防止气体泄漏冷却箱及气体泄漏感知系统的制作方法

技术特征：
1.一种防止气体泄漏冷却箱，其设置于第一管道和第二管道的连接部，防止气体泄漏，第一管道和第二管道是在制造包括半导体产品在内的产品群中任意一个产品时使用或为了移送在制造包括半导体产品在内的产品群中任意一个产品时所使用的气体而相互连接，所述防止气体泄漏冷却箱的特征在于，包括：本体外壳，其包括第一半本体和第二半本体，中央部设置有内部腔室，第一管道和第二管道的连接部法兰位于内部腔室，在内部腔室的前侧和后侧设置有管道安装孔，以法兰为中心相连接的管道位于管道安装孔，第一半本体和第二半本体以中间设置有第一管道和第二管道的连接部法兰的形式相互面对面结合，从而支撑于第一管道和第二管道的连接部；以及冷却扇，其设置于本体外壳的第一半本体，用于向内部腔室供给外部空气。2.根据权利要求1所述的防止气体泄漏冷却箱，其特征在于，在本体外壳的内部腔室还形成有以比内部腔室更窄的空间隔开并收容第一管道和第二管道的连接部法兰的收容盒，即使气体从第一管道和第二管道的连接部泄漏，也能进行切断，使气体不向内部腔室泄漏，收容盒沿着第一半本体和第二半本体被一分为二为两个半本体，从而当第一半本体和第二半本体面对面结合时，收容盒的半本体也以第一管道和第二管道的连接部法兰为中心面对面结合，在本体外壳的第一半本体和第二半本体分别形成有和内部腔室连通的空气流通孔，从而通过冷却扇使得外部空气供给至内部腔室并和收容盒进行热交换后排出。3.根据权利要求2所述的防止气体泄漏冷却箱，其特征在于，本体外壳的第一半本体和第二半本体的一端部相互铰链结合，从而第一半本体和第二半本体以铰链轴为中心旋转并开闭的同时，使得第一管道和第二管道的连接部啮合。4.根据权利要求2所述的防止气体泄漏冷却箱，其特征在于，还包括：中心环模块，其包括中心环和o型环，中心环位于在第一管道和第二管道的法兰周围部内侧形成的凹槽，o型环沿着中心环的外周面安装，被挤压至法兰周围部之间，防止气体泄漏；以及夹具，其从外侧夹紧第一管道和第二管道的连接部法兰，第一管道和第二管道的连接部法兰中间设置有o型环并对o型环进行挤压。5.根据权利要求4所述的防止气体泄漏冷却箱，其特征在于，中心环模块还包括：一对密封环，其以沿中心环的外周面两边棱角部凸出的形态设置，被挤压至法兰的凹槽。6.根据权利要求2所述的防止气体泄漏冷却箱，其特征在于，在本体外壳还设置有气体感知传感器，气体感知传感器对从第一管道和第二管道的连接部泄漏的气体进行感知。7.根据权利要求6所述的防止气体泄漏冷却箱，其特征在于，在本体外壳的外壁还设置有端口，端口设置为凸出形态，和收容盒连通，对从第一管道和第二管道的连接部泄漏的气体进行引导，并且结合有透明盖，透明盖切断通过端口引导的气体的外部泄漏，在透明盖内侧面设置有和气体接触而变色的气体感知胶带作为气体感知传感器。8.根据权利要求7所述的防止气体泄漏冷却箱，其特征在于，
端口在本体外壳分别以凸出的形态设置于位于相对侧的多个外壁，透明盖和气体感知胶带均设置于各个端口。9.一种气体泄漏感知系统，其特征在于，包括：权利要求6至8中任意一项所述的防止气体泄漏冷却箱；控制器，如果气体感知传感器感知到气体泄漏，则控制器对气体泄漏进行识别并通报；以及警报器，其接收从控制器传递的控制信号并发出气体泄漏警报。

技术总结
本发明涉及一种防止气体泄漏冷却箱及气体泄漏感知系统，其可以安全地进行保护，防止具有各种化学性质的气体从管道的连接部泄漏。本发明的特征在于，包括：本体外壳，其包括第一半本体和第二半本体，中央部设置有内部腔室，第一管道和第二管道的连接部法兰位于内部腔室，在内部腔室的前侧和后侧设置有管道安装孔，以法兰为中心相连接的管道位于管道安装孔，第一半本体和第二半本体以中间设置有第一管道和第二管道的连接部法兰的形式相互面对面结合，从而支撑于第一管道和第二管道的连接部；以及冷却扇，其设置于本体外壳的第一半本体，用于向内部腔室供给外部空气。用于向内部腔室供给外部空气。用于向内部腔室供给外部空气。


技术研发人员：李承龙
受保护的技术使用者：赞解株式会社
技术研发日：2021.02.08
技术公布日：2022/8/16