技术特征：
1.一种在衬底上打印金属互连件的系统，其包含：阳极衬底；多个阳极，其布置于所述阳极衬底的一侧上，并且在所述多个阳极的相邻者之间具有第一预定间隙；第一多个流体孔，其具有位于所述多个阳极之间的一端；多个控制设备，其被配置为分别选择性供给电流至所述多个阳极，其中，所述阳极衬底被布置在包含金属种子层的工件衬底的第二预定间隙内，并且其中，所述第二预定间隙比所述第一预定间隙的比率在从0.5:1至1.5:1的范围内；以及阵列控制器，其被配置为在电解质溶液经由所述阳极衬底与所述工件衬底之间的所述第一多个流体孔供给时，使用所述多个控制设备中的相对应者以对所述多个阳极中的所选定者通电。2.根据权利要求1所述的系统，其中所述多个阳极包含惰性阳极，并且所述电解质溶液包含金属阳离子。3.根据权利要求1所述的系统，其中所述阳极衬底还包含第二多个流体孔，其位于所述多个阳极之间以移除在所述阳极衬底与所述工件衬底之间的所述电解质溶液。4.根据权利要求1所述的系统，其还包含电解质源，其中所述阳极衬底包含与所述电解质源流体连通的充气部。5.根据权利要求1所述的系统，其还包含歧管，所述歧管被布置成相邻于所述阳极衬底并且包含与电解质源流体连通的入口以及与所述第一多个流体孔流体连通的出口。6.根据权利要求1所述的系统，其还包含多个阀，所述多个阀被分别布置在所述第一多个流体孔中，其中所述多个阀被配置成选择性地控制所述第一多个流体孔中的电解质溶液的流动。7.根据权利要求6所述的系统，其中所述阵列控制器被配置成控制所述阀。8.根据权利要求1所述的系统，其还包含定位设备，其被配置成对所述工件衬底和所述阳极衬底中的至少一者的位置进行调整。9.根据权利要求8所述的系统，其中在所述金属互连件的打印期间，所述定位设备将所述工件衬底和所述阳极衬底中的所述至少一者移动。10.根据权利要求8所述的系统，其中所述阵列控制器被配置成：a)将第一金属互连件打印在所述工件衬底上；b)使所述定位设备相对于所述阳极衬底通过横向方式和竖直方式中的至少一者将所述工件衬底移动所述第二预定间隙；以及c)将第二金属互连件打印在所述工件衬底上。11.根据权利要求10所述的系统，其中所述阵列控制器被配置成将b)和c)重复一或多次。12.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一预定间隙是在0.1微米至100微米的范围内。13.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一预定间隙是在0.5微米至10微米的范围内。
14.根据权利要求6所述的系统，其还包含：多个阀，其分别关联于所述多个流体孔，其中，所述阵列控制器被配置成控制所述阀，以调整从被配置成与所述多个阳极中的每一者相邻的所述多个流体孔流动的流体的方向和模式中的至少一者。15.根据权利要求1所述的系统，其中所述多个控制设备选自由开关和熔断器所组成的群组。16.一种在衬底上打印金属互连件的方法，其包含：提供工件衬底，其包含一或多个下伏层、阻挡/粘附层和种子层；提供阳极衬底，其包含多个阳极以及第一多个孔，所述多个阳极布置在所述衬底的一侧上，所述第一多个孔具有在所述多个阳极之间的端部，其中所述多个阳极与所述多个阳极的相邻者间隔第一预定间隙；将所述阳极衬底布置在包含金属种子层的工件衬底的第二预定间隙内，并且其中所述第二预定间隙比所述第一预定间隙的比率在从0.5:1至1.5:1的范围内；以及在电解质溶液被经由在所述阳极衬底与所述工件衬底之间的所述第一多个流体孔供给的同时，给所述多个阳极中的所选定者通电。17.根据权利要求16所述的方法，其中所述多个阳极包含惰性阳极。18.根据权利要求16所述的方法，其还包含在所述多个阳极之间布置第二多个流体孔，以从所述阳极衬底与所述工件衬底之间移除所述电解质溶液。19.根据权利要求16所述的方法，其还包含将电解质溶液供给至所述阳极衬底中的充气部。20.根据权利要求16所述的方法，其还包含将歧管附接至所述阳极衬底，其中所述歧管的出口与所述第一多个流体孔流体连通。21.根据权利要求16所述的方法，其还包含使用多个阀以控制所述第一多个流体孔中的流动。22.根据权利要求16所述的方法，其还包含在将所述多个阳极中的所选定者通电之后，调整所述工件衬底和所述阳极衬底中的至少一者的位置。23.根据权利要求22所述的方法，其包含：a)将第一金属互连件打印在所述工件衬底上；b)相对于所述阳极衬底通过横向方式和竖直方式中的至少一者移动所述工件衬底；以及c)将第二金属互连件打印在所述工件衬底上。24.根据权利要求23所述的方法，其还包含将b)及c)重复一或多次。25.根据权利要求16所述的方法，其中所述第一预定间隙是在0.1微米至100微米的范围内。26.根据权利要求16所述的方法，其中所述第一预定间隙是在0.5微米至10微米的范围内。27.根据权利要求17所述的方法，其还包含：使用多个阀分别控制所述第一多个流体孔中的流体流动；以及控制所述阀，以调整从被配置成与所述多个阳极中的每一者相邻的所述第一多个流体
孔流动的流体的方向和模式中的至少一者。28.根据权利要求16所述的方法，其还包含在所述金属互连件的打印期间，将所述工件衬底和所述阳极衬底中的至少一者的位置进行调整。29.一种在衬底上打印金属互连件的方法，其包含：提供工件衬底，其包含一或多个下伏层、阻挡/粘附层和种子层；提供阳极衬底，其包含多个阳极，所述多个阳极布置在所述衬底的一侧上，其中所述多个阳极与所述多个阳极的相邻者间隔第一预定间隙；将所述阳极衬底布置在包含金属种子层的工件衬底的第二预定间隙内，并且其中所述第二预定间隙比所述第一预定间隙的比率在从0.5:1至1.5:1的范围内；在电解质溶液被供给在所述阳极衬底与所述工件衬底之间的同时，给所述多个阳极中的所选定者通电；将所述阳极衬底与所述工件衬底分离；将所述阳极衬底布置在所述工件衬底的所述第二预定间隙内；以及在所述电解质溶液被供给在所述阳极衬底与所述工件衬底之间的同时，将所述多个阳极的所选定者通电。30.根据权利要求29所述的方法，其还包含在将所述阳极衬底与所述工件衬底分离之后搅拌所述电解质溶液。31.根据权利要求29所述的方法，其还包含在搅拌所述电解质溶液之后，将所述阳极衬底布置在所述工件衬底的所述第二预定间隙内。32.根据权利要求29所述的方法，其中所述多个阳极包含惰性阳极。33.根据权利要求29所述的方法，其还包含将电解质溶液供给在所述阳极衬底的边缘与所述工件衬底的边缘之间。34.根据权利要求29所述的方法，其还包含调整所述工件衬底和所述阳极衬底中的至少一者的位置。35.根据权利要求34所述的方法，其还包含：a)将第一金属互连件打印在所述工件衬底上；b)相对于所述阳极衬底通过横向方式和竖直方式中的至少一者移动所述工件衬底；以及c)将第二金属互连件打印在所述工件衬底上。36.根据权利要求35所述的方法，其还包含将b)和c)重复一或多次。37.根据权利要求29所述的方法，其中所述第一预定间隙是在0.1微米至100微米的范围内。38.根据权利要求29所述的方法，其中所述第一预定间隙是在0.5微米至10微米的范围内。39.根据权利要求29所述的方法，其还包含在所述金属互连件的打印期间，调整所述工件衬底与所述阳极衬底中的至少一者的位置。
技术总结
一种在衬底上打印金属互连件的系统包含阳极衬底。多个阳极被布置于所述阳极衬底的一侧上，其中在所述多个阳极的相邻者之间具有第一预定间隙。第一多个流体孔具有位于所述多个阳极之间的一端。多个控制设备被配置为分别选择性供给电流至所述多个阳极。所述阳极衬底被布置在包含金属种子层的工件衬底的第二预定间隙内。所述第二预定间隙比所述第一预定间隙的比率在从0.5:1至1.5:1的范围内。阵列控制器被配置为在电解质溶液经由所述阳极衬底与所述工件衬底之间的所述第一多个流体孔供给时，使用所述多个控制设备中的相对应者以对所述多个阳极中的所选定者通电。多个阳极中的所选定者通电。多个阳极中的所选定者通电。
技术研发人员：史蒂文
受保护的技术使用者：朗姆研究公司
技术研发日：2021.01.08
技术公布日：2022/8/19
再多了解一些
本文用于企业家、创业者技术爱好者查询，结果仅供参考。
