防止气体泄漏冷却箱及气体泄漏感知系统的制作方法

1.本发明涉及一种半导体或类似产品的制造装备，尤其涉及防止气体泄漏冷却箱及气体泄漏感知系统，其可以安全地进行保护，防止具有各种化学性质的气体从管道的连接部泄漏。


背景技术：

2.通常，半导体制造工艺大致包括前工艺(制造工艺)和后工艺(组装工艺)，所谓的前工艺是指在各种处理室(chamber)内将薄膜蒸镀在晶片(wafer)上，反复地进行将蒸镀的薄膜有选择地蚀刻的过程，从而加工特定的图案，即制造半导体芯片(chip)的工艺，所谓的后工艺是指将在上述前工艺中制造的芯片逐个分离后，与引线框架结合并组装成完成品的工艺。
3.在半导体制造工艺中通过管道移送高温高压的气体，在此也伴随着具有各种化学性质的粉末。因此，移送气体时进行控制使得在管道之间的连接部位不发生泄漏非常重要。
4.因此，在两侧管道的法兰之间安装o型环，挤压的同时防止泄漏。但是，现有的管道连接部件在中心环的两侧面和管道的法兰之间产生小缝隙的同时形成涡流，由此通过缝隙产生压力差的同时，气体达到o型环并与之接触。因此，o型环被具有化学性质的高温气体腐蚀或氧化、碳化而损坏的同时，最终导致发生泄漏的致命问题。
5.先行技术文献
6.专利文件
7.(专利文献1)韩国公开专利公报第2019-0058968号(2019.05.30)


技术实现要素：

8.本发明是为了解决如上所述的现有的所有问题而提出的，本发明的目的在于提供一种防止气体泄漏冷却箱及气体泄漏感知系统，其可以安全地进行保护，防止具有各种化学性质的气体从管道的连接部泄漏。
9.为了实现所述目的，根据本发明的技术思想的防止气体泄漏冷却箱设置于第一管道和第二管道的连接部，可以防止气体泄漏，第一管道和第二管道是在制造包括半导体产品在内的产品群中任意一个产品时使用或为了移送在制造包括半导体产品在内的产品群中任意一个产品时所使用的气体而相互连接，所述防止气体泄漏冷却箱的技术构成上的特征在于，包括：本体外壳，其包括第一半本体和第二半本体，中央部设置有内部腔室，第一管道和第二管道的连接部法兰位于内部腔室，在内部腔室的前侧和后侧设置有管道安装孔，以法兰为中心相连接的管道位于管道安装孔，第一半本体和第二半本体以中间设置有第一管道和第二管道的连接部法兰的形式相互面对面结合，从而支撑于第一管道和第二管道的连接部；以及冷却扇，其设置于本体外壳的第一半本体，用于向内部腔室供给外部空气。
10.在此特征在于，在本体外壳的内部腔室还形成有以比内部腔室更窄的空间隔开并收容第一管道和第二管道的连接部法兰的收容盒，即使气体从第一管道和第二管道的连接
部泄漏，也能进行阻断，使气体不向内部腔室泄漏，收容盒沿着第一半本体和第二半本体被一分为二为两个半本体，从而当第一半本体和第二半本体面对面结合时，收容盒的半本体也以第一管道和第二管道的连接部法兰为中心面对面结合，在本体外壳的第一半本体和第二半本体分别形成有和内部腔室连通的空气流通孔，从而通过冷却扇使得外部空气供给至内部腔室并和收容盒进行热交换后排出。
11.另外特征在于，本体外壳的第一半本体和第二半本体的一端部相互铰链结合，从而第一半本体和第二半本体以铰链轴为中心旋转并开闭的同时，可以使得第一管道和第二管道的连接部啮合。
12.另外特征在于，防止气体泄漏冷却箱还包括：中心环模块，其包括中心环和o型环，中心环位于在第一管道和第二管道的法兰周围部内侧形成的凹槽，o型环沿着中心环的外周面安装，被挤压至法兰周围部之间，防止气体泄漏；以及夹具，其从外侧夹紧第一管道和第二管道的连接部法兰，第一管道和第二管道的连接部法兰中间设置有o型环并对o型环进行挤压。
13.另外特征在于，中心环模块还包括：一对密封环，其以沿中心环的外周面两边棱角部凸出的形态设置，被挤压至法兰的凹槽。
14.另外特征在于，在本体外壳还设置有气体感知传感器，气体感知传感器对从第一管道和第二管道的连接部泄漏的气体进行感知。
15.另外特征在于，在本体外壳的外部还设置有端口，端口设置为凸出形态，和收容盒连通，对从第一管道和第二管道的连接部泄漏的气体进行引导，并且结合有透明盖，透明盖切断通过端口引导的气体的外部泄漏，在透明盖内侧面设置有和气体接触而变色的气体感知胶带作为气体感知传感器。
16.另外特征在于，端口在本体外壳分别以凸出的形态设置于位于相对侧的多个外壁，透明盖和气体感知胶带均设置于各个端口。
17.另外，根据本发明的气体泄漏感知系统的技术构成上的特征在于，包括：前述的防止气体泄漏冷却箱；控制器，如果气体感知传感器感知到气体泄漏，则控制器对气体泄漏进行识别并通报；以及警报器，其接收从控制器传递的控制信号并发出气体泄漏警报。
18.根据本发明的防止气体泄漏冷却箱及气体泄漏感知系统使用外部空气对管道的连接部进行冷却，从而使得o型环容易在高温下硬化及损坏的问题最小化，可以安全地进行保护，防止具有各种化学性质的气体从管道的连接部泄漏。
19.另外，本发明开放本体外壳的内部腔室而可以丰富地供给冷却用外部空气的同时，通过具有比内部腔室小的大小的收容盒隔离开管道的连接部并收容，因此，即使气体从管道的连接部泄漏，也可以进行切断，使得气体不向外部泄漏，并能够更加迅速地感知从管道的连接部泄漏的气体。
20.另外，本发明通过在中心环模块设置有o型环和中心环的构成，从而双重安全地切断气体从管道的连接部泄漏，此外通过设置于本体外壳内部的收容盒可以三重切断气体的泄漏。
附图说明
21.图1及图2是根据本发明的实施例的防止气体泄漏冷却箱的立体图。
22.图3是根据本发明的实施例的防止气体泄漏冷却箱的侧面图。
23.图4是根据图3的a-a的截面图。
24.图5是根据本发明的实施例的防止气体泄漏冷却箱的打开状态的立体图。
25.图6是在根据本发明的实施例的防止气体泄漏冷却箱的打开状态下安装有连接的第一管道和第二管道的状态的立体图。
26.图7是用于说明根据本发明的实施例的防止气体泄漏冷却箱中中心环模块及夹具的组装图。
27.图8是用于说明根据本发明的实施例的防止气体泄漏冷却箱中中心环模块的构成的纵截面图。
28.图9是用于说明根据本发明的变形实施例的防止气体泄漏冷却箱的参考图。
29.标号说明
30.110：本体外壳
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
120：冷却扇模块
31.130：气体感知传感器
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
140：收容盒
32.150：中心环模块
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
160：夹具
具体实施方式
33.参照附图对根据本发明的实施例的防止气体泄漏冷却箱进行详细说明。本发明可进行多种变更并具有各种各样的形态，将特定实施例在图中例示并欲在本文详细地进行说明。但是，这并不是要将本发明限定于特定的公开形态，应理解为将包括在本发明的思想及技术范围内的所有变更、均等物乃至代替物都包括在内。说明各附图的同时，对于类似的构成要素使用了类似的参照标号。就附图而言，为了确保本发明的明确性而比实际放大了结构物的尺寸而示出，或为了理解概略构成而比实际缩小了结构物的尺寸而示出。
34.此外，第一及第二等术语可在说明多种构成要素时使用，但所述构成要素不受所述术语的限制。所述术语仅仅作为将一个构成要素与其他的构成要素区别开来的目的而使用。例如，在不脱离本发明的权利范围的同时，第一构成要素可被命名为第二构成要素，类似地，第二构成要素也可被命名为第一构成要素。另外，如果没有其他的定义，在此使用的包括技术术语或科学术语在内的所有术语具有和在本发明所属的技术领域内具备一般知识的人员通常理解的含义相同的含义。和通常使用的字典中所定义的含义相同的术语应解释为，具有与相关技术的文脉上具备的含义相一致的含义，如果本技术中没有明确地定义，则不应理想地或过度地解释为形式性的含义。
35.《实施例》
36.图1及图2是根据本发明的实施例的防止气体泄漏冷却箱的立体图，图3是根据本发明的实施例的防止气体泄漏冷却箱的侧面图，图4是根据图3的a-a的截面图，图5是根据本发明的实施例的防止气体泄漏冷却箱的打开状态的立体图，图6是在根据本发明的实施例的防止气体泄漏冷却箱的打开状态下安装有连接的第一管道和第二管道的状态的立体图。
37.如附图所示，根据本发明的实施例的防止气体泄漏冷却箱，在制造包括半导体产品在内的产品群中任意一个产品时使用或为了移送在制造包括半导体产品在内的产品群中任意一个产品时所使用的气体，在第一管道p1和第二管道p2的连接部以包裹法兰f1、f2
的形态设置，所述防止气体泄漏冷却箱的主要构成要素包括：本体外壳110，其设置于第一管道p1和第二管道p2的连接部并得到支撑；冷却扇模块120，其用于冷却第一管道p1和第二管道p2的连接部；传感器模块130，其用于对从第一管道p1和第二管道p2的连接部泄漏的气体进行感知；中心环模块150及夹具160，其用于密封第一管道p1和第二管道p2的连接部。
38.根据本发明的实施例的防止气体泄漏冷却箱构成为，通过上述的构成要素安全地进行保护，防止具有各种化学性质的气体从第一管道p1和第二管道p2的连接部泄漏，同时，即使气体泄漏也可以迅速地感知气体泄漏。
39.下面，以上述各构成要素为中心对根据本发明的实施例的防止气体泄漏冷却箱进行详细说明。
40.如图所示，本体外壳110具有四角的箱子形状的外形，中央部设置有内部腔室111，第一管道p1和第二管道p2的连接部法兰f1、f2位于内部腔室，在内部腔室111的前侧和后侧设置有管道安装孔112，以法兰f1、f2为中心相连接的管道位于管道安装孔112。优选地，如图所示，管道安装孔112形成为在第一半本体110a和第二半本体110b得到分割的半圆形的形态，设置有用于形成与第一管道p1和第二管道p2相对应的孔的分割形态的连接器113。
41.这里，就本体外壳110而言，一端部铰链结合的第一半本体110a和第二半本体110b相互面对面构成，在另一端部设置有一对钩扣铰链115，从而可以使得第一半本体110a和第二半本体110b在关闭的状态下紧固连接。由此，第一半本体110a和第二半本体110b不完全分离，以铰链轴114为中心开闭的同时结合及解除结合。通过上述构成可以将本发明的防止气体泄漏冷却箱简单地设置为使得第一管道p1和第二管道p2的连接部法兰f1、f2啮合的形态。在本体外壳110的第一半本体110a和第二半本体110b分别形成有和内部腔室111连通的空气流通孔111a，从而通过冷却扇121使得外部空气供给至内部腔室111并和收容盒140进行热交换后排出。
42.此外，在本体外壳110的内部腔室111还形成有以比内部腔室111更窄的空间隔开并具有收容第一管道p1和第二管道p2的连接部法兰f1、f2的收容空间140a的收容盒140。收容盒140防止从第一管道p1和第二管道p2的连接部泄漏的气体通过空气流通孔111a向开放的内部腔室111泄漏，引导通过端口116移动并与气体感知传感器接触。如此，通过在本体外壳110的内部腔室111设置收容盒140的构成，气体从第一管道p1和第二管道p2的连接部泄漏的情况，不在具有相对较宽的空间的内部腔室111扩散，而只限于在更窄的空间，即收容盒140的收容空间140a扩散。由此，即使泄漏相同量的气体，气体感知传感器也能够接触更高浓度的气体并迅速地感知。在此，端口116作为管形状的部件，以凸出的形态设置于本体外壳110的外壁并和收容盒140的收容空间140a相连通。在端口116设置有包括气体感知传感器的传感器模块130。
43.收容盒140沿着第一半本体110a和第二半本体110b被一分为二为两个半本体141，从而当第一半本体110a和第二半本体110b面对面结合时，收容盒140的半本体141也以第一管道p1和第二管道p2的连接部法兰f1、f2为中心面对面结合。在一对收容盒140的半本体141相面对的线上形成有供管道安放的管道安放部141a，从而当一对半本体141面对面时形成圆形的孔，沿着相面对的线设置有密封圈142，使得气体不向收容盒140泄漏。
44.冷却扇模块120设置于本体外壳110的第一半本体110a的外侧面，发挥通过本体外壳110的空气流通孔111a向内部腔室111供给外部空气的作用。冷却扇模块120结合于第一
半本体110a的外侧面，包括扇外壳122和冷却扇121，扇外壳122具有用于空气进出的开口部122a，冷却扇121设置于扇外壳122内部。根据所述构成，如图4所示，通过冷却扇121的旋转使得新鲜的外部空气通过空气流通孔111a供给至内部腔室111的同时，使得位于内部腔室111的第一管道p1和第二管道p2的连接部有效地冷却。从而可以使得设置于第一管道p1和第二管道p2的连接部法兰f1、f2之间的中心环模块150的o型环152和密封环153容易因高温而硬化或腐蚀的问题最小化。
45.传感器模块130对从第一管道p1和第二管道p2的连接部泄漏的气体进行感知，从而有助于管理人员或工作人员可以迅速识别到气体泄漏。为此，如图3、图5及图6所示，传感器模块130包括透明盖131和气体感知胶带132。传感器模块130的透明盖131和以凸出的形态设置于本体外壳110的外壁的端口116结合。气体感知胶带132粘贴于透明盖131的内侧面，具有若和泄漏的气体接触则变色的性质。所述的气体感知胶带132可以购买使用在市场上销售的产品。根据所述的传感器模块130的构成，如果气体从第一管道p1和第二管道p2的连接部泄漏，则泄漏的气体在收容有连接部法兰f1、f2的收容盒140扩散的同时，通过端口116引导气体到达透明盖131内部，立即和气体感知胶带132接触。如此，气体感知胶带132变色的同时，管理人员可以用肉眼容易识别。
46.在上述的传感器模块130的构成中值得注意的是，在本体外壳110的外侧以凸出的形态设置端口116，从而对从本体外壳110内部泄漏的气体进行引导，在向本体外壳110的外侧凸出的端口116设置有粘贴了气体感知胶带132的状态的透明盖131，从而如果向本体外壳110的外侧凸出而不完全相对侧，则使得气体感知胶带132位于从大部分方向可以很好地观察到的地点。
47.关于所述传感器模块130的构成，作为更优选的形态，如图9所示，可以将端口116和传感器模块130构成为，通过分别设置于本体外壳110的相对侧两边的变形的形态，管理人员或工作人员无论位于哪个方向，与方向无关，均可以容易用肉眼确认气体泄漏。
48.如此，如果本发明的防止气体泄漏冷却箱设置有气体感知传感器，则和防止气体泄漏冷却箱一起，可以额外追加控制器和警报器而实现气体泄漏感知系统，其中，如果气体感知传感器感知到气体泄漏，则控制器对气体泄漏进行识别并通报，警报器接收从控制器传递的控制信号并发出气体泄漏警报。
49.中心环模块150起到密封缝隙的作用，以便防止气体泄漏至在第一管道p1和第二管道p2的连接部面对面结合的法兰f1、f2之间。为此，如图8所示，中心环模块150包括中心环151、o型环152、密封环153。中心环151是位于在第一管道p1和第二管道p2的法兰f1、f2周围部内侧形成的凹槽f3的环形态的框架部件。如图8所示，在中心环的外周面形成有安放槽151b，以便稳定地安装o型环。o型环152沿着中心环151的外周面安装，被挤压至法兰f1、f2周围部之间，切断气体的泄漏。密封环153设置有一对，以沿中心环151的外周面两边棱角部凸出的形态设置，被挤压至法兰f1、f2的凹槽f3。在所述中心环模块150的构成中值得注意的是，和现有技术不同，增加设置一对密封环153，从而和o型环152一起双重切断气体泄漏。而且，优点在于，o型环152和密封环153通过借助冷却扇121供给至内部腔室111的外部空气的帮助持续冷却的同时，使得因高温的影响导致的硬化及损坏问题最小化，从而更加稳定地切断气体泄漏。
50.如图4、图6及图7所示，夹具160从外侧夹紧第一管道p1和第二管道p2的连接部法
兰f1、f2,第一管道p1和第二管道p2的连接部法兰f1、f2中间设置有o型环152并对o型环152进行挤压，从而使得o型环152可以持续保持在法兰f1、f2之间被挤压的状态。这里，如图4的放大部所示，在夹具160的内周面可以额外设置从对面进行支撑的支撑部件161，以便o型环152稳定地位于中心环150的安放槽151b。
51.以上，对本发明的优选实施例进行了说明，但是本发明可以使用多样的变化和变更及均等物。本发明可以将实施例适当地变形并相同地应用，这是毋庸置疑的。因此，上述记载内容不限定通过下面权利要求书的界限而确定的本发明的范围。