一种亚微米贴片机及其使用方法与流程

1.本发明涉及贴片机技术领域，特别是一种亚微米贴片机及其使用方法。


背景技术：

2.亚微米贴片机，通常用于亚微米级别的芯片进行键合，现阶段的亚微米级芯片的贴片机多采用负压结构吸引芯片，而后通过热压焊接等多种形式进行贴片操作。
3.在现阶段的光学研究设备应用中，随着电子技术的进步，集成电路越做越小，因而亚微米贴片机也广泛应用于光研设备的生产中，在光研设备的生产中最常应用的两种芯片就是tx芯片以及dfb芯片，而亚微米贴片设备在光研设备的生产中多是对这两种芯片进行热键和加工的。
4.在现阶段的亚微米贴片机应用过程中，多采用放大视镜人工对芯片进行对准，而且通常只配备一个操作工位，因而操作效率较慢，同时由于微调节多采用螺纹的直接调节作用，因而调节过程中，动作幅度较大就会导致微调位置的错误，鉴于此，针对上述问题深入研究，遂有本案产生。


技术实现要素：

5.本发明的目的是为了解决上述问题，设计了一种亚微米贴片机及其使用方法，解决了现有的背景技术问题。
6.实现上述目的本发明的技术方案为：一种亚微米贴片机，包括外机壳、若干气瓶接口以及控制电源，所述外机壳的中线上开设有安装槽，所述安装槽上设置有若干气瓶接口，所述控制电源安装于外机壳的一侧，所述外机壳两侧对称设置有一对操作工位，一对所述操作工位上设置有一对对称的贴片机构；
7.所述贴片机构包括支撑台面，与支撑台面上部对应设置的吸嘴，所述支撑台面上设置有送料装置，所述支撑台面以及吸嘴上分别设置有多级减速微调结构；
8.所述多级减速微调结构包括：一对支撑座、滑动夹具、调节螺纹杆、第一伞齿轮、第二伞齿轮、转动轴、调节蜗轮以及调节蜗杆；
9.所述支撑台面上设置有一对支撑座，所述支撑台面上设置有滑动夹具，所述滑动夹具螺纹套设于调节螺纹杆上，一对所述支撑座上活动安装有调节螺纹杆，所述调节螺纹杆的端部与一对其中一个所述支撑座相对固定，所述调节螺纹杆的端部设置有第一伞齿轮，所述第一伞齿轮的一侧啮合连接有第二伞齿轮，所述第二伞齿轮上套设于转动轴的一端上，所述转动轴的另一端连接有调节蜗轮，所述调节蜗轮的底部连接有调节蜗杆与调节蜗轮啮合，所述调节蜗杆贯通支撑台面。
10.所述调节蜗杆的端部连接有调节旋钮，所述调节蜗杆的轴向与滑动夹具的运动方向平行。
11.所述外机壳的两侧分别开设有一对操作槽，所述操作槽分别与支撑台面连接。
12.所述滑动夹具的底面设置有一对平行的滑槽，所述支撑台面上设置有一对滑块与
一对所述滑槽匹配。
13.一对所述滑块与调节螺纹杆的轴心平行。
14.所述外机壳的中心轴线上开设有安装槽，若干所述气瓶接口上分别设置有一对分接口，若干所述气瓶结构上连接有若干充气气瓶。
15.一对所述分接口上分别连接于两侧的吸嘴上。
16.一对所述操作工位的内侧壁面上分别设置有一对活动的控制脚踏板。
17.一种亚微米贴片机的使用方法，，包括如下步骤：步骤s1、生产前检查，步骤s2、开机，步骤s3、混合气体初始化，步骤s4、dfb芯片对正，步骤s5、tx芯片对正，步骤s6、，步骤s7、；
18.步骤s1：检查设备的电源开关是否正常运行，使用前检查设备开关是否处于关闭状态，确认急停开关是否能够正常运行，设备有无异常状况，机器是否异响；
19.步骤s2：依次打开设备和电脑电源开关，双击软件图标，进入登录界面，选择模式，输入登录密码；
20.步骤s3：打开混合气体(氢氮气由充气气瓶提供)开关，点击初始化，使表里的指示值为2，等待设备初始化完成；
21.步骤s4：双手扶住控制台，踩下踏板将控制台移出；将dfb芯片用宽平口夹小心取下放到白色透明壳，夹侧面不要夹有波导的两边，绝缘镊子夹调整dfb芯片水平位置放置在控制台上，踩下控制台踏板移动控制台使红光对准dfb，呈反光状态松开踏板，红色点完全对准后，观察画面调整z轴把手，聚焦对准，使dfb芯片对准吸嘴中间圆圈，点击软件的吸嘴自动吸取模式，吸嘴头开始吸住dfb，此时操作设备将dfb芯片吸到吸嘴上，查看dfb芯片方向，三角在右边为正未在右边，则点击软件的吸嘴自动吸取模式，放下dfb，调整位置重新吸取；
22.步骤s5：双手扶住控制台，踩下控制台踏板将控制台移出；用宽平头镊子夹tx芯片，将tx放在控制台上并对准控制台上的十字小孔，踩下控制台踏板移动控制台使红光对准tx芯片后松开踏板；观察芯片画面调整z轴把手，使tx芯片清晰，点击软件上的底板锁住，使控制台吸住tx芯片；移动控制台的加热盖子，使盖子上的孔对准tx正中心；
23.步骤s6：调整吸头旋钮使dfb处于水平，参考辅助线选择7号线并调整位置，靠近dfb边缘，对准通道缺口并预留一点机台振动位移的空间；根据菜单栏objects调整x和y轴，使dfb对准相应辅助线，踩住踏板移动控制台使芯片与绿蓝辅助线更好的对准,右边红线对准通道，波导不要歪；右边蓝线对准4个 字圆圈蓝线要竖着重合；手动移动控制台，使tx芯片处于水平；参考已经与dfb对准的辅助线，先调整x轴，再调整y轴，使tx芯片和dfb芯片相互对准；
24.步骤s7：将控制台和吸嘴头的温度控制给关闭掉，取消芯片锁住按钮，把加热盖板给划开，使用绝缘尖嘴镊子取出贴好的芯片，将已贴好的芯片取出，贴上id标签按顺序存放进样品柜；此过程中，只能用绝缘镊子夹取芯片上下两侧，以免对芯片造成损伤，影响后续观测。
25.利用本发明的技术方案制作的该亚微米贴片机及其使用方法，贴片机采用对称的一对对称的贴片机构，采用双工位的方式进行操作，提高了贴片机的加工速率，为了提高微调的精度，采用多级减速微调结构，经过多级的减速，从而使调节的速度更慢，调节精确度
较高，使用简单且操作方便。
附图说明
26.图1为本发明所述一种亚微米贴片机及其使用方法的主视结构示意图。
27.图2为本发明所述一种亚微米贴片机及其使用方法的侧视结构示意图。
28.图3为本发明所述一种亚微米贴片机及其使用方法的俯视结构示意图。
29.图4为本发明所述一种亚微米贴片机及其使用方法的多级减速微调结构结构示意图。
30.图5为本发明所述一种亚微米贴片机及其使用方法的局部放大结构示意图。
31.图中：1、外机壳；2、气瓶接口；3、控制电源；4、支撑台面；5、吸嘴；6、送料装置；7、支撑座；8、滑动夹具；9、调节螺纹杆；10、第一伞齿轮；11、第二伞齿轮；12、转动轴；13、调节蜗轮；14、调节蜗杆；15、调节旋钮；16、滑块；17、充气气瓶；18、分接口；19、控制脚踏板。
具体实施方式
32.下面结合附图对本发明进行具体描述，如图1-5所示。
33.通过本领域人员，将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接，并且应该根据实际情况，选择合适的控制器，以满足控制需求，具体连接以及控制顺序，应参考下述工作原理中，各电气件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不在对电气控制做说明。
34.实施例：根据说明书附图1-5可知，本案为一种亚微米贴片机，包括外机壳1、若干气瓶接口2以及控制电源3，外机壳1的中线上开设有安装槽，安装槽上设置有若干气瓶接口2，控制电源3安装于外机壳1的一侧，外机壳1两侧对称设置有一对操作工位，一对操作工位上设置有一对对称的贴片机构，在具体实施过程中，通过外机壳1作为设备的主体支撑和安装平台，通过外机壳1两侧的一对操作工位作为双线操作的操作空间，生产气体通过若干气瓶接口2分别为两侧的贴片机构供气，控制电源3为一对贴片机构进行供电；
35.根据说明书附图1-5可知，上述贴片机构包括支撑台面4，与支撑台面4上部对应设置的吸嘴5，支撑台面4上设置有送料装置6，支撑台面4以及吸嘴5上分别设置有多级减速微调结构，支撑台面4作为加工工位的操作平台，通过送料装置6将芯片送到加工工位上，利用吸嘴5吸取上部的芯片，下部芯片通过支撑台面4上的；
36.根据说明书附图1-4可知，上述多级减速微调结构包括：一对支撑座7、滑动夹具8、调节螺纹杆9、第一伞齿轮10、第二伞齿轮11、转动轴12、调节蜗轮13以及调节蜗杆14，其连接关系以及位置关系如下；
37.支撑台面4上设置有一对支撑座7，支撑台面4上设置有滑动夹具8，滑动夹具8螺纹套设于调节螺纹杆9上，一对支撑座7上活动安装有调节螺纹杆9，调节螺纹杆9的端部与一对其中一个支撑座7相对固定，调节螺纹杆9的端部设置有第一伞齿轮10，第一伞齿轮10的一侧啮合连接有第二伞齿轮11，第二伞齿轮11上套设于转动轴12的一端上，转动轴12的另一端连接有调节蜗轮13，调节蜗轮13的底部连接有调节蜗杆14与调节蜗轮13啮合，调节蜗杆14贯通支撑台面4；
38.在具体实施过程中，滑动夹具8用于夹持底部的芯片，通过支撑台面4支撑滑动夹
具8，需要进行微调时，通过转动调节蜗杆14，使调节蜗杆14与与调节蜗轮13啮合，进而带动转动轴12转动，通过转动轴12传递扭矩给第二伞齿轮11，使第二伞齿轮11与第一伞齿轮10啮合，从而使第一伞齿轮10带动调节螺纹杆9转动，从而使调节螺纹杆9转动，使调节螺纹杆9与滑动夹具8啮合，从而使滑动夹具8发生直线位移，调节螺纹杆9通过一对支撑座7进行活动安装，相对的固定调节螺纹杆9的位置，并且使调节螺纹杆9可以在固定位置进行转动。
39.调节蜗杆14的端部连接有调节旋钮15，调节蜗杆14的轴向与滑动夹具8的运动方向平行，通过调节旋钮15作为调节蜗杆14的转动元件。
40.外机壳1的两侧分别开设有一对操作槽，操作槽分别与支撑台面4连接，操作槽与支撑台面4构成操作平台的围护。
41.滑动夹具8的底面设置有一对平行的滑槽，支撑台面4上设置有一对滑块16与一对滑槽匹配，限定滑动夹具8的滑动方向。
42.一对滑块16与调节螺纹杆9的轴心平行，使得滑动夹具8按照既定的方向滑动。
43.外机壳1的中心轴线上开设有安装槽，若干气瓶接口2上分别设置有一对分接口18，若干气瓶结构上连接有若干充气气瓶17，若干充气气瓶17内填充有氢氮气，通过一对分接口18分别为一对贴片机构供气。
44.一对分接口18上分别连接于两侧的吸嘴5上。
45.一对操作工位的内侧壁面上分别设置有一对活动的控制脚踏板19，用于控制吸头等的操作。
46.本案还公开了一种亚微米贴片机的使用方法，包括如下步骤：
47.步骤一：检查设备的电源开关是否正常运行，使用前检查设备开关是否处于关闭状态，确认急停开关是否能够正常运行，设备有无异常状况，机器是否异响；
48.步骤二：依次打开设备和电脑电源开关，双击软件图标，进入登录界面，选择模式，输入登录密码；
49.步骤三：打开混合气体(氢氮气由充气气瓶提供)开关，点击初始化，使表里的指示值为2，等待设备初始化完成；
50.步骤四：双手扶住控制台，踩下踏板将控制台移出；将dfb芯片用宽平口夹小心取下放到白色透明壳，夹侧面不要夹有波导的两边，绝缘镊子夹调整dfb芯片水平位置放置在控制台上，踩下控制台踏板移动控制台使红光对准dfb，呈反光状态松开踏板，红色点完全对准后，观察画面调整z轴把手，聚焦对准，使dfb芯片对准吸嘴中间圆圈，点击软件的吸嘴自动吸取模式，吸嘴头开始吸住dfb，此时操作设备将dfb芯片吸到吸嘴上，查看dfb芯片方向，三角在右边为正未在右边，则点击软件的吸嘴自动吸取模式，放下dfb，调整位置重新吸取；
51.步骤五：双手扶住控制台，踩下控制台踏板将控制台移出；用宽平头镊子夹tx芯片，将tx放在控制台上并对准控制台上的十字小孔，踩下控制台踏板移动控制台使红光对准tx芯片后松开踏板；观察芯片画面调整z轴把手，使tx芯片清晰，点击软件上的底板锁住，使控制台吸住tx芯片；移动控制台的加热盖子，使盖子上的孔对准tx正中心；
52.步骤六：调整吸头旋钮使dfb处于水平，参考辅助线选择7号线并调整位置，靠近dfb边缘，对准通道缺口并预留一点机台振动位移的空间；根据菜单栏objects调整x和y轴，使dfb对准相应辅助线，踩住踏板移动控制台使芯片与绿蓝辅助线更好的对准,右边红线对
准通道，波导不要歪；右边蓝线对准4个 字圆圈蓝线要竖着重合；手动移动控制台，使tx芯片处于水平；参考已经与dfb对准的辅助线，先调整x轴，再调整y轴，使tx芯片和dfb芯片相互对准；
53.步骤七：将控制台和吸嘴头的温度控制给关闭掉，取消芯片锁住按钮，把加热盖板给划开，使用绝缘尖嘴镊子取出贴好的芯片，将已贴好的芯片取出，贴上id标签按顺序存放进样品柜；此过程中，只能用绝缘镊子夹取芯片上下两侧，以免对芯片造成损伤，影响后续观测。
54.综上所述总体可知，该亚微米贴片机及其使用方法，贴片机采用对称的一对对称的贴片机构，采用双工位的方式进行操作，提高了贴片机的加工速率，为了提高微调的精度，采用多级减速微调结构，经过多级的减速，从而使调节的速度更慢，调节精确度较高，使用简单且操作方便。
55.上述技术方案仅体现了本发明技术方案的优选技术方案，本技术领域的技术人员对其中某些部分所可能做出的一些变动均体现了本发明的原理，属于本发明的保护范围之内。