一种便于控制精度的硅片表面研磨装置的制作方法

技术特征：
1.一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，包括研磨机构(1)，其特征在于：所述研磨机构(1)的内部固定连接有装夹机构(2)，所述研磨机构(1)的顶部固定连接有除尘机构(3)；所述除尘机构(3)包括除尘箱(301)，所述除尘箱(301)的右侧固定连接有排废管(302)，所述除尘箱(301)的内部固定连接有斜板(303)，所述除尘箱(301)的内部固定连接有第一斜网板(304)，所述第一斜网板(304)的内部固定连接有固定管(305)，所述除尘箱(301)的右侧固定连接有进水管(306)，所述除尘箱(301)的顶部固定连接有呼吸阀(307)，所述除尘箱(301)的顶部固定连接有泵体(308)，所述泵体(308)的进管口固定连接有连接管(309)，所述连接管(309)的顶部固定连接有伸缩套筒(310)，所述伸缩套筒(310)的左侧固定连接有伸缩套管(311)，所述伸缩套管(311)的伸缩端固定连接有连接杆(312)。2.根据权利要求1所述的一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，其特征在于：所述研磨机构(1)包括基座(101)，所述基座(101)的顶部固定连接有箱体(102)，所述箱体(102)的内部活动连接有收集皿(103)。3.根据权利要求2所述的一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，其特征在于：所述箱体(102)的右侧固定连接有电动机(104)，所述电动机(104)的输出轴固定连接有丝杆(105)，所述丝杆(105)外壁活动连接有丝块(106)。4.根据权利要求3所述的一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，其特征在于：所述箱体(102)的内壁固定连接有固定箱(107)，所述固定箱(107)位于丝块(106)的外壁活动连接，所述丝块(106)的底部固定连接有液压推杆(108)。5.根据权利要求4所述的一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，其特征在于：所述液压推杆(108)的伸缩端固定连接有电机(109)，所述电机(109)的输出轴固定连接有研磨头(110)，所述电机(109)的外壁和连接杆(312)固定连接，所述液压推杆(108)的外壁和伸缩套管(311)的外壁固定连接。6.根据权利要求1所述的一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，其特征在于：所述装夹机构(2)包括第二网板(201)，所述第二网板(201)的顶部固定连接有固定块(202)，所述固定块(202)的内部固定连接有第一电动推杆(203)，所述第一电动推杆(203)的伸缩端固定连接有第二电动推杆(204)。

技术总结
本实用新型涉及一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，包括研磨机构，所述研磨机构的内部固定连接有装夹机构，所述研磨机构的顶部固定连接有除尘机构；所述除尘机构包括除尘箱，所述除尘箱的右侧固定连接有排废管，所述除尘箱的内部固定连接有斜板，所述除尘箱的内部固定连接有第一斜网板，所述第一斜网板的内部固定连接有固定管，所述除尘箱的右侧固定连接有进水管，所述除尘箱的顶部固定连接有呼吸阀，所述除尘箱的顶部固定连接有泵体，所述泵体的进管口固定连接有连接管，所述连接管的顶部固定连接有伸缩套筒，所述伸缩套筒的左侧固定连接有伸缩套管。该便于控制精度的硅片表面研磨装置，具备方便进行除尘等优点。具备方便进行除尘等优点。具备方便进行除尘等优点。


技术研发人员：李长坤 谢永奕
受保护的技术使用者：广东硅峰半导体有限公司
技术研发日：2022.01.06
技术公布日：2022/8/2