一种走膜装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜装置技术领域，具体涉及一种走膜装置。


背景技术：

2.蒸镀是指将待蒸镀材料放置在坩埚等耐高温容器里，加热使其融化，从而使得待蒸镀材料气化，沉积在路过的薄膜上。现有的蒸镀机均为平铺设计，占地空间大，空间利用率低。除此之外，当前的蒸镀装置在完成一卷薄膜镀膜后，需要打开真空腔体继续放卷，不能一次性蒸镀多卷薄膜，也不能进行双面的多次蒸镀，效率低下。
3.基于此，本实用新型设计了一种走膜装置，以解决上述问题。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型实施例的目的在于提供一种走膜装置，以解现有技术中空间利用率低以及不能进行多次蒸镀的技术问题。
5.为达上述目的，本实用新型实施例提供了一种走膜装置，所述走膜装置设置在真空腔室中，包括：
6.第一走膜单元，其包括：竖直设置在所述真空腔室的内部的第一走膜架，在所述第一走膜架的第一侧从下至上的依次设置的第一放卷部、多个转向辊和第一收卷部，以及在所述第一走膜架的第二侧从下至上依次设置的第二放卷部、多个转向辊和第二收卷部，所述第一侧和所述第二侧处于第一方向，所述第一方向垂直于竖直方向；
7.第二走膜单元，其包括：竖直设置在所述真空腔室的内部、且沿第二方向与第一走膜架间隔设置的第二走膜架，在所述第二走膜架的第一侧和第二侧从下至上依次设置的多个转向辊，以及在所述第二走膜架的第一侧和第二侧从下至上依次设置的多个蒸镀源；其中，每个蒸镀源与所述第一走膜架的距离均小于每个转向辊与所述走膜架的距离，第二方向垂直于所述第一方向和所述竖直方向。
8.在一些可能的实施方式中，所述第一走膜单元中的多个转向辊包括：第一转向辊，设置于所述第一放卷部和所述第一收卷部之间，第二转向辊，设置于所述第二放卷部和所述第二收卷部之间；
9.所述第二走膜单元中的多个转向辊包括：第三转向辊和第五转向辊，设置在所述第二走膜架的第一侧，第四转向辊和第六转向辊，设置在所述第二走膜架的第二侧；
10.所述第二走膜单元中多个蒸镀源包括：第一蒸镀源、第三蒸镀源、第五蒸镀源和第七蒸镀源，均设置在所述第二走膜架的第一侧，第二蒸镀源、第四蒸镀源、第六蒸镀源和第八蒸镀源，均设置在所述第二走膜架的第二侧。
11.在一些可能的实施方式中，所述第一走膜单元中的多个转向辊还包括：第七转向辊，设置于所述第一转向辊和所述第一收卷部之间，第八转向辊，设置于所述第二转向辊和所述第二收卷部之间；
12.所述第二走膜单元中的多个转向辊还包括：第九转向辊设，置在所述第三转向辊
和所述第五转向辊之间，第十转向辊，设置在所述第四转向辊和所述第六转向辊之间；
13.所述第二走膜单元中的多个蒸镀源还包括：第九蒸镀源和第十一蒸镀源，均设置在所述第二走膜架的第一侧，且位于所述第五蒸镀源和所述第七蒸镀源之间，第十蒸镀源和第十二蒸镀源，设置在所述第二走膜架的第二侧，且位于所述第六蒸镀源和所述第八蒸镀源之间。
14.在一些可能的实施方式中，所述第一放卷部的顶部切线与第三转向辊的底部切线在一个水平面上；
15.所述第二放卷部的顶部切线与所述第四转向辊的底部切线在一个水平面上。
16.在一些可能的实施方式中，所述第一转向辊的底部切线与所述第三转向辊的顶部切线在同一个水平面上，且所述第一转向辊的顶部切线与所述第九转向辊的底部切线在同一个水平面上；
17.所述第二转向辊的底部切线与所述第四转向辊的顶部切线在同一个水平面上，且所述第二转向辊的顶部切线与所述第十转向辊的底部切线在同一个水平面上。
18.在一些坑能的实施方式中，所述第七转向辊的底部切线与所述第九转向辊的顶部切线在同一个水平面上，且所述第七转向辊的顶部切线与所述第五转向辊的底部切线在同一个水平面上；
19.所述第八转向辊的底部切线与所述第十转向辊的顶部切线在同一个水平面上，且所述第八转向辊的顶部切线与所述第六转向辊的底部切线在同一个水平面上。
20.在一些可能的实施方式中，所述第一收卷部的顶部切线与第五转向辊的顶部切线在一个水平面上；
21.所述第二收卷部的顶部切线与所述第六转向辊的底部切线在一个水平面上。
22.在一些可能的实施方式中，所述第一放卷部与所述第三转向辊之间的横向距离、第三转向辊与所述第一转向辊之间的横向距离、所述第一转向辊与所述第九转向辊之间的横向距离、所述第九转向辊与所述第七转向辊之间的横向距离、所述第七转向辊与所述第五转向辊之间的横向距离以及所述第五转向辊与所述第一收卷部之间的横向距离均为50~100cm。
23.在一些可能的实施方式中，所述第二放卷部与所述第四转向辊之间的横向距离、第四转向辊与所述第二转向辊之间的横向距离、所述第二转向辊与所述第十转向辊之间的横向距离、所述第十转向辊与所述第八转向辊之间的横向距离、所述第八转向辊与所述第六转向辊之间的横向距离以及所述第六转向辊与所述第二收卷部之间的横向距离均为50~100cm。上述技术方案具有如下有益效果：本实用新型实施例提供的一种走膜装置，包括第一走膜单元和第二走膜单元，第一走膜单元的第一走膜架竖直设置于真空腔室内，在第一走膜架的第一侧依次设置的第一放卷部、多个转向辊和第一收卷部，以及在第一走膜架的第二侧依次设置的第二放卷部、多个转向辊和第二收卷部；第一侧和第二侧处于第一方向，第一方向垂直于竖直方向；第二走膜单元中的第二走膜架竖直的设置在真空腔室的内部、且沿第二方向与第一走膜架间隔设置，在第二走膜架的第一侧和第二侧依次设置的多个转向辊，以及在第二走膜架的第一侧和第二侧依次设置的多个蒸镀源，每个蒸镀源与第一走膜架的距离均小于每个转向辊与走膜架的距离，第二方向垂直于第一方向和竖直方向。本实用新型实施例提供的薄膜多次蒸镀设备，在第一侧和第二侧包含了了两组薄膜蒸镀部
件，可以在有限的空间内实现多次镀膜。
附图说明
24.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
25.图1为本实用新型实施例的一种走膜装置的主视图；
26.图2为本实用新型实施例的一种第一走膜单元的整体结构示意图；
27.图3为本实用新型实施例的一种第二走膜单元的整体结构示意图；
28.图4为本实用新型实施例的另一种走膜装置的主视图；
29.图5为本实用新型实施例的另一种第一走膜单元的整体结构示意图；
30.图6为本实用新型实施例的另一种第二走膜单元的整体结构示意图；
31.图7为本实用新型实施例的一种走膜方法的流程图。
32.附图标号说明：
33.1、第一走膜单元，10、第一走膜架，111、第一放卷部，112、第二放卷部，121、第一收卷部，122、第二收卷部，131、第一转向辊，132、第二转向辊；
34.2、第二走膜单元，20、第二走膜架，211、第三转向辊，212、第四转向辊，213、第五转向辊，214、第六转向辊，133、第七转向辊，134、第八转向辊，221、第一蒸镀源，222、第二蒸镀源，223、第三蒸镀源，224、第四蒸镀源，225、第五蒸镀源，226、第六蒸镀源，227、第七蒸镀源，228、第八蒸镀源，229、第九蒸镀源，230、第十蒸镀源，231、第十一蒸镀源，232、第十二蒸镀源。
具体实施方式
35.下面将详细描述本实用新型的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本实用新型的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本实用新型可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本实用新型的示例来提供对本实用新型的更好的理解。在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以便避免对本实用新型造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。
36.实施例一
37.如图1、至3所示，本实用新型实施例提供了一种走膜装置，该走膜装置在使用时可以设置在真空腔室中，其包括：第一走膜单元1和第二走膜单元2，第一走膜单元1和第二走膜单元2并排间隔或相邻设置，第一走膜单元1包括竖直地设置在真空腔室的内部的第一走膜架10，在第一走膜架10的第一侧从下至上依次设置的第一放卷部111、1个或多个转向辊（本实施例中为1个转向辊，例如第一转向辊131）和第一收卷部121，以及在第一走膜架10的第二侧从下至上依次设置的第二放卷部112、多个转向辊（本实施例中为1个转向辊，例如第一转向辊132）和第二收卷部122，其中，第一侧和第二侧处于第一方向，第一方向垂直于竖
直方向；第二走膜单元2包括竖直设置在真空腔室的内部、且沿第二方向与第一走膜架间隔设置的第二走膜架20，在第二走膜架20的第一侧和第二侧依次设置的多个转向辊，以及在第二走膜架20的第一侧和第二侧从下至上依次间隔设置的多个蒸镀源；其中，每个蒸镀源与第一走膜架10的距离均小于第二走膜架20上的每个转向辊与走膜架10的距离，其中，第二方向垂直于第一方向和竖直方向。
38.本实用新型实施例提供的走膜装置，通过在走膜装置的第一侧和第二侧设置两组薄膜走膜单元，可以同时对两卷薄膜进行蒸镀，在有限的空间内实现多次镀膜，提高镀膜效率和质量。
39.在一些实施例中，第一走膜单元1中的多个转向辊可以包括：第一转向辊131和第二转向辊132等，需要说明的是，对于转向辊的数量可以依据真空空间的大小以及第一蒸镀架的大小而定，可以为1个、2个、或3个以上等等，此处不做具体限制，第一转向辊131位于第一放卷部111和第一收卷部121之间，第二转向辊132设置于第二放卷部112和第二收卷部122之间；第二走膜单元2中的多个转向辊包括：第三转向辊211和第五转向辊213，其设置在第二走膜架20的第一侧；第四转向辊212和第六转向辊214，其设置在第二走膜架20的第二侧。其中，在图1中垂直于纸面向外的方向是第一侧，在图1中垂直于纸面向内的方向是第二侧。
40.第二走膜单元2中多个蒸镀源包括：第一蒸镀源221、第二蒸镀源222、第三蒸镀源223、第四蒸镀源224、第五蒸镀源225、第六蒸镀源226、第七蒸镀源227和第八蒸镀源228。其中，第一蒸镀源221、第三蒸镀源223、第五蒸镀源225和第七蒸镀源227设置在第二走膜架20的第一侧，第二蒸镀源222、第四蒸镀源224、第六蒸镀源226和第八蒸镀源228设置在第二走膜架20的第二侧。
41.通过设置多个转向辊对待蒸镀的第一卷薄膜和第二卷薄膜进行转向，使得待蒸镀的第一卷薄膜和第二卷薄膜能够进行双面镀膜。
42.如图4至图6所示，在一些实施例中，第一走膜单元1中的多个转向辊还可以包括第七转向辊133和第八转向辊134，第七转向辊133设置于第一转向辊131和第一收卷部121之间，第八转向辊134设置于第二转向辊132和第二收卷部122之间；第二走膜单元2中的多个转向辊还包括：第九转向辊215和第十转向辊216，第九转向辊215设置在第三转向辊211和第五转向辊213之间，第十转向辊216设置在第四转向辊212和第六转向辊214之间。
43.第二走膜单元2中的多个蒸镀源还可以包括第九蒸镀源229、第十蒸镀源230、第十一蒸镀源231和第十二蒸镀源232，第九蒸镀源229和第十一蒸镀源231设置在第二走膜架20的第一侧，且位于第五蒸镀源225和第七蒸镀源227之间，第十蒸镀源230和第十二蒸镀源232设置在第二走膜架20的第二侧，且位于第六蒸镀源226和第八蒸镀源之间228。
44.通过设置多组转向辊和多个蒸镀源，在有限的空间内可以对第一卷薄膜和第二卷薄膜进行双面的多次蒸镀，大大提高了镀膜效率和镀膜质量。
45.在一些实施例中，第一放卷部111的顶部切线与第三转向辊211的底部切线在一个水平面上；第二放卷部112的顶部切线与第四转向辊212的底部切线在一个水平面上，使得待蒸镀的第一卷薄膜在第一蒸镀源221上成水平走带，能够使蒸镀的材料均匀地蒸镀在第一卷薄膜上，以及使得待蒸镀的第二卷薄膜在第二蒸镀源222上成水平走带，能够使得蒸镀的材料均匀地蒸镀在第二卷薄膜上，提高了镀膜的质量。
46.在一些实施例中，第一转向辊131的底部切线与第三转向辊211的顶部切线在同一个水平面上，且第一转向辊131的顶部切线与第九转向辊215的底部切线在同一个水平面上；第二转向辊132的底部切线与第四转向辊212的顶部切线在同一个水平面上，且第二转向辊132的顶部切线与第十转向辊216的底部切线在同一个水平面上，使得蒸镀的第一卷薄膜在第三蒸镀源223和第五蒸镀源225上成水平走带，能够使得蒸镀的材料均匀地蒸镀在第一卷薄膜上，以及使得待蒸镀的第二卷薄膜在第四蒸镀源224和第六蒸镀源226上成水平走带，能够使得蒸镀的材料均匀地蒸镀在第二卷薄膜上，进一步提高了镀膜的质量。
47.在一些实施例中，第七转向辊133的底部切线与第九转向辊215的顶部切线在同一个水平面上，且第七转向辊133的顶部切线与第五转向辊213的底部切线在同一个水平面上；第八转向辊134的底部切线与第十转向辊216的顶部切线在同一个水平面上，且第八转向辊134的顶部切线与第六转向辊214的底部切线在同一个水平面上，使得待蒸镀的第一卷薄膜在第九蒸镀源229和第十一蒸镀源231上成水平走带，能够使得蒸镀的材料均匀地蒸镀在第一卷薄膜上，以及使得待蒸镀的第二卷薄膜在第十蒸镀源230和第十二蒸镀源232上成水平走带，能够使得蒸镀的材料均匀地蒸镀在第二卷薄膜上，提高了镀膜的质量。
48.在一些实施例中，第一收卷部121的顶部切线与第五转向辊213的顶部切线在一个水平面上；第二收卷部122的顶部切线与第六转向辊214的底部切线在一个水平面上，使得待蒸镀的第一卷薄膜在第七蒸镀源227上成水平走带，能够使得蒸镀的材料均匀地蒸镀在第一卷薄膜上，以及使得待蒸镀的第二卷薄膜在第八蒸镀源228上成水平走带，能够使得蒸镀的材料均匀地蒸镀在第二卷薄膜上，进一步提高了镀膜的质量。
49.在一些实施例中，第一放卷部111与第三转向辊211之间的横向距离、第三转向辊211与第一转向辊131之间的横向距离、第一转向辊131与第九转向辊225之间的横向距离、第九转向辊225与第七转向辊133之间的横向距离、第七转向辊133与第五转向辊213之间的横向距离以及第五转向辊213与第一收卷部121之间的横向距离均为50~100cm，在此距离内可以使得薄膜的张力容易调节到120n/m，不容易使薄膜产生褶皱。优选为68-70cm，可以使得薄膜褶皱率降低到最低点，同时也减少了第一走膜单元1与第二走膜单元2之间的距离，进一步减少占地空间，提高空间利用率。
50.在一些实施例中，第二放卷部112与第四转向辊212之间的横向距离、第四转向辊212与第二转向辊132之间的横向距离、第二转向辊132与第十转向辊226之间的横向距离、第十转向辊226与第八转向辊134之间的横向距离、第八转向辊134与第六转向辊214之间的横向距离以及第六转向辊214与第二收卷部122之间的横向距离均为50~100cm，在此距离内可以使得薄膜的张力容易调节到120n/m，不容易使薄膜产生褶皱。优选为68-70cm，可以使得薄膜褶皱率降低到最低点，同时也减少了第一走膜单元1与第二走膜单元2之间的距离，进一步减少占地空间，提高空间利用率。
51.上述技术方案的优点在于：本实用新型实施例提供的一种走膜装置，包括第一走膜单元和第二走膜单元，第一走膜单元的第一走膜架竖直设置于真空腔室内，在第一走膜架的第一侧依次设置的第一放卷部、多个转向辊和第一收卷部，以及在第一走膜架的第二侧依次设置的第二放卷部、多个转向辊和第二收卷部；第二走膜单元中的第二走膜架竖直的设置在真空腔室的内部，在第二走膜架的第一侧和第二侧依次设置的多个转向辊，以及在第二走膜架的第一侧和第二侧依次设置的多个蒸镀源，每个蒸镀源与第一走膜架的距离
均小于每个转向辊与走膜架的距离。本实用新型实施例提供的薄膜多次蒸镀设备，在第一侧和第二侧包含了了两组薄膜蒸镀部件，可以在有限的空间内实现多次镀膜。
52.实施例二
53.如图7所示，本实用新型实施例提供了一种走膜方法，该走膜方法基于上述任意一种走膜装置，该走膜方法包括如下步骤：
54.s71，将待蒸镀的第一卷薄膜安装在第一放卷部111，并将待蒸镀的第二卷薄膜安装在第二放卷部112上；
55.s72，通过第一侧的多个转向辊对第一卷薄膜进行导向，第一卷薄膜经过第一侧的多个蒸镀源的上方进行多次双面蒸镀，通过第二侧的多个转向辊对第二卷薄膜进行导向，第二卷薄膜经过第二侧的多个蒸镀源的上方进行多次双面蒸镀；
56.s73，通过第一收卷部121对蒸镀后的第一卷薄膜进行收卷，通过第二收卷部122对蒸镀后的第二卷薄膜进行收卷。
57.在一些实施例中，将待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜分别装入第一放卷部111和第二放卷部112，第一卷薄膜依次通过第三转向辊211、第一转向辊131、第五转向辊213进行转向，使得第一卷薄膜依次经过第一蒸镀源221、第三蒸镀源223、第五蒸镀源225和第七蒸镀源227，第一蒸镀源221、第三蒸镀源223、第五蒸镀源225和第七蒸镀源227中分别放置有待蒸镀材料，待蒸镀材料在高温作用下，融化成气态原子或者原子团，沉积在路过的薄膜上对第一卷薄膜的两面进行镀膜；具体的，第一蒸镀元221对第一卷薄膜的第一面进行蒸镀，第三蒸镀源223对第一卷薄膜的第二面进行蒸镀，第五蒸镀源225第二次对第一卷薄膜的第一面进行第二次蒸镀，第七蒸镀源227第二次对第一卷薄膜的第二面进行第二次蒸镀。
58.第二卷薄膜通过第四转向辊212、第二转向辊132、第六转向辊214进行转向，使得第二卷薄膜依次经过第二蒸镀源222、第四蒸镀源224、第六蒸镀源226和第八蒸镀源227，第二蒸镀源222、第四蒸镀源224、第六蒸镀源226和第八蒸镀源227中分别放置有待蒸镀材料，待蒸镀材料在高温作用下，融化成气态原子或者原子团，沉积在路过的薄膜上对第二卷薄膜的两面进行镀膜。具体的，第二蒸镀源222对第二卷薄膜的第一面进行第一次蒸镀，第四蒸镀源224对第二卷薄膜的第二面进行第一次蒸镀，第六蒸镀源226对第二卷薄膜的第一面进行第二次蒸镀，第八蒸镀源227对第二卷薄膜的第二面进行第二次蒸镀。
59.在一些实施例中，将待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜分别装入第一放卷部111和第二放卷部112，第一卷薄膜通过第三转向辊211、第一转向辊131、第九转向辊215、第七转向辊133、和第五转向辊213进行转向，使得第一卷薄膜依次经过第一蒸镀源221、第三蒸镀源223、第五蒸镀源225、第九蒸镀源229、第十一蒸镀源231和第七蒸镀源227，第一蒸镀源221、第三蒸镀源223、第五蒸镀源225、第七蒸镀源227、第九蒸镀源229和第十一蒸镀源231中分别放置有待蒸镀材料，待蒸镀材料在高温作用下，融化成气态原子或者原子团，沉积在路过的薄膜上对第一卷薄膜的两面进行多次镀膜；具体的，通过第一蒸镀源221对第一卷薄膜的第一面进行第一次镀膜、第三蒸镀源223对第一卷薄膜的第二面进行第一次镀膜，第五蒸镀源225对第一卷薄膜的第一面进行第二次镀膜，第九蒸镀源229对第一卷薄膜的第二面进行第二次镀膜、第十一蒸镀源231对第一卷薄膜的第一面进行第三次镀膜，第七蒸镀源227对第一卷薄膜的第二面进行第三次镀膜。
60.第二卷薄膜通过第四转向辊212、第二转向辊132、第十转向辊216、第八转向辊134和第六转向辊214进行转向，使得第二卷薄膜依次经过第二蒸镀源222、第四蒸镀源224、第六蒸镀源226、第十蒸镀源230、第十二蒸镀源232和第八蒸镀源227，第二蒸镀源222、第四蒸镀源224、第六蒸镀源226、第八蒸镀源228、第十蒸镀源230和第十二蒸镀源232中分别放置有待蒸镀材料，待蒸镀材料在高温作用下，融化成气态原子或者原子团，沉积在路过的薄膜上对第二卷薄膜的两面进行镀膜。具体的，通过第二蒸镀源222对第一卷薄膜的第一面进行第一次镀膜、第四蒸镀源224对第一卷薄膜的第二面进行第一次镀膜，第六蒸镀源226对第一卷薄膜的第一面进行第二次镀膜，第十蒸镀源230对第一卷薄膜的第二面进行第二次镀膜、第十二蒸镀源232对第一卷薄膜的第一面进行第三次镀膜，第八蒸镀源228对第一卷薄膜的第二面进行第三次镀膜。
61.本实用新型实施例提供的一种薄膜多次蒸镀的方法，不仅能够同时蒸镀两卷薄膜，而且还能充分利用真空空间，在有限的真空空间内能够对两卷薄膜同时进行多次蒸镀，大大的提高了镀膜效率和镀膜质量。
62.需要说明的是，对于蒸镀源的数量和转向辊的数量可以根据真空空间以及走膜单元的大小任意调整，本实用新型不做限制。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
63.在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，术语中的“上、下、内和外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一、第二或第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
64.本实用新型实施例中除非另有明确的规定和限定，术语“安装、相连、连接”应做广义理解，例如：可以是固定连接、可拆卸连接或一体式连接；同样可以是机械连接、电连接或直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
65.虽然已经参考优选实施例对本实用新型进行了描述，但在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。