一种基片载板丝线张紧机构的制作方法

1.本实用新型涉及张紧机构，尤其涉及一种基片载板丝线张紧机构。


背景技术：

2.基片载板通常用于pecvd工序装载基片(如硅片)，以便于传送、加热、镀膜。现有一种基片载板，通过丝线在载板框中分割成若干网格状支撑结构以用来架设子载板，丝线至少有一端设有丝线张紧机构，使网格状支撑结构保持紧绷，避免防止在子载板上的基片因载板形变或丝线松弛而受到影响。
3.目前，有一种丝线张紧机构为丝线的一端穿过载板框并直接固定到滑块上，两根导杆通过螺纹连接与载板框固定，滑块套于导杆上，通过弹簧对滑块提供与钨丝拉力反向的弹力，实现对钨丝的张紧。但现有丝线张紧机构，滑块经常出现受力不均并发生倾斜，导致导杆间的摩擦力增大，容易发生滑块卡滞，严重时滑块卡死，从而造成丝线断裂，导致基片脱离载板而出现破碎。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种基片载板丝线张紧机构，通过优化滑块受力分布，避免滑块的卡滞现象，提高丝线使用寿命，减少基片损坏。
5.本实用新型的目的通过如下技术方案实现：
6.一种基片载板丝线张紧机构，它包括固定于载板框外侧边上且向外拉动张紧丝线的弹性滑动张紧单元、调整丝线使丝线外端部延伸方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行的导向单元；所述导向单元设于贯通载板框内外侧边的丝线穿孔中。
7.较之现有技术而言，本实用新型的优点在于：
8.通过导向单元调整丝线作用在滑块的拉力方向，使丝线拉力方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行，从而优化滑块受力分布，避免滑块的卡滞现象，提高丝线使用寿命，减少基片破片，且结构较为紧凑，方便装配及维修更换，提高生产效率，降低生产成本。
附图说明
9.图1为一种基片载板丝线张紧机构的应用状态示意图；
10.图2为一种基片载板丝线张紧机构的实施例结构示意图；
11.图3为图2的俯视图；
12.图4为图3的剖切示意图。
13.标号说明：
14.i、基片载板丝线张紧机构，1、载板框，1-1、丝线穿孔，2、导杆，3、压簧，4、滑块主体，5、固定板，6、导杆固定件，7-1、丝线支撑导轮，7-2、丝线调整导轮，8、金属丝，9、螺丝a，10、螺丝b，11、螺丝c。
具体实施方式
15.一种基片载板丝线张紧机构，其特征在于：它包括固定于载板框外侧边上且向外拉动张紧丝线的弹性滑动张紧单元、调整丝线使丝线外端部延伸方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行的导向单元；所述导向单元设于贯通载板框内外侧边的丝线穿孔中。
16.所述弹性滑动张紧单元包括固设于载板框侧边上的一对导杆、穿设于两导杆上且固定丝线端头的滑块以及保持滑块向外滑动趋势以张紧丝线的弹性件。
17.所述弹性件为分别套设于对应导杆内共同顶推滑块的一对压簧。
18.两导杆外端头之间连接固设有对两导杆中心距进行保持的导杆固定件。
19.所述导向单元包括固设于丝线穿孔内端对丝线在载板框内的水平位置进行固定的丝线支撑导轮或丝线支撑滚轴、以及固设于丝线穿孔外端对丝线进行调整使丝线外端部延伸方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行的丝线调整导轮或丝线调整滚轴。
20.下面结合说明书附图和实施例对本

技术实现要素：
进行详细说明：
21.如图1至图4所示为本实用新型提供的一种基片载板丝线张紧机构的实施例示意图。
22.一种基片载板丝线张紧机构，金属丝8从丝线支撑导轮7-1上穿过载板框1上的丝线穿孔1-1经过丝线调整导轮7-2，金属丝固定板5将金属丝8固定在滑块主体4上，压簧3套在导杆2，导杆2固定在载板框1上，导杆2外端安装导杆固定件6，导杆固定件6用来保证两根导杆2的中心距，弹性滑动张紧单元工作时压簧3施力于滑块主体4，滑块施力于金属丝8，使金属丝8紧绷，达到张紧的目的。金属丝8经过导向单元的导向，金属丝8的受力位置降低到导向单元的施力中心位置，受力均匀，保证导向单元不失效。在一优选方案中，在导向单元与滑块5的配合下，金属丝8对滑块5的拉力与两导杆2的轴线位于同一平面并相互平行。
23.弹性滑动张紧单元设计为可相对载板框1独立整体拆装的结构，方便整体拆装、替换。


技术特征：
1.一种基片载板丝线张紧机构，其特征在于：它包括固定于载板框外侧边上且向外拉动张紧丝线的弹性滑动张紧单元、调整丝线使丝线外端部延伸方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行的导向单元；所述导向单元设于贯通载板框内外侧边的丝线穿孔中；所述导向单元包括固设于丝线穿孔内端对丝线在载板框内的水平位置进行固定的丝线支撑导轮或丝线支撑滚轴、以及固设于丝线穿孔外端对丝线进行调整使丝线外端部延伸方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行的丝线调整导轮或丝线调整滚轴。2.根据权利要求1所述的基片载板丝线张紧机构，其特征在于：所述弹性滑动张紧单元包括固设于载板框侧边上的一对导杆、穿设于两导杆上且固定丝线端头的滑块以及保持滑块向外滑动趋势以张紧丝线的弹性件。3.根据权利要求2所述的基片载板丝线张紧机构，其特征在于：所述弹性件为分别套设于对应导杆内共同顶推滑块的一对压簧。4.根据权利要求2所述的基片载板丝线张紧机构，其特征在于：两导杆外端头之间连接固设有对两导杆中心距进行保持的导杆固定件。

技术总结
本实用新型涉及一种基片载板丝线张紧机构，它包括固定于载板框外侧边上且向外拉动张紧丝线的弹性滑动张紧单元、调整丝线使丝线外端部延伸方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行的导向单元；所述导向单元设于贯通载板框内外侧边的丝线穿孔中。本实用新型的目的在于提供一种基片载板丝线张紧机构，通过优化滑块受力分布，避免滑块的卡滞现象，提高丝线使用寿命，减少基片损坏。减少基片损坏。减少基片损坏。


技术研发人员：倪鹏玉 练小洪
受保护的技术使用者：福建金石能源有限公司
技术研发日：2021.11.30
技术公布日：2022/8/22