一种残膜回收机防缠绕挑膜装置的制 一种秧草收获机用电力驱动行走机构

一种节能镀膜玻璃的制作方法

2022-09-01 10:16:39 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种节能镀膜玻璃,其特征在于,所述节能镀膜玻璃由内至外依次具有以下层:玻璃基片层、第一si3n4层、第一缓冲阻隔层、第一ag层、第二缓冲阻隔层、第二ag层、第三缓冲阻隔层以及第二si3n4层。2.如权利要求1所述的节能镀膜玻璃,其特征在于,所述第一缓冲阻隔层由内至外依次具有以下层:ago
x
层以及ago
y
层,其中,所述第一缓冲阻隔层的厚度小于15nm。3.如权利要求2所述的节能镀膜玻璃,其特征在于,所述第二缓冲阻隔层由内至外依次具有以下层:ago
a
层、ago
b
层以及azo层,其中,所述第二缓冲阻隔层的厚度小于30nm。4.如权利要求3所述的节能镀膜玻璃,其特征在于,所述第三缓冲阻隔层由内至外依次具有以下层:ago
m
层以及ago
n
层,其中,所述第三缓冲阻隔层的厚度小于15nm。5.如权利要求4所述的节能镀膜玻璃,其特征在于,其中,所述ago
x
层厚度为5-8nm,其中,所述ago
x
层由以下工艺制备:使用射频磁控溅射法制备ago
x
层,靶材为纯ag,溅射电源功率为300-500w,电源电压为300-500v,溅射气氛为氩气与氧气的组合气,其中,氩气流量为30-50sccm,氧气流量为300-500sccm。6.如权利要求5所述的节能镀膜玻璃,其特征在于,其中,所述ago
y
层厚度为5-8nm,其中,所述ago
y
层由以下工艺制备:使用射频磁控溅射法制备ago
y
层,靶材为纯ag,溅射电源功率为200-250w,电源电压为200-250v,溅射气氛为氩气与氧气的组合气,其中,氩气流量为30-50sccm,氧气流量为800-1200sccm。7.如权利要求6所述的节能镀膜玻璃,其特征在于,其中,所述ago
a
层厚度为5-8nm,其中,所述ago
a
层由以下工艺制备:使用射频磁控溅射法制备ago
a
层,靶材为纯ag,溅射电源功率为200-250w,电源电压为200-250v,溅射气氛为氩气与氧气的组合气,其中,氩气流量为30-50sccm,氧气流量为800-1200sccm。8.如权利要求7所述的节能镀膜玻璃,其特征在于,其中,所述ago
b
层厚度为5-8nm,其中,所述ago
b
层由以下工艺制备:使用射频磁控溅射法制备ago
b
层,靶材为纯ag,溅射电源功率为300-500w,电源电压为300-500v,溅射气氛为氩气与氧气的组合气,其中,氩气流量为30-50sccm,氧气流量为300-500sccm。9.如权利要求8所述的节能镀膜玻璃,其特征在于,其中,所述ago
m
层厚度为5-8nm,其中,所述ago
m
层由以下工艺制备:使用射频磁控溅射法制备ago
m
层,靶材为纯ag,溅射电源功率为200-250w,电源电压为200-250v,溅射气氛为氩气与氧气的组合气,其中,氩气流量为30-50sccm,氧气流量为800-1200sccm。10.如权利要求8所述的节能镀膜玻璃,其特征在于,其中,所述ago
n
层厚度为5-8nm,其中,所述ago
n
层由以下工艺制备:使用射频磁控溅射法制备ago
n
层,靶材为纯ag,溅射电源功率为600-800w,电源电压为300-500v,溅射气氛为氩气与氧气的组合气,其中,氩气流量为30-50sccm,氧气流量为600-750sccm。

技术总结
本发明公开了一种节能镀膜玻璃,该节能镀膜玻璃由内至外依次具有以下层:玻璃基片层、第一Si3N4层、第一缓冲阻隔层、第一Ag层、第二缓冲阻隔层、第二Ag层、第三缓冲阻隔层以及第二Si3N4层。第一缓冲阻隔层由内至外依次具有以下层:AgO


技术研发人员:陈建 曾敏俊 曾涛 刘海波 刘文体 刘俊
受保护的技术使用者:中建材(内江)玻璃高新技术有限公司
技术研发日:2022.05.17
技术公布日:2022/8/30
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

发表评论 共有条评论
用户名: 密码:
验证码: 匿名发表

相关文献