高速电镀线的送纸装置的制作方法

1.本实用新型涉及用于半导体高速电镀生产的机械领域，具体地说是一种高速电镀线的送纸装置。


背景技术：

2.传统的半导体电镀生产线采用人工上、下料的方式将料条固定至钢带，这种手动上下料方式生产效率较低，同时工人直接用手抓取料条的过程中容易使料条产生折痕和损伤。而全自动上、下料技术能够提高电镀线的效率并节省人力，实现料条在料盒中的自动取出和存入。现有的全自动上、下料机大多采用料盒装料，电镀工序完成后的料条被依次层叠放置于料盒中。在电镀产品中，半导体料条整体厚度小，表面硬度较低，层叠式的储料方式经常会使料条表面被划伤，影响产品质量。
3.现有技术的解决方案是在两片料条之间再间隔一层纸片，以此来减少划伤。但若采用人工添加间隔用的纸片的方式，会降低料条的下料速度，进而无法满足半导体电镀线生产加工的高效需求。于是，设计一种能够快速添加纸片的自动送纸机构，就成为本实用新型专利的主要目的。
4.cn201821683607.4号中国专利涉及片材上料装置，包括吸盘，吸盘用于吸附片材；喷嘴，用于向被吸附的片材吹气；以及位置调节机构，设置于吸盘架且与喷嘴连接，用于调节喷嘴相对于吸盘架的位置；以及角度调节机构，与喷嘴连接，用于调节喷嘴相对于吸盘架转动的角度。该专利通过喷嘴向被吸起的片材吹气，以破除被吸起的片材与下方料堆片材之间的真空或者消除两者之间静电，避免连片、连纸的现象，有效提高片材的上料效率。然而，该方案中同时存在吸、吹气的装置，结构复杂，使用较为不便。


技术实现要素：

5.本实用新型为实现纸片的自动吸取和转移、提高电镀生产时纸片的添加效率，旨在提供一种高速电镀线的送纸装置。
6.为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案包由取纸机构、弹簧压纸机构、纸仓以及传送机构所组成，取纸机构包括水平设置的安装板、若干用于吸取纸片上表面的吸盘和位于纸片侧边的柔性毛刷；其中，吸盘分布于取纸机构的下板面，且位于安装板中部的吸盘的底面高于其边缘的吸盘的底面；柔性毛刷的端部可伸入表层纸片与下一纸片之间的缝隙之中。
7.优选地，还包括弯折板，所述弯折板包括水平段与弯折段，所述柔性毛刷的根部与弯折段连接；和/或水平段上设有用于调整柔性毛刷位置的长条状的孔槽，所述弯折板通过孔槽、紧固螺柱与安装板上表面可移动连接。
8.优选地，和/或吸盘底面的高度处在毛刷高度的中部。
9.优选地，所述弹簧压纸机构包括导向板，所述导向板固定在传送机构上，可随上下移动气缸在竖直面内移动，所述导向板的下端面与导杆的上端固定连接，固定板上设置有
若干通孔，导杆杆体可在所述通孔内作上、下移动；伸缩弹簧套装在导杆上，两端分别与导向板、固定板接触/连接；所述固定板与侧板连接，所述连接架水平安装在侧板上；所述导杆、固定板、侧板以及连接架构成的整体可沿导向板上的通孔上下移动。
10.优选地，所述导杆直径小于导向板通孔直径。
11.优选地，所述导杆的上端还设有轴肩，所述轴肩直径大于通孔直径。
12.优选地，还包括底座，所述底座上设有可拆卸式的纸仓。
13.优选地，纸仓的底面设有开口，所述开口中设有用于检测纸片余量的距离传感器。
14.优选地，还包括传送机构，包括电机、丝杆和滑块，所述滑块上设有用于升降的气缸和连接板；所述电机驱动丝杆旋转，带动滑块作水平方向上的移动。
15.优选地，所述连接板与取纸机构、弹簧压纸机构固定连接。
16.优选地，所述传送机构丝杆的背板固定于基板上，且背板、基板之间设有加强筋。
17.和现有技术相比，本实用新型通过取纸机构中高度不等、对纸片上表面吸气的吸盘，配合纸片侧面可伸入纸片间缝隙的柔性毛刷，实现了两张可能由于静电、真空而贴紧的纸片之间的自动分离，实现了纸片的自动拾取和转运，保证了单次取纸操作只吸取一张纸片的效果。
18.本实用新型还通过弹簧压纸机构自动适应纸片高度，通过传送机构将纸片从纸仓转移至右侧放纸区，并放置在层叠的半导体料条之间，能够避免料条表面划伤；本实用新型实现了自动吸取和转移单张纸片，有效提高了半导体料条电镀生产过程中添加纸片的效率。
附图说明
19.图1为本实用新型实施例的结构示意图；
20.图2为取纸机构的结构示意图；
21.图3为弹簧压纸机构的结构示意图；
22.图4为纸仓的结构示意图；
23.图5为传送机构的结构示意图。
具体实施方式
24.下面结合附图对本实用新型进行详细的描述。
25.参见图1至图5，本实用新型实施例为一种高速电镀线的送纸装置，布置于半导体料条电镀生产线的下料端。本实施例包括取纸机构1、弹簧压纸机构2、纸仓3以及传送机构4。
26.参加图2，取纸机构1包括安装板101、若干吸盘102以及柔性毛刷105，并通过螺栓与连接架206的上端面固定。其中，吸盘102竖直地安装在安装板101下板面上，弯折板104包括水平段与弯折段。柔性毛刷105的根部与弯折段内板面固定连接，柔性毛刷105的端部可伸入表层纸片与下一纸片之间的缝隙之中。多个吸盘102的安装高度不同，具体地，即位于安装板101中部的吸盘102底面高于安装板101四周边缘处的吸盘102的底面。
27.作为优选，吸盘102底面的高度处在柔性毛刷105高度的中部。柔性毛刷105的上部会贴在第一张纸片上表面，但吸盘102对应纸片表面的位置与柔性毛刷105位置不重叠，吸
盘102下移时可以牢固地吸住第一张纸片的上表面，故柔性毛刷105对第一张纸片不会造成干扰。
28.作为优选，弯折板104的水平段上设有用于调整柔性毛刷105的水平位置的孔槽106。孔槽106为长条状的贯通槽，孔槽106通过紧固螺柱103与安装板上表面，紧固螺柱103可向下压紧并固定折弯板104；而在紧固螺柱103旋松时，可沿孔槽106移动调整水平段伸出安装板101侧边的长度。
29.参见图3，弹簧压纸机构2包括导向板205、固定在导向板205下端面上的三根导杆203和用于压纸的连接架206。三根导杆203杆体可在有固定板201的三个通孔内作上、下移动。导杆203杆体上套装有伸缩弹簧202，伸缩弹簧202的两端分别被导向板205的下端面以及固定板201的上端面所阻挡/接触。侧板207竖直地安装在固定板201前端面上，连接架206水平地固定在侧板207的上端。弹簧压纸机构2通过导向板205与传送机构4的连接板406固定连接。当气缸407带动连接板406下移时，连接板406带动固定在其上的弹簧压纸机构2一同下移。在连接架206的下端面未接触纸片时，伸缩弹簧202为伸展，使得导杆203杆体向下伸出，此时连接架206与导向板205的上端面共面。当连接架206的下端面接触到纸片时，由于气缸407仍然向下伸出到头，气缸407会继续带动导向板205下移，此时伸缩弹簧202被压缩，连接架206表面仍然贴紧纸片，由受压缩的伸缩弹簧202的弹力实现压紧纸片上表面的效果。故而由导杆203、固定板201、侧板207以及连接架206组成的整体在气缸407下移时，能够在贴合纸片后上移伸出，主动适应纸仓301内纸片高度的变化。
30.作为优选，导杆203上端设置有轴肩204，可在导杆203向下运动时被导向板205阻挡，以起到限位作用。
31.参加图4，纸仓301的内框为矩形，纸仓301以及底座302的中部均设置有矩形开口，底座301中部设置有传感器303，优选距离传感器。该传感器303用于检测纸仓301内是否还有纸片。
32.参见图5，传送机构4包括基板402、安装在基板402上的电机401、与电机401的输出轴相连接的丝杠404、安装在丝杠404上的滑块405、以及固定在滑块405上的气缸407和连接板406。丝杠404可在电机401带动下转动，滑块405以及气缸407在丝杠404的带动下可在左、右水平方向上移动。而气缸407可在竖直方向作伸缩运动，进而带动连接板406作上、下移动。
33.作为优选，丝杆404固定用的的背板固定于基板402上，且背板、基板402之间设有加强筋403，能增强结构强度。
34.在工作时，首先控制气缸407伸出，进而带动弹簧压纸机构2以及取纸机构1上移。随后控制电机401转动，驱动滑块405及气缸407移动至左侧；此时将装满纸片的纸仓301放置在底座302上。
35.然后，控制气缸407下移，带动弹簧压纸机构2以及取纸机构1下移。当吸盘102贴紧纸仓301内表面的纸片时，导杆203向上伸出以保证上下移动气缸407下移到位；在吸盘102下移贴近纸片的同时，折弯板104上的毛刷105也向下移动并接触纸片的侧面。柔性毛刷105的端部会变形并伸入纸片之间的缝隙中。接着，控制吸盘102吸气。由于安装板101中部的吸盘102的底面位置较高，吸取纸片后会使得纸片中部较高、两侧较低；结合柔性毛刷105的作用，能够有效将表层纸片与下一纸片分开。
36.接着，控制气缸407上移，安装板101上的吸盘102一同带着所吸取的表层纸片上升，由于吸盘102的高度差以及柔性毛刷105的共同作用所形成的间隙，能够保证下一张纸片不再被吸起。
37.接着，控制电机401转动，带动滑块405及上下移动气缸407移动至右侧放纸位置，并控制吸盘102反向吹气，将纸片向下吹离。接着反向控制电机401转动，带动滑块405及上下移动气缸407移动至左侧，完成一次自动送纸动作。如此往复，能够实现稳定吸取单张纸片并将其从纸仓301输送到右侧放纸位置，提高了半导体料条电镀生产过程中添加纸片工序的效率。
38.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。