具有气泡检测能力的微型尺寸力传感器的制作方法

技术特征：
1.一种用于监测管内所容纳流体的气泡存在的系统，包括：力感测设备，所述力感测设备被配置为设置在基板的表面上；信号调节电路，所述信号调节电路被配置为设置在所述基板的表面上；壳体，所述壳体被配置为包封所述力感测设备和所述信号调节电路，并且其中，所述壳体限定孔，所述孔被配置为提供耦合接口；和致动器，所述致动器与所述力感测设备机械接触，并且被配置为提供从所述壳体外部的光源到所述力感测设备的光路。2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述力感测设备是感光的。3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述力感测设备包括压阻式力感测设备和微机电系统(mems)力感测设备中的至少一种。4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述信号调节电路被配置为电耦合到所述力感测设备，并且所述力感测设备的输出信号的处理至少部分地由所述信号调节电路执行，以确定输出信号是否满足光特征阈值要求。5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述孔的中心被配置为与所述力感测设备的中心对准。6.一种用于监测管内所容纳流体的气泡存在的方法，所述方法包括：力感测设备被配置为设置在基板的表面上；壳体被配置为包封所述力感测设备，并且其中，所述壳体限定孔，所述孔被配置为提供耦合接口；以及致动器与所述力感测设备机械接触，并且被配置为提供从所述壳体外部的光源到所述力感测设备的光路。7.根据权利要求6所述的方法，还包括：信号调节电路，所述信号调节电路被配置为电耦合到所述力感测设备，所述壳体还被配置为包封所述信号调节电路，并且所述力感测设备的输出信号的处理至少部分地由所述信号调节电路执行，以确定输出信号是否满足光特征阈值要求。8.根据权利要求6所述的方法，还包括：处理所述力感测设备的输出信号以确定输出信号是否满足光特征阈值要求，以及响应于确定所述输出信号满足所述光特征阈值要求，致使提供气泡警报。9.根据权利要求6所述的方法，还包括：处理所述力感测设备的输出信号以确定向所述力感测设备施加的机械力是否满足机械力阈值要求。10.根据权利要求9所述的方法，还包括：响应于确定所述输出信号或所述第一输出信号满足所述机械力阈值要求，致使提供堵塞警报。

技术总结
本发明题为“具有气泡检测能力的微型尺寸力传感器”。本发明提供了一种感光力传感器。示例性感光力传感器包括力感测设备，该力感测设备被配置为设置在基板的表面上；壳体，该壳体被配置为设置在该基板的表面的至少一部分上；和致动器，该致动器被配置为部分地设置在壳体内且部分地设置在由壳体限定的孔内。该壳体被配置为包封力感测设备。该孔被配置为提供耦合接口。该致动器与力感测设备机械接触。该致动器是刚体，其被配置为提供从壳体外部/之外的光源到力感测设备的光路。光源到力感测设备的光路。光源到力感测设备的光路。


技术研发人员：万永波
受保护的技术使用者：霍尼韦尔国际公司
技术研发日：2019.08.27
技术公布日：2022/8/22