一种保温石英纤维软领的制作方法

1.本技术涉及半导体制造领域，特别涉及一种保温石英纤维软领。


背景技术：

2.保温软领是一种应用于半导体制造领域的保温护套，用在扩散炉炉口处，对扩散炉起到保温的作用，要达到高的保温效果，且使用安全、方便，保温软领中所采用的保温材料应满足以下要求：
3.(1)具有良好的密封性和隔热性，当保温材料的密封性和隔热性较差时，炉体热量容易散失，进而导致炉体内温度不均匀，不仅浪费能量，还会影响衬底的扩散条件，影响半导体产品的品质；
4.(2)无污染：对产品无污染，对员工身体健康无影响；
5.(3)安装方便：减少停机更换时间，提高生产效率；
6.(4)保温材料的使用寿命应尽量长。
7.相关技术中，石英软领内部直接填充石英棉，石英棉本身较为柔软，支撑效果差，长时间使用时内部石英棉容易产生局部塌陷和变形，造成保温效果下降，影响使用。


技术实现要素：

8.本技术实施例提供一种保温石英纤维软领，以解决相关技术中石英软领内部直接填充石英棉，支撑效果差，长时间使用时内部石英棉容易产生局部塌陷和变形，造成保温效果下降，影响使用的问题。
9.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种保温石英纤维软领，其包括：内层、外层、中间层和隔断层；内层和外层通过缝纫线缝合成筒状结构，内层和外层均为石英纤维布，且石英纤维布采用表面浸有环氧型浸润剂的石英纤维纱制成；中间层设置有多层，并位于内层和外层之间，中间层为石英纤维棉；相邻两个中间层之间设置有隔断层，隔断层为石英纤维针刺毡；中间层和隔断层均通过缝纫线缝合在内层和外层上；缝纫线为石英纤维缝纫线。
10.一些实施例中，石英纤维缝纫线采用表面涂覆有聚四氟乙烯乳液的石英纤维纱制成。
11.一些实施例中，石英纤维布的厚度为0.2～1.0毫米。
12.一些实施例中，石英纤维布的厚度为0.5～0.7毫米。
13.一些实施例中，石英纤维棉的直径为3～11微米。
14.一些实施例中，石英纤维棉的直径为5～9微米。
15.一些实施例中，石英纤维棉单层厚度为5～30mm。
16.一些实施例中，石英纤维针刺毡厚度为3～10毫米。
17.一些实施例中，石英纤维针刺毡厚度为5毫米。
18.一些实施例中，石英纤维布的表面结构为缎纹、斜纹或平纹。
19.本技术提供的技术方案带来的有益效果包括：
20.本技术实施例提供了一种保温石英软领，相较于现有产品，本实用新型保温石英软领具有更高的结构强度，由于提供了石英纤维针刺毡作为强度支撑，其拥有更高的贴合度和结构韧性，由于隔断层的存在，石英纤维棉的铺设均匀性更好，因此保温效果更好，更有利于半导体制造，填充到扩散炉炉口时不易出现塌陷和变形，填充贴合度好，使用寿命长，可有效提升炉体保温效果，提升半导体加工品质。
附图说明
21.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1为本技术实施例提供的整体结构示意图；
23.图2为图1的俯视图。
24.图中：1、内层；2、中间层；3、缝纫线；4、隔断层；5、外层。
具体实施方式
25.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
26.参见图1至图2，本技术实施例提供了一种保温石英纤维软领，其包括：内层1、外层5、中间层2和隔断层4；内层1和外层5通过缝纫线3缝合成筒状结构，内层1和外层5均为石英纤维布，且石英纤维布采用表面浸有环氧型浸润剂的石英纤维纱制成；中间层2设置有多层，中间层2为石英纤维棉；相邻两个中间层2之间设置有隔断层4，隔断层4为石英纤维针刺毡；中间层2和隔断层4通过缝纫线3缝合在内层1和外层5上；缝纫线3为石英纤维缝纫线。
27.石英纤维布采用连续的石英纤维纱通过箭杆织机织造制成，石英纤维纱的表面浸有环氧型浸润剂，浸润剂的含量为1.0
±
0.2％，石英纤维缝纫线采用连续的石英纤维纱通过绕线机卷绕制成，相较于现有产品，本实用新型保温石英软领具有更高的结构强度，由于提供了石英纤维针刺毡作为强度支撑，其拥有更高的贴合度和结构韧性，由于隔断层4的存在，石英纤维棉的铺设均匀性更好，因此保温效果更好，更有利于半导体制造，填充到扩散炉炉口时不易出现塌陷和变形，填充贴合度好，使用寿命长，可有效提升炉体保温效果，提升半导体加工品质。
28.石英纤维缝纫线采用表面涂覆有聚四氟乙烯乳液的石英纤维纱制成。
29.石英纤维纱的表面涂覆有聚四氟乙烯乳液，在卷绕过程中，绕线机予以石英纤维纱一定的张力，石英纤维缝纫线中可燃物的含量为4.0
±
1.0％。
30.石英纤维棉的直径为3～11微米，优选为5～9微米，最佳为7微米，石英纤维棉单层厚度为5～30毫米，最佳为10毫米。
31.石英纤维布的厚度为0.2～1.0毫米，石英纤维布的厚度优选为0.5～0.7毫米，最
佳为0.5毫米，表面结构为平纹、斜纹或缎纹。
32.石英纤维针刺毡以石英玻璃纤维为原料，用刺针对梳理后的短切石英纤维毡进行针刺，用机械方法使毡层石英纤维之间、毡层石英纤维与增强石英纤维基布之间纤维相互缠结，纤网得以加固而制成的毡状非织造布，石英纤维针刺毡厚度为3～10毫米，最佳为5毫米。
33.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
34.需要说明的是，在本技术中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
35.以上所述仅是本技术的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所申请的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。