一种单晶炉副室高效清洁装置的制作方法

1.本实用新型涉及光伏制造技术领域，尤其涉及一种单晶炉副室高效清洁装置。


背景技术：

2.现有技术中，单晶炉的炉体壳体由主室和副室组成，副室结构为圆形空腔，副室顶端安装有旋转和提升机构，可完成单晶硅棒的拉制及二次加料的作业，为了保证单晶硅棒的品质，副室内壁的高纯卫生变的尤为重要，在二次加料过程中，大量的多晶硅原料粉末会附着在副室内壁，如清理不干净，在拉晶过程中，粉末状颗粒物杂质，易掉入石英炉埚内，影响单晶硅棒的品质，并且易导致单晶硅棒拉制过程中单晶断线，影响产量。
3.目前，副室清理工作单纯采用圆环型工作，外包无尘纸，在清理副室时，清洁不彻底，不能完全将多晶硅粉清理干净，清理时部分硅粉易赶起来二次附着在副室内壁，在一定程度上影响到单晶硅的拉制。


技术实现要素：

4.本实用新型目的就是为了解决现有副室清理不彻底、效果差的问题，提供了一种单晶炉副室高效清洁装置，可以减少硅粉二次附着，并将漂浮的硅粉充分吸出，提高副室的洁净度，改善单晶硅棒的品质和产量。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种单晶炉副室高效清洁装置，包括清洁手柄，清洁手柄内设有压缩空气腔和吸尘腔，清洁手柄的底部连有端盖、中部设有进气管道和吸尘管道、头部设有清洁组件，进气管道与压缩空气腔相连，吸尘管道与吸尘腔相连；
7.清洁组件包括一个环状结构的清洁剂储箱，清洁剂储箱上连有一组清洁剂喷头组，且清洁剂储箱通过压缩空气连接管与压缩空气腔的上端相连，清洁剂喷头组的喷头朝向副室的内壁设置，以用于通过管道向储箱内增压喷射清洁剂；
8.清洁剂储箱上还设有加注口，以用于向储箱内增加清洁剂；
9.清洁剂储箱的内圈中连有吸尘管组，吸尘管组的一端连有一组吸尘头、另一端通过吸尘连接管与吸尘腔的上端相连，以用于将副室内壁的灰尘通过吸尘头和管道积累至吸尘腔内；
10.每个吸尘头均朝向副室的内壁设置。
11.进一步地，所述清洁手柄为中空的筒状结构，其内连有一面同轴的隔板，隔板将清洁手柄的空腔分成等大的压缩空气腔和吸尘腔。
12.进一步地，所述清洁剂储箱的轴线与清洁手柄的轴线相互平行。
13.进一步地，所述清洁剂喷头组包括相连的喷头和喷头吸管，喷头通过喷头吸管与清洁剂储箱的内腔相连，且喷头沿着清洁剂储箱的上边缘环状均布。
14.进一步地，所述吸尘管组包括环状吸尘管和一组吸尘支管，环状吸尘管连于清洁剂储箱的内圈壁上，且二者的轴线相互重合，吸尘支管竖直连接在环状吸尘管的上下部，每
个吸尘支管的端部均连有吸尘头，吸尘头分布在清洁剂储箱的上下侧。
15.本实用新型的技术方案中，通过将清洁组件垂直放入单晶炉副室筒内，打开手柄部分，由压缩空气的进气管道将压缩空气输入清洁剂储箱内，在压力作用下，清洁剂由清洁剂喷头组喷出，喷洒在副室内壁上，然后打开吸尘管道，吸尘头和吸尘管组开始向外吸尘，此时使用清洁手柄上下在副室内壁拖动清洁，即可达到高效清洁目的，使用一段时间后，打开手柄底部的端盖即可排出内部的粉尘。本实用新型的装置改变了原有的清洁方式，采用清洁时自动喷洒清洁剂和吸尘的方式，可在清理副室内壁时，用酒精喷洒在副室内壁，然后用包裹在清洁头上的无尘纸对副室进行清洁，大大减少了硅粉的二次附着，再加上吸尘管道的吸附，可将漂浮的硅粉充分吸出，提高了副室的洁净度，改善了单晶硅棒的品质和产量。
附图说明
16.图1为本实用新型的单晶炉副室高效清洁装置的外部结构图；
17.图2为本实用新型的单晶炉副室高效清洁装置的手柄剖视图；
18.图3为本实用新型的单晶炉副室高效清洁装置的清洁组件剖视图一；
19.图4为本实用新型的单晶炉副室高效清洁装置的清洁组件剖视图二；
20.图5为本实用新型的单晶炉副室高效清洁装置在副室内的示意图。
具体实施方式
21.实施例1
22.为使本实用新型更加清楚明白，下面结合附图对本实用新型的一种单晶炉副室高效清洁装置进一步说明，此处所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
23.参见图1和图2，一种单晶炉副室高效清洁装置，包括清洁手柄1，其特征在于：
24.清洁手柄1为中空的筒状结构，其内连有一面同轴的隔板9，隔板9将清洁手柄1的空腔分成等大的压缩空气腔1a和吸尘腔1b；
25.清洁手柄1的底部连有端盖2、中部设有进气管道3和吸尘管道4、头部设有清洁组件5，进气管道3与压缩空气腔1a相连，吸尘管道4与吸尘腔1b相连；
26.参见图1、图3和图4，清洁组件5包括一个环状结构的清洁剂储箱51，清洁剂储箱51的轴线与清洁手柄1的轴线相互平行；
27.清洁剂储箱51上连有一组清洁剂喷头组52，清洁剂喷头组52包括相连的喷头52a和喷头吸管52b，喷头52a通过喷头吸管52b与清洁剂储箱51的内腔相连，且喷头52a沿着清洁剂储箱51的上边缘环状均布，喷头52a朝向副室8的内壁设置；
28.清洁剂储箱51通过压缩空气连接管6与压缩空气腔1a的上端相连，以用于通过管道向储箱内增压喷射清洁剂；
29.清洁剂储箱51上还设有加注口51a，以用于向储箱内增加清洁剂；
30.清洁剂储箱51的内圈中连有吸尘管组53，吸尘管组53包括环状吸尘管53a和一组吸尘支管53b，环状吸尘管53a连于清洁剂储箱51的内圈壁上，且二者的轴线相互重合，吸尘支管53b竖直连接在环状吸尘管53a的上下部，每个吸尘支管53b的端部均连有吸尘头54，吸
尘头54分布在清洁剂储箱51的上下侧，且每个吸尘头54均朝向副室8的内壁设置；
31.环状吸尘管53a再通过吸尘连接管7与吸尘腔1b的上端相连，以用于将副室内壁的灰尘通过吸尘头和管道积累至吸尘腔内。
32.参见图1和图5，使用本实用新型的单晶炉副室高效清洁装置作业时，通过加注口51a将清洁剂加入清洁剂储箱51中，清洁组件5的外部包裹无尘纸后，将手柄部分的进气管道3与外部压缩空气管路相连，压缩空气的进气管上设有阀门，同时，将吸尘管道4与外部的吸尘管路相连，吸尘管道上亦设有阀门。
33.清洁时，将本实用新型的装置垂直放入单晶炉的副室筒内，打开清洁手柄1的进气管道3，将压缩空气通过压缩空气腔1a和压缩空气连接管6引入清洁剂储箱51内，在压力作用下，清洁剂由清洁剂喷头组52的喷头52a喷出，喷洒在副室8内壁，打开吸尘管道4，灰尘通过吸尘头54进入吸尘管组53，再通过吸尘连接管7进入吸尘腔1b内开始向外吸尘，此时使用清洁手柄1上下在副室8内壁拖动清洁，即可达到高效清洁目的。使用一段时间后，打开清洁手柄1的端盖2排出内部的粉尘即可。
34.本实用新型的装置由于采用清洁时自动喷洒酒精和吸尘的方式，在清理副室内壁时，大大减少硅粉二次附着，再加上吸尘管道的吸附，可将漂浮的硅粉充分吸出，提高了副室的洁净度，改善了单晶硅棒的品质和产量。
35.除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围。