产生弹性形变，以适应硅片的轮廓结构。
24.(3)本实用新型的硅片检测载台还包括中心定位件，以同时适用于1/4圆形硅片，定位时，1/4圆形硅片的圆心与内拐角点重合，通过中心定位件的两相邻直角边卡住1/4圆形硅片的两侧，再移动限位件，使限位件抵住通过1/4圆形硅片圆弧的两端，即完成了定位。同时由于限位件的可移动设计，使得可以使用多种尺寸的1/4圆形硅片。
25.(4)在本实用新型的一些实施例中，中心定位件为直角转角结构，中心定位件设置于导槽中，导槽的深度小于中心定位件的高度，如此中心定位件伸出承载件表面，用以使中心定位件部分伸出导槽对四分之一的硅片进行定位。该中心定位件结构简单，且无需对原有的承载件进行改进，实用性高，成本低。
26.(5)在本实用新型的一些实施例中，承载件在导槽的交叉处向下开设有容纳中心定位件的容置槽。在对1/4圆形硅片检测时，从下往上推动限位杆，使得中心定位件部分伸出导槽，再通过紧固件紧固对位置进行固定。在对圆形硅片进行检测时，向下移动限位杆，使中心定位件完全进入容置槽中，再通过紧固件紧固对位置进行固定。如此设置，中心定位件置于容置槽中时，不影响限位件沿导槽移动，相对于独立设置中心定位件，可以防止中心定位件的丢失。
附图说明
27.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
28.图1为本实用新型实施例1提供的一种硅片检测载台对12寸硅片检测时的结构示意图；
29.图2为本实用新型实施例1提供的一种硅片检测载台对8寸硅片检测时的结构示意图；
30.图3为本实用新型中限位件与第一支杆的剖视图；
31.图4为本实用新型中第一支杆的剖视图；
32.图5为本实用新型中限位件的结构示意图；
33.图6为本实用新型中壳体的结构示意图；
34.图7为本实用新型实施例2提供的一种硅片检测载台对12寸1/4圆形硅片检测时的俯视图；
35.图8为本实用新型实施例2提供的一种硅片检测载台对8寸1/4圆形硅片检测时的俯视图；
36.图9为本实用新型实施例2提供的一种硅片检测载台在中心定位件位于容置槽内的剖视图；
37.图10为本实用新型实施例2提供的一种硅片检测载台在限位杆为一个时，检测时的剖视图；
38.图11为本实用新型实施例2提供的一种硅片检测载台在限位杆为三个时，检测时的剖视图。
39.附图标记说明：
40.承载件10、导槽11、容置槽12、第一支杆13、第二支杆14；
41.限位件20、卡扣21、卡件211、卡接部2111、支撑部2112、按压部2113、壳体22、容纳腔221、通孔222、弹性层223、弹性件23；
42.锁止件30；
43.中心定位件40、限位杆41、紧固件42。
44.硅片50；
45.1/4圆形硅片60。
具体实施方式
46.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
47.下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示
例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。
48.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
49.实施例1：
50.参考图1和图2所示，本实用新型提供了一种硅片检测载台，包括：承载件10、限位件20和锁止件30。本实施例的硅片检测载台适用于圆形的硅片50。
51.参考图1和图2所示，承载件10用以承载硅片50，承载件10上设有至少两个在同一位置交叉设置的导槽11，导槽11的设定位置处设有锁止件30，锁止件30适于将所述限位件20锁止在所述导槽11的设定位置。
52.在本实用新型的一些实施例中，锁止件30为在导槽11的设定位置处，自导槽11两侧的内侧壁向导槽11外延伸形成的限位槽。
53.本实用新型中的“设定位置”指的是限位件20与硅片50进行固定位置时，硅片50边缘与限位件20抵接，此时限位件20所在的位置。设定位置具体可以根据硅片的尺寸设置。例如导槽11分别在4寸、6寸、8寸、12寸硅片的边缘处分别设有限位槽。通过移动限位件20卡在不同的限位槽中以适用于不同尺寸的硅片。
54.其中，限位槽可以位于导槽11侧壁的上部、中部或下部。参考图4所示，本实施例中，限位槽位于导槽11的下部。
55.在本实用新型的一些实施例中，导槽11的数量为2-6个，上述导槽在同一位置交叉设置，即多个导槽的交叉点均为一个，优选地，导槽11的数量为2-4个，例如2、3、4个，当导槽11为2个时，2个导槽11呈“十”字交叉分布；当导槽11为3个时，3个导槽11构成正六边形的三条对角线；当导槽11为4个时，4个导槽11构成正八边形的四条对角线。参考图1和图2所示，本实施例中，导槽11的数量为2个。
56.在本实用新型的一些实施例中，承载件10为承载台；承载台上开设上述导槽11。
57.在本实用新型的一些实施例中，承载件10为支架，支架为至少两个在同一位置交叉设置的支杆，支杆的数量与导槽11数量相同，在本实施例中，导槽11和支杆的数量均为2条。具体地，参考图2所示，本实施例中，支架包括第一支杆13和第二支杆14，第一支杆13和第二支杆14垂直交叉连接，呈“十”字形分布。
58.参考图1和图2所示，限位件20部分置于导槽11中，可沿导槽11滑动，当硅片50置于承载件10上时，限位件20适于抵接于硅片50的边缘，对硅片50进行限位；限位件20的设置，通过在导槽11上滑动限位件20，对限位件20的位置进行调整，可以使本实用新型的硅片检测载台应用于检测多种尺寸的硅片，例如4寸、6寸、8寸和12寸，大大提高了实用价值。
59.具体地，参考图3、图4和图5所示，限位件20包括卡扣21和壳体22，壳体22位于导槽11上，壳体22内部限定形成容纳腔221，壳体22靠近导槽11的一面中部开设有通孔222；卡扣21包括两个相对设置的卡件211，两个所述卡件211部分设置于所述壳体22中，两个卡件211
从通孔222中伸出至导槽11中，两个所述卡件211通过弹性件23连接，当限位件20置于所述导槽11的设定位置时，弹性件23推动卡件211卡入限位槽中，弹性件23可以为弹簧但不限于弹簧，此时弹性件23处于压缩状态，弹性件23的弹力使得卡件211卡接在限位槽中。
60.在本实用新型的一些实施例中，参考图6所示，卡件211包括：与限位槽匹配的卡接部2111、部分置于壳体22中的支撑部2112，支撑部2112呈直角转角结构，支撑部2112包括水平杆和竖直杆，水平杆伸出壳体22的侧壁，竖直杆伸出壳体22的通孔222与卡接部2111垂直连接。卡接部2111的形状与大小与限位槽相配适，卡件211还包括按压部2113，两个支撑部2112伸出壳体22的一端分别固定连接按压部2113；对硅片50进行限位时，通过按压两个按压部2113，挤压弹性件23，使得弹性件23收缩，卡接部2111与限位槽侧壁产出间隙，方便移动限位件20。移动至限位件置于导槽11的设定位置时，停止按压按压部2113，由于弹性件23放松，但依然处于压缩状态，此时弹性件23推动卡件211的卡接部2111进入限位槽中，从而实现卡件211卡扣在限位槽中。
61.在本实用新型的一些实施例中，参考图6所示，壳体22靠近承载件10中心的一侧面设有弹性层223，弹性层223的设置，用于保护硅片50，防止限位件20对硅片50进行磨损和刮伤，例如，弹性层223为橡胶垫，对硅片50限位时，弹性层223与硅片50接触，并产生弹性形变，以适应硅片50的轮廓结构。
62.实施例2
63.本实施例与实施例1的区别在于：本实施例的硅片检测载台适用于1/4圆形硅片60，即圆心角为90
°
的扇形硅片50。
64.参考图7和图8所示，所述硅片检测载台还包括中心定位件40，中心定位件40设置于承载件10的中心位置，中心定位件40为垂直相接的杆件，在对1/4圆形硅片60进行定位时，中心定位件40与硅片50圆心接触的内拐角点与导槽11交叉位置的中心点重合。中心定位件40可以为直角转角结构，也可以为十字形结构的杆件。在本实施例中，中心定位件40为直角转角结构。定位时，1/4圆形硅片60的圆心与内拐角点重合，通过中心定位件40的两相邻直角边卡住1/4圆形硅片60的两侧，再移动限位件20，使限位件20抵住通过1/4圆形硅片60圆弧的两端，即完成了定位。
65.在本实用新型的一些实施例中，中心定位件40设置于导槽11中，导槽11的深度小于中心定位件40的高度，如此中心定位件40伸出承载件10表面，用以使中心定位件40部分伸出导槽11对1/4圆形硅片60进行定位。本实施例的硅片检测载台不仅适用于圆形的硅片50，也适用于1/4圆形硅片60，在对圆形的硅片50检测时，只需取掉中心定位件40，通过四个限位件20对圆形的硅片50进行定位；在对1/4圆形硅片60检测时，将中心定位件40，1/4圆形硅片60的圆心与内拐角点重合，通过中心定位件40的两相邻直角边卡住1/4圆形硅片60的两侧，再通过两个限位件20对1/4圆形硅片60圆弧的两端进行定位，中心定位件结构简单，且无需对原有的承载件10进行改进，实用性高，成本低。
66.在本实用新型的一些实施例中，参考图9和图10所示，承载件10在导槽11的交叉处向下开设有容纳中心定位件40的容置槽12。容置槽12基于导槽11向下延伸，延伸厚度适应于中心定位件40的厚度，中心定位件40置于容置槽12中时，其顶面与导槽11的底面平齐，不影响限位件20沿导槽11移动。中心定位件40的拐角处垂直向下连接限位杆41，限位杆41从容置槽12的拐角处穿出承载件10，并通过紧固件42紧固。所述紧固件42为螺母。
67.可以理解的是，在对1/4圆形硅片60检测时，从下往上推动限位杆41，使得中心定位件40部分伸出导槽11，再通过紧固件42紧固对位置进行固定。在对圆形硅片50进行检测时，向下移动限位杆41，使中心定位件40完全进入容置槽12中，再通过紧固件42紧固对位置进行固定。如此设置，中心定位件40置于容置槽12中时，不影响限位件20沿导槽11移动，也可以防止中心定位件40的丢失。
68.进一步地，参考图11所示，中心定位件40远离拐角处的两端分别垂直向下一体连接一个限位杆41，两个限位杆41从容置槽12穿出承载件10，并通过紧固件42紧固。在对1/4圆形硅片60检测时，从下往上推动三个限位杆41，使得中心定位件40部分伸出导槽11，再通过三个紧固件42对限位杆41紧固，对位置进行固定。在对圆形硅片50进行检测时，向下移动三个限位杆41，使中心定位件40完全进入容置槽12中，再通过三个紧固件42紧固对位置进行固定。如此设置，防止中心定位件40由于其自身重力，在长时间使用后变形。
69.需要说明的是，上述本实用新型中对限位件、锁止件的具体结构不局限于上述两个实施例公开的具体结构。锁止件还可以设置成在导槽内或者导槽外的阻挡结构，限位件可以卡接的形式或者螺栓固定的形式与锁止件连接。
70.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
71.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
72.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
73.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
74.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进
行结合和组合。
75.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。