一种单晶硅片清洗用快速干燥装置的制作方法

1.本实用新型涉及单晶硅干燥装置技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种单晶硅片清洗用快速干燥装置。


背景技术：

2.单晶硅片是硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，在单晶硅片生产过程中需要对硅片进行物理和化学清洗，将单晶硅片放置在不同的溶剂中进行清洗。
3.目前在对清洗过后的单晶硅片进行干燥时，一般直接对单晶硅片表面吹热气流，从而使单晶硅片快速干燥，然而实际干燥过程中，由于热气流一直对着单晶硅表面吹出，可能会导致单晶硅片表面局部温度过高，从而导致单晶硅片发生损坏。


技术实现要素：

4.为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种单晶硅片清洗用快速干燥装置，通过设置干燥防灼烧机构，防止热气流一直对着同一位置吹气导致单晶硅片表面温度过高融化，提高对单晶硅片干燥时的保护效果，防止干燥过程中单晶硅片局部温度过高而导致损坏，在快速干燥的同时，提供对单晶硅片的保护，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片清洗用快速干燥装置，包括干燥台，所述干燥台顶部设置有支撑板，所述支撑板顶部设置有顶板，所述顶板底部设置有干燥防灼烧机构；
6.所述干燥防灼烧机构包括螺纹杆，所述螺纹杆一端设置有电机，所述电机外侧设置有第一固定壳，所述螺纹杆外侧设置有螺纹套，所述螺纹套底部设置有移动板，所述移动板底部设置有出风管，所述出风管内部设置有电加热丝，所述出风管顶部设置有伸缩管，所述伸缩管顶部设置有热风机，所述出风管底部设置有下网板，所述下网板顶部设置有上网板，所述下网板顶部表面和上网板底部表面均开设有固定槽，所述下网板和上网板内部均设置有固定杆，所述固定杆外侧套设有弹簧，所述固定杆顶部设置有固定板。
7.在一个优选地实施方式中，所述螺纹杆设置在支撑板一侧，所述螺纹杆一端贯穿支撑板并延伸至支撑板一侧，所述螺纹杆设置在电机输出端，所述第一固定壳一侧与支撑板固定连接。
8.在一个优选地实施方式中，所述伸缩管顶部依次贯穿移动板和顶板并延伸至顶板顶部，所述螺纹杆与螺纹套螺纹连接。
9.在一个优选地实施方式中，所述弹簧顶部与固定板底部固定连接，所述弹簧底部与上网板顶部固定连接，所述上网板与固定杆之间滑动连接。
10.在一个优选地实施方式中，所述下网板两侧均设置连接杆，所述连接杆一端贯穿支撑板并延伸至支撑板一侧，所述支撑板一侧设置有第二固定壳，所述第二固定壳内壁安装有步进电机，所述连接杆设置在步进电机输出端。
11.在一个优选地实施方式中，所述干燥台底部设置有支撑柱，所述螺纹杆外侧均设置有限位板，所述螺纹套顶部设置有限位杆，所述顶板底部表面开设有限位滑槽，所述限位滑槽与限位杆滑动连接。
12.本实用新型的技术效果和优点：
13.1、通过设置干燥防灼烧机构，拉动上网板，随后将单晶硅片放入固定槽中，随后松开上网板，弹簧的回弹力会使上网板回弹，从而使单晶硅片夹在下网板和上网板之间，电机使出风管来回移动，热风机使热气流通过伸缩管进入到出风管中，再通过电加热丝加热后吹入到单晶硅片表面，形成快速干燥，同时通过控制电机的正转和反转，从而使出风管对单晶硅片来回吹，与现有技术相比，防止热气流一直对着同一位置吹气导致单晶硅片表面温度过高融化，提高对单晶硅片干燥时的保护效果，防止干燥过程中单晶硅片局部温度过高而导致损坏，在快速干燥的同时，提供对单晶硅片的保护；
14.2、通过步进电机带动连接杆转动，从而使下网板和上网板一起旋转，进而带动下网板和上网板之间单晶硅片旋转，能够对单晶硅片两面进行快速干燥，提高了干燥效率，同时单晶硅片干燥更加全面，提高干燥效果，同时限位杆在限位滑槽表面滑动，可以防止螺纹套旋转，对螺纹套起到限位作用。
附图说明
15.图1为本实用新型的整体结构示意图。
16.图2为本实用新型的下网板立体结构示意图。
17.图3为本实用新型的图1中a处放大结构示意图。
18.图4为本实用新型的图1中b处放大结构示意图。
19.附图标记为：1、干燥台；2、支撑板；3、顶板；4、螺纹杆；5、电机； 6、第一固定壳；7、螺纹套；8、移动板；9、出风管；10、电加热丝；11、伸缩管；12、热风机；13、下网板；14、上网板；15、固定槽；16、固定杆； 17、弹簧；18、固定板；19、连接杆；20、步进电机；21、第二固定壳；22、支撑柱；23、限位板；24、限位杆；25、限位滑槽。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.如附图1-4所示的一种单晶硅片清洗用快速干燥装置，包括干燥台1，干燥台1顶部设置有支撑板2，支撑板2顶部设置有顶板3，顶板3底部设置有干燥防灼烧机构；
22.干燥防灼烧机构包括螺纹杆4，螺纹杆4一端设置有电机5，电机5外侧设置有第一固定壳6，螺纹杆4外侧设置有螺纹套7，螺纹套7底部设置有移动板8，移动板8底部设置有出风管9，出风管9内部设置有电加热丝10，出风管9顶部设置有伸缩管11，伸缩管11顶部设置
有热风机12，出风管9底部设置有下网板13，下网板13顶部设置有上网板14，下网板13顶部表面和上网板14底部表面均开设有固定槽15，下网板13和上网板14内部均设置有固定杆16，固定杆16外侧套设有弹簧17，固定杆16顶部设置有固定板18。
23.如附图1-4所示，螺纹杆4设置在支撑板2一侧，螺纹杆4一端贯穿支撑板2并延伸至支撑板2一侧，螺纹杆4设置在电机5输出端，第一固定壳6 一侧与支撑板2固定连接，伸缩管11顶部依次贯穿移动板8和顶板3并延伸至顶板3顶部，螺纹杆4与螺纹套7螺纹连接，弹簧17顶部与固定板18底部固定连接，弹簧17底部与上网板14顶部固定连接，上网板14与固定杆16 之间滑动连接，提高单晶硅片的干燥效果，同时使出风管9可以来回移动。
24.如附图1、4所示，下网板13两侧均设置连接杆19，连接杆19一端贯穿支撑板2并延伸至支撑板2一侧，支撑板2一侧设置有第二固定壳21，第二固定壳21内壁安装有步进电机20，连接杆19设置在步进电机20输出端，干燥台1底部设置有支撑柱22，螺纹杆4外侧均设置有限位板23，螺纹套7顶部设置有限位杆24，顶板3底部表面开设有限位滑槽25，限位滑槽25与限位杆24滑动连接，使单晶硅片干燥更加全面。
25.本实用新型工作原理：本实用新型在使用时，首先拉动上网板14，从而使上网板14向上移动，使弹簧17压缩，随后将单晶硅片放入到下网板13和上网板14表面的固定槽15中，随后松开上网板14，弹簧17的回弹力会使上网板14回弹，从而使单晶硅片夹在下网板13和上网板14之间，随后通过开启电机5，使螺纹杆4旋转，由于螺纹杆4与螺纹套7螺纹连接，从而带动螺纹套7移动，从而使移动板8和出风管9移动，随后开启热风机12，使热气流通过伸缩管11进入到出风管9中，再通过出风管9内部的电加热丝10加热后吹入到单晶硅片表面，形成快速干燥，同时通过控制电机5的正转和反转，从而使出风管9对单晶硅片来回吹，防止热气流一直对着同一位置吹气导致单晶硅片表面温度过高融化，提高对单晶硅片干燥时的保护效果。
26.最后应说明的几点是：首先，在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；
27.其次：本实用新型公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本实用新型同一实施例及不同实施例可以相互组合；
28.最后：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。