用于测试平面光栅模块的离线测试台的制作方法

技术特征：
1.一种用于测试平面光栅模块的离线测试台，其特征在于，包括基座(100)、水平粗动机构(200)、六自由度微动台(300)、卡盘替代盘(400)和测试读数头(500)；所述水平粗动机构(200)安装于所述基座(100)，所述六自由度微动台(300)安装于所述水平粗动机构(200)，所述水平粗动机构(200)能够带动所述六自由度微动台(300)水平移动；所述卡盘替代盘(400)安装于所述六自由度微动台(300)，所述六自由度微动台(300)能够带动所述卡盘替代盘(400)在空间内微动；所述测试读数头(500)安装于所述卡盘替代盘(400)。2.根据权利要求1所述的用于测试平面光栅模块的离线测试台，其特征在于，所述基座(100)上固定有y向导轨(110)，所述水平粗动机构(200)包括y向平移台(210)、x向导轨(220)和x向平移台(230)，所述y向平移台(210)与所述y向导轨(110)配合，能够沿所述y向导轨(110)移动；所述x向导轨(220)固定于所述y向平移台(210)，所述x向平移台(230)与所述x向导轨(220)配合，能够沿所述x向导轨(220)移动；所述六自由度微动台(300)安装于所述x向平移台(230)；所述x向导轨(220)与所述y向导轨(110)成夹角设置。3.根据权利要求2所述的用于测试平面光栅模块的离线测试台，其特征在于，所述离线测试台还包括限位组件，所述限位组件用于限制所述卡盘替代盘(400)的极限行程。4.根据权利要求3所述的用于测试平面光栅模块的离线测试台，其特征在于，所述限位组件包括至少两个y向限位装置(600)，所述y向限位装置(600)分别安装于所述基座(100)的靠近所述y向导轨(110)的两端的部位，用于限制所述y向平移台(210)的极限行程；和/或，所述限位组件包括至少两个x向限位装置(700)，所述x向限位装置(700)分别安装于所述y向平移台(210)的靠近所述x向导轨(220)的两端的部位，用于限制所述x向平移台(230)的极限行程。5.根据权利要求4所述的用于测试平面光栅模块的离线测试台，其特征在于，所述y向限位装置(600)包括y向缓冲件，所述y向缓冲件用于阻挡所述y向平移台(210)；和/或，所述x向限位装置(700)包括x向缓冲件，所述x向缓冲件用于阻挡所述x向平移台(230)。6.根据权利要求3所述的用于测试平面光栅模块的离线测试台，其特征在于，所述限位组件还包括多个微动限位装置(800)，多个所述微动限位装置(800)均安装于所述x向平移台(230)，且多个所述微动限位装置(800)环绕在所述六自由度微动台(300)的周围，用于限制所述卡盘替代盘(400)的微动极限行程。7.根据权利要求6所述的用于测试平面光栅模块的离线测试台，其特征在于，所述微动限位装置(800)包括第一安装座(810)和限位柱(820)，所述第一安装座(810)与所述卡盘替代盘(400)之间存在间隙，所述限位柱(820)固定于所述第一安装座(810)的朝向所述卡盘替代盘(400)的一侧，且所述限位柱(820)水平设置，所述卡盘替代盘(400)上开设有限位孔，所述限位柱(820)与所述限位孔间隙配合。8.根据权利要求7所述的用于测试平面光栅模块的离线测试台，其特征在于，所述第一安装座(810)上固定有x向接近传感器(830)，所述x向接近传感器(830)的感应端与所述卡盘替代盘(400)相对，用于感应所述卡盘替代盘(400)与所述y向接近传感器的x向间距，所述x向接近传感器(830)与所述离线测试台的控制系统电连接；
和/或，所述第一安装座(810)上固定有y向接近传感器，所述y向接近传感器的感应端与所述卡盘替代盘(400)相对，用于感应所述卡盘替代盘(400)与所述y向接近传感器的y向间距，所述y向接近传感器与所述离线测试台的控制系统电连接；和/或，所述第一安装座(810)上固定有第一z向接近传感器(840)，所述第一z向接近传感器(840)的感应端与所述卡盘替代盘(400)相对，用于感应所述卡盘替代盘(400)与所述第一z向接近传感器(840)的z向间距，所述第一z向接近传感器(840)与所述离线测试台的控制系统电连接。9.根据权利要求1所述的用于测试平面光栅模块的离线测试台，其特征在于，所述基座(100)的底部安装有多个高度可调的地脚(120)；和/或，所述基座(100)的底部安装有托运举升气浮装置(130)，所述托运举升气浮装置(130)用于将所述基座(100)悬浮托起；和/或，所述基座(100)上安装有若干导向组件，所述导向组件用于与光刻机的整机框架上的滑槽配合。10.根据权利要求1所述的用于测试平面光栅模块的离线测试台，其特征在于，所述基座(100)上安装有机械接口定位装置(140)，所述机械接口定位装置(140)包括第二安装座(141)，所述第二安装座(141)固定于所述基座(100)；所述第二安装座(141)上固定有定位柱(142)，所述定位柱(142)用于与光刻机的整机框架上的定位孔配合；和/或，所述第二安装座(141)上还固定有第二z向接近传感器(143)，所述第二z向接近传感器(143)的感应端朝上设置，所述第二z向接近传感器(143)用于感应所述基座(100)与所述整机框架的z向间距，所述第二z向接近传感器(143)与报警器电连接。

技术总结
本实用新型涉及光栅测量领域，具体而言，涉及一种用于测试平面光栅模块的离线测试台。用于测试平面光栅模块的离线测试台，包括基座、水平粗动机构、六自由度微动台、卡盘替代盘和测试读数头；水平粗动机构安装于基座，六自由度微动台安装于水平粗动机构，水平粗动机构能够带动六自由度微动台水平移动；卡盘替代盘安装于六自由度微动台，六自由度微动台能够带动卡盘替代盘在空间内微动；测试读数头安装于卡盘替代盘。本实用新型提供的用于测试平面光栅模块的离线测试台，结构简单，测试过程较简单，尤其是在测试过程需要反复操作验证时，更是节省了测试时间及人力。是节省了测试时间及人力。是节省了测试时间及人力。


技术研发人员：付大为 解昊 张翔宇 常密生
受保护的技术使用者：北京华卓精科科技股份有限公司
技术研发日：2021.12.24
技术公布日：2022/7/22