一种舟结构及承载舟结构的电极馈入装置的制作方法

1.本技术各实施例属于光伏设备技术领域，尤其涉及一种舟结构及承载舟结构的电极馈入装置。


背景技术：

2.随着太阳能发电的普及，相关的光伏产品需求量越来越大，因此对光伏设备的要求越来越高，不仅要增加产能，而且需要更好的控制成本，降低产品损失率，管式peald、pecvd等设备是太阳能电池片生产中重要设备，主要是完成电池片表面的镀膜。在现有工艺下，电池片需要在舟结构内完成镀膜工艺，镀膜时，电池片放置于舟结构内，在一定温度和压力的环境下，接通交流电源，化学反应和离子轰击相结合，使放置于辉光放电阴极的电池片表面，形成固相薄膜沉积。
3.目前常规双舟舟结构，都是采用前后舟结构舟脚分别接入交流电源火线和零线的连接方式，该方式存在多个缺陷，舟结构舟脚与电源通过放置组件和电极杆连接，横跨整个舟结构，受空间限制，需要多处避让，结构复杂，前后舟脚分别位于炉口、炉中和炉尾，检修维护困难。


技术实现要素：

4.本技术实施例提供一种舟结构及舟结构电极馈入装置，本技术实施例减少放置组件数量，降低电极杆复杂程度。
5.为了实现上述目的，本技术实施例采用的技术方案是：
6.本技术实施例提供了一种舟结构，包括若干个相互连通的第一舟片，若干个相互连通的第二舟片，一个第三舟片和一个第四舟片；
7.第一舟片和第二舟片交错分布在相邻的第三舟片和第四舟片相互远离第一侧和第二侧，所述若干个第一舟片均与第一电极连接，所述若干个第二舟片均与第二电极连接；
8.分布在第一侧的若干个第一舟片通过第三舟片与第二侧的第一舟片连接；分布在第二侧的若干个第二舟片通过第四舟片与第一侧的第二舟片连接。
9.作为本技术的一优选实施例，第一舟片和第二舟片两端均设置有一个舟耳，第一舟片和第二舟片两端的舟耳设置在第一舟片和第二舟片的对角线位置；第三舟片和第四舟片均设置有三个舟耳，第三舟片和第四舟片第一端的底部或顶部设置有一个舟耳，第二端底部和顶部各设置有一个舟耳。
10.作为本技术的一优选实施例，处于第一侧若干个第一舟片舟耳设置在第一对角线两端，处于第一侧若干个第二舟片舟耳设置在第二对角线两端，处于第二侧若干个第一舟片舟耳设置在第三对角线两端，处于第二侧若干个第二舟片舟耳设置在第四对角线两端，其中，第一对角线和第四对角线相互平行，第二对角线和第三对角线相互平行。第一对角线、第四对角线与第二对角线、第三对角线是不同的对角线。
11.作为本技术的一优选实施例，第三舟片第一端一个舟耳与第四舟片的第二端的两
个舟耳设置在舟结构的第一端，第三舟片第二端两个舟耳与第四舟片的第一端的一个舟耳设置在舟结构的第二端。
12.作为本技术的一优选实施例，第三舟片第一端一个舟耳与第四舟片的第二端的其中一个舟耳之间设置有第一绝缘件，第四舟片的第二端的另一舟耳与第二侧的第一舟片舟耳之间设置有第二绝缘件；
13.第三舟片的第二端的其中一个舟耳与第四舟片的第一端的一个舟耳之间设置有第三绝缘件；第三舟片第二端另一舟耳与第一侧的第二舟片舟耳之间设置有第四绝缘件。
14.作为本技术的一优选实施例，处于第一侧和第二侧的若干个第一舟片舟耳之间及第一舟片舟耳与第三舟片舟耳之间设置有第一导电块，处于第一侧和第二侧的若干个第二舟片舟耳之间及第二舟片舟耳与第四舟片舟耳之间设置有第二导电块。
15.作为本技术的一优选实施例，所述舟结构底部还设置有舟结构舟脚。
16.与现有技术相比，本技术实施例提供的一种舟结构，通过分布在第一侧的若干个第一舟片通过第三舟片与第二侧的第一舟片连接；分布在第二侧的若干个第二舟片通过第四舟片与第一侧的第二舟片连接，通过第三舟片和第四舟片的设置可以实现将在舟结构的同侧接入电源的两个电极，这样可以减少了放置组件的数量，本技术只在支撑组件的一侧设置一个电极组件，电极杆不在横跨整个舟结构，不用避让电极杆，且结构简单，所以本技术实施例将双舟模式改为单舟模式，减少了一半前后舟脚和放置件以及电极杆。
17.第二方面，本技术实施例还提供了一种用于承载第一方面所述的舟结构的电极馈入装置，包括：
18.一支撑组件；
19.一放置组件，通过舟结构舟脚与舟结构连接，包括设置在支撑组件上的第一放置单元和第二放置单元；
20.一电极组件，包括引出端设置在支撑组件同侧的第一电极杆和第一电极杆，第一电极杆与第一放置单元连接，第二电极杆与第二放置单元连接，第一电极杆和第二电极杆分别连接电源不同电极。
21.作为本技术的一优选实施例，支撑组件包括相互平行设置的第一支撑件和第二支撑件，第一放置单元包括第一放置件和第二放置件，第二放置单元包括第三放置件和第四放置件，第一放置键和第二放置件间隔设置在第一支撑件上，第三放置件和第四放置件间隔设置在第二支撑件上。
22.作为本技术的一优选实施例，第一放置件与第三放置件设置在第一支撑件和第二支撑件一侧的相对应位置上，第二放置件与第四放置件设置在第一支撑件和第二支撑件另一侧的相对应位置上。
23.作为本技术的一优选实施例，第一电极杆与第一放置件或第二放置件连接，第一电极杆与电源的第一电极连接，第二电极杆与第三放置件或第四放置件连接，第二电极杆与电源的第二电极连接，其中，第一电极杆和第二电极杆处于舟结构的同一侧。
24.作为本技术的一优选实施例，所述第一支撑件和第二支撑件的两端均分别设置有固定座。
25.与现有技术相比，本技术实施例提供舟结构电极馈入装置，舟结构由双舟双侧电极馈入改为单舟单侧电极馈入，通过此馈入装置可以将第一方面所述的舟结构与电源电极
连接，本技术实施例减少了电极馈入点和电极杆数量，降低了接触不良概率，提高了设备稳定性，同时减少了检修维护难度。
附图说明
26.此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本技术的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分，本领域技术人员应该理解的是，这些附图未必是按比例绘制的，在附图中：
27.图1为本技术实施例提供的一种舟结构的立体结构示意图；
28.图2为本技术实施例提供的一种舟结构的端面结构示意图；
29.图3为本技术实施例提供的一种第三舟片和第四舟片的组装结构示意图；
30.图4为本技术实施例提供的一种第三舟片或第四舟片的结构示意图；
31.图5为本技术实施例提供的一种承载舟结构的电极馈入装置的结构示意图。
32.图中各项标记的含义为：
33.01-第一支撑件，02-第一支撑件，03-第一放置件，04-第三放置件，05-第二放置件，06-第四放置件，07-第一电极杆，08-第二电极杆，09-固定座，10-舟结构，11-第一导电块，12-第二导电块，13-第一绝缘件，14-第二绝缘件，15-第三绝缘件，16-第一舟片，17-第二舟片，18-第三舟片，18-1-舟耳，18-2-舟耳，18-3-舟耳，19-第四舟片，19-1-舟耳，19-2-舟耳，19-3-舟耳，20-第一舟脚，21-第一舟脚，22-第五绝缘件。
具体实施方式
34.为了使本技术领域的人员更好地理解本技术方案，下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
35.在本技术中，需要理解的是，术语“上”指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
36.在申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
37.以下结合具体附图及实施例进行详细说明。
38.在本技术实施例中，第一侧为图1所示的舟结构左侧，第二侧为图1所示的舟结构右侧，第一端为图1所示的舟结构的左端，第二端为图1所示的舟结构的右端，第一舟片为舟耳处于舟结构第一侧的第一端底部的舟片，第二舟片为舟耳处于舟结构第一侧第一端顶部的舟片，同样，第一舟片为舟耳处于舟结构第二侧的第一端顶部的舟片，第二舟片为舟耳处
于舟结构第一侧第一端底部的舟片，第三舟片为与第一舟片电连接的舟片，第四舟片为与第二舟片电连接的舟片。
39.如图1，图2和图5所示，图1中的省略号表明一个舟片上可以放置多个待镀膜产品，中间重复的结构进行了省略，本技术实施例提供了一种舟结构10，所述舟结构底部设置有第一舟脚20、第二舟脚21、第三舟脚(未示出)和第四舟脚(未示出)，第一舟脚20、第二舟脚21、第三舟脚(未示出)和第四舟脚(未示出)分别设置在放置组件上，也就是说，此舟结构10为单舟结构，舟结构10底部设置有四个舟脚，且每个舟脚都分别与设置在支撑组件上的放置组件连接，在本技术实施例中，第一舟脚20与第一放置件03连接、第二舟脚21与第三放置件04连接、第三舟脚(未示出)与第二放置件05连接，第四舟脚(未示出)与第四放置件06连接，第一舟脚20和第二舟脚21设置在舟结构10的第一端，第三舟脚(未示出)和第四舟脚(未示出)设置在舟结构10的第二端，在具体的应用中，如第一放置件03和第三放置件04与电源连接，第二放置件05和第四放置件06只是用于放置第二石舟脚21和第四舟脚(未示出)，第一放置件03和第三放置件04用于将射频电源电压导通到舟结构10上。
40.具体的，所述舟结构10还包括若干个交错分布的第一舟片16和第二舟片17及两个相邻的第三舟片18和第四舟片19，第三舟片18和第四舟片19相互远离的一侧均分布有若干个第一舟片16和第二舟片17，第三舟片18和第四舟片19相邻且设置在舟结构10的中间部位，在第三舟片18远离第四舟片19的舟结构10第一侧设置有若干个交错分布的第一舟片16和第二舟片17，在第四舟片19远离第三舟片18的舟结构10第二侧设置有若干个交错分布的第一舟片16和第二舟片17，在本技术实施例中，第一舟片16，第二舟片17，第三舟片18和第四舟片19分别可以采用石墨等导电材质制备。
41.在本技术实施例中，舟结构10第一侧和第二侧的第一舟片16连接电源的第一电极，舟结构10第一侧和第二侧的第二舟片17连接电源的第二电极，在具体的实施例中，第一电极可以为电源的正极，第二电极可以为电源的负极，在实际应用中通过电源通入高频电流。
42.在本技术实施例中，第一舟片16和第二舟片17的结构相同，只是在舟结构10中的装配方式不同，第一舟片16和第二舟片17两端的底部或顶部均设置有一个舟耳，第一舟片16和第二舟片17两端的舟耳设置在第一舟片16和第二舟片17的对角线两端，在整个舟结构10中，处于第一侧若干个第一舟片16舟耳设置在第一对角线两端，处于第一侧若干个第二舟片17舟耳设置在第二对角线两端，处于第二侧若干个第一舟片16舟耳设置在第三对角线两端，处于第二侧若干个第二舟片17舟耳设置在第四对角线两端，其中，第一对角线和第四对角线相互平行，第二对角线和第三对角线相互平行，也就是说，处于舟结构10第一侧和第二侧的第一舟片16舟耳位置与第二舟片17舟耳反转180度后的位置相同。
43.在本技术实施例中，在舟结构10的第一侧，若干个第一舟片16的舟耳处于舟结构第一端底部，若干个第二舟片17的舟耳处于舟结构第一端顶部，若干个第一舟片16的舟耳处于舟结构第二端顶部，第二舟片17的舟耳处于舟结构第二端底部；在舟结构10第二侧，第一舟片16的舟耳处于舟结构10第一端顶部，则第二舟片17的舟耳处于舟结构第一端底部，第一舟片16的舟耳处于舟结构第二端底部，则第二舟片17的舟耳处于舟结构10第二端的顶部。
44.如图3所示，图3只是示出第四舟片19的结构，图4中的省略号表明一个舟片上可以
放置多个待镀膜产品，中间重复的结构进行了省略，第三舟片18的结构与第四舟片19的结构一样，只是在舟结构10中的安装方式不同，第三舟片18和第四舟片19均设置有三个舟耳，第三舟片18和第四舟片19第一端的底部或顶部设置有一个舟耳，第二端底部和顶部各设置有一个舟耳。
45.如图4所示，图4中的省略号表明一个舟片上可以放置多个待镀膜产品，中间重复的结构进行了省略，第三舟片18第一端一个舟耳18-1与第四舟片的第二端的两个舟耳19-1，19-2设置在舟结构的第一端，第三舟片第二端两个舟耳18-2，18-3与第四舟片19的第一端的一个舟耳19-1设置在舟结构的第二端。
46.为了实现第三舟片18与第四舟片19之间的绝缘，第三舟片18第一端一个舟耳18-1与第四舟片19的第二端的其中一个舟耳19-1之间设置有第一绝缘件13，第三舟片18的第二端的其中一个舟耳18-2与第四舟片19的第一端的一个舟耳19-3之间设置有第三绝缘件15。
47.为了实现在舟结构10第二侧第四舟片19与第一舟片16舟耳之间的绝缘，第四舟片19的第二端的另一舟耳19-2与第二侧的第一舟片16舟耳之间设置有第二绝缘件14。
48.为了实现在舟结构10第一侧，第三舟片第二端另一舟耳18-2与第一侧的第二舟片17舟耳之间的绝缘，第三舟片18第二端另一舟耳18-2与第一侧的第二舟片17舟耳之间设置有第四绝缘件(未示出)。
49.为了实现第一舟片16之间，第二舟片17之间，处于第一侧和第二侧第一舟片与第三舟片18及第二舟片17与第四舟片19之间的导通，在处于第一侧和第二侧的若干个第一舟片16舟耳之间及第一舟片16舟耳与第三舟片18舟耳之间设置有第一导电块11，处于第一侧和第二侧的若干个第二舟片17舟耳之间及第二舟片17舟耳与第四舟片19舟耳之间设置有第二导电块12，在一具体实施例中，可以实现第一舟片16与电源正极导通，第二舟片17与电源负极导通，具体而言，导电块可以是石墨块。
50.具体的，为了使实现第一舟片16和第二舟片17之间的绝缘，在相邻的第一舟片16和第二舟片17之间设置有第五绝缘件22，优选地，第五绝缘件22为陶瓷绝缘环，陶瓷绝缘环套设在贯穿第一舟片16、第二舟片17、第三舟片18、第四舟片19的陶瓷杆。
51.优选地，第一绝缘件13，第二绝缘件14和第三绝缘件15，第四绝缘件(未示出)和第五绝缘件22可以采用陶瓷块起到绝缘作用。
52.优选地，舟耳采用舟片同样的材质，和舟片主体结构一体形成，材料可选择为石墨材质，具有导电性能，也可以为其它材质，本技术实施例对此不做限制。
53.与现有技术相比，本技术实施例提供的一种能够单侧电极馈入的舟结构10，通过分布在第一侧的若干个第一舟片16通过第三舟片18与第二侧的第一舟片16连接；分布在第二侧的若干个第二舟片17通过第四舟片19与第一侧的第二舟片17连接，通过第三舟片18和第四舟片19的设置可以实现将在舟结构的同侧接入电源的两个电极，本技术实施例通过两个相邻的具有三个舟耳的第三舟片18和第四舟片19的设置，第一绝缘件13和第三绝缘件15两侧的舟片采用三极耳的连接方式，用以隔开左右两侧回路，且只需在一侧分别设置正负极就可以实现两两舟片之间连接不同电极，减少了放置组件的数量，另外，本技术只在支撑组件的一侧设置一个电极组件，电极杆不再横跨整个舟结构，舟结构进出时不用避让电极杆，且结构简单，本技术实施例在实施时可以为单舟模式，减少了一半前后舟脚和放置件以及电极杆。
54.如图5所示，本技术实施例提供了一种承载舟结构的电极馈入装置，包括一支撑组件、一放置组件和一电极组件。
55.支撑组件用于承载舟结构10，该支撑组件具有散热间隙，利用支撑组件支撑的一个舟结构10，放置组件为一个，放置组件用于放置舟结构10，使得舟结构10通过放置组件承载在支撑组件上。
56.放置组件包括一设置在支撑组件上的第一放置单元和一第二放置单元，第一放置单元和第二放置单元用于放置舟结构10的舟脚。
57.电极组件，包括引出端设置在支撑组件同侧的第一电极杆07和第二电极杆08，第一电极杆07和第二电极杆08分别与第一放置单元或第二放置单元连接，第一电极杆和第二电极连杆与电源不同极连接，每一个电极杆用于与对应放置单元上的舟结构10的舟脚相连，以便为舟结构10加电压。可以理解的是，第一电极杆07的一端与外部射频电源相连接，另一端与对应舟结构10底部的放置组件相连，并通过放置组件将射频电源电压导通到舟结构10本体上，组成舟结构10本体的正极或负极，每一第一电极杆的一端与外部射频电源接，另一端与对应舟结构10底部的放置组件相连，并通过放置单元将射频电源电压导通到舟结构10上，组成舟结构10的负极或正极，从而通过舟结构10两侧受到的射频电源电压实现对舟结构10的电源连接，并且电极组件配合放置组件，能够实现对放置组件上放置舟结构10的电源连接。
58.更加具体的，第一电极杆07与第二电极杆08均引出至第一支撑件01和第二支撑杆件02在同一端。需要说明的是，第一电极杆07和第二电极杆08并不仅限于通过弯曲段的方式来引出至第一支撑件01和第一支撑件02在第二方向上的同一端。
59.上述射频电极馈入装置，在实际作业时，在放置组件上放置舟结构10，并且舟结构10本体通过对应的第一放置单元或者第二放置单元分别与第一电极杆07和第二电极杆08电导通，从而实现与外部射频电源的正极和负极电导通，进而利用外部射频电源完成对舟结构10的放电。
60.如此，本技术实施例的电极馈入装置，只设置一个舟结构10在支撑组件上，并通过一个电极组件配合一个放置组件，实现一个舟结构10的射频电极馈入，所以在舟结构10由双舟双侧电极馈入改为单舟单侧电极馈入，减少了电极馈入点和电极杆，降低了接触不良概率，提高了设备稳定性，同时减少了检修维护难度，本技术实施例提供的舟结构10将双舟模式改为单舟模式，可以减少放置组件的数量，降低电极杆复杂程度。
61.第一放置单元包括第一放置件03和第二放置件05，第二放置单元包括第三放置件04和第四放置件06，第一放置单元03和第二放置件05均采用抱紧的方式间隔套设在设置在第一支撑件01上，第三放置件04和第四放置件06均采用抱紧的方式间隔套设在间隔设置在第一支撑件02上，第一电极杆07的一端与第一放置件03或第二放置件05连接，通过第一电极杆07将射频电压导入第一放置件03或第二放置件05；其中，第一放置块与第三放置块分别位于对应舟结构10本体的同侧，第一放置件03与第三放置件04位于对应舟结构10本体的同侧可以减少了电极馈入点和电极杆数量，降低了接触不良概率，提高了设备稳定性，同时减少了检修维护难度。
62.具体地，第二电极杆08与第三放置件04连接或第四放置件06连接，通过第二电极杆08将射频电压导入第三放置件04或第四放置件06，具体地，第一放置件03与第三放置件
04设置在支撑组件一侧的相对应位置上，第二放置件05与第四放置件06设置在支撑组件另一侧的相对应位置上，也就说，第一电极杆07和第一电极杆07设置在支撑组件的同一侧，且第一电极杆07和第一电极杆07均分别与最靠近的放置件连接。
63.具体地，所述第一支撑件01和第一支撑件02的两端分别设置有固定座09，固定座09套设在第一支撑件01和第一支撑件02上，并且在固定座09上设置有用于连接固定的连接孔。优选地，将固定座09固定在外部装置的连接件上，可以对第一支撑件01和第一支撑件02起到固定支撑的作用。
64.需要说明的是，第一放置件03、第二放置件05、第三放置件04及第四放置块件06并不仅限于采用抱紧的方式与第一支撑件01和第一支撑件02固定安装，在其它实施例中，也可以采用其它紧固方式，例如螺钉紧固、卡扣卡接等方式，在此不作限定。进一步地，如果第一电极杆07和第二电极杆08设置在支撑组件的一侧，则第一电极杆07和第二电极杆08可选择分别与第一放置件03或第三放置件04进行连接，如果第一电极杆07和第二电极杆08设置在支撑组件的另一侧，则第一电极杆07和第二电极杆08可选择与第二放置件05和第四放置件06进行连接。
65.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。