热机轨道防护装置的制作方法

技术特征：
1.一种热机轨道防护装置，其特征在于，包括：第二安装座，为一l型结构，该第二安装座的水平部分向内凹设有插接槽，所述插接槽槽口的内侧的上下壁之间对应分别设有抵接块，所述抵接块之间留有活动间隙，所述第二安装座上设有穿入插接槽内的螺纹杆；第一安装座，为一l型结构，该第一安装座的水平部分远离竖直部分的一端设有插接板，所述插接板远离第一安装座的一端插入所述活动间隙后设有防脱板，所述防脱板与抵接块之间相互抵接，所述防脱板上设有与螺纹杆旋进端活动连接的连接轴承；两组第一防护组件，分别设于所述第一安装座的两侧，所述第一防护组件具有第一伸缩气缸以及位于第一伸缩气缸伸缩端的第一护板；以及两组第二防护组件，分别设于所述第二安装座的两侧，所述第二防护组件具有第二伸缩气缸以及位于第二伸缩气缸伸缩端的第二护板。2.如权利要求1所述的热机轨道防护装置，其特征在于，所述第一安装座竖直部分的内侧设有第一卡槽。3.如权利要求2所述的热机轨道防护装置，其特征在于，所述第一卡槽上设有第一缓冲垫，所述第一缓冲垫与所述第一卡槽可拆卸连接。4.如权利要求1所述的热机轨道防护装置，其特征在于，所述第二安装座竖直部分的内侧设有第二卡槽。5.如权利要求4所述的热机轨道防护装置，其特征在于，所述第二卡槽上设有第二缓冲垫，所述第二缓冲垫与所述第二卡槽可拆卸连接。6.如权利要求1所述的热机轨道防护装置，其特征在于，所述第二安装座上设有与螺纹杆螺接的螺纹孔。7.如权利要求1所述的热机轨道防护装置，其特征在于，所述第一安装座上设有与第一伸缩气缸连接的第一气缸座。8.如权利要求1所述的热机轨道防护装置，其特征在于，所述第二安装座上设有与第二伸缩气缸连接的第二气缸座。9.如权利要求1所述的热机轨道防护装置，其特征在于，所述防脱板的宽度大于所述活动间隙的宽度。10.如权利要求1所述的热机轨道防护装置，其特征在于，所述插接板与所述防脱板可拆卸连接。

技术总结
本实用新型公开了一种热机轨道防护装置，包括：第二安装座、第一安装座、两组第一防护组件、和两组第二防护组件，所述第二安装座为一L型结构，该第二安装座的水平部分向内凹设有插接槽，所述插接槽槽口的内侧的上下壁之间对应分别设有抵接块，所述抵接块之间留有活动间隙；所述第一安装座为一L型结构，该第一安装座的水平部分远离竖直部分的一端设有插接板，所述插接板远离第一安装座的一端插入所述活动间隙后设有防脱板，所述防脱板与抵接块之间相互抵接；两组第一防护组件分别设于所述第一安装座的两侧；两组第二防护组件分别设于所述第二安装座的两侧。本申请，设计巧妙。可有效减少水平方向溅射过来的物质对热机轨道加热区域的影响。的影响。的影响。


技术研发人员：姚艳艳 程元超 马传申
受保护的技术使用者：上海盛陆半导体设备技术有限公司
技术研发日：2022.05.27
技术公布日：2022/8/26