弹性接触器及半导体制程腔室的制作方法

1.本发明涉及半导体设备领域，具体公开了一种弹性接触器及半导体制程腔室。


背景技术：

2.半导体制程腔室需要上盖和底座可靠导电连接，上盖和底座由于表面镀有不导电涂层，需要设置弹性金属垫圈保证上盖和底座的可靠电导通。如图1所示，现有的弹性接触器100
，
，采用螺旋弹性接触器，这种方案接触面积小，接触点压缩量小容易损坏上下盖的表面，产生金属颗粒污染。


技术实现要素：

3.本发明的主要目的是提供一种弹性接触器及半导体制程腔室，旨在解决上述至少一个技术问题。
4.为实现上述目的，本发明的第一方面提出了一种弹性接触器，包括：
5.管状弹性本体，所述本体的横截面呈螺旋状，沿所述本体的长度方向，于所述本体上开设若干个缺口。
6.本发明的第二方面提出了一种半导体制程腔室，包括上盖、底座以及如上所述的弹性接触器，其中，所述底座的中部开设有凹槽，所述上盖盖设在所述底座的顶端，并与所述底座围设成容纳腔，所述弹性接触器设置在所述上盖和底座之间，并将所述上盖和所述底座导通。
7.另外，本发明的上述弹性接触器还可以具有如下附加的技术特征。
8.根据本发明的一个实施例，若干个缺口均匀的分布在所述本体上。
9.根据本发明的一个实施例，所述本体呈长条形。
10.根据本发明的一个实施例，所述本体呈缺口环形。
11.根据本发明的一个实施例，所述本体呈环形。
12.根据本发明的一个实施例，所述底座的端面上设置环形第一导电沟槽，所述上盖的对应位置开设第二导电沟槽，所述第一导电沟槽和第二导电沟槽对接构成容纳空间，所述弹性接触器位于所述容纳空间内。
13.与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
14.1、本申请的弹性接触器的横截面呈螺旋状，接触面积大，回弹力强，保证了与上盖和底座紧密的接触，有效的电导通；
15.2、本申请的弹性接触器上开设若干个缺口，使得弹性接触器可适配上盖和下盖的导电沟槽的形状。
附图说明
16.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本
发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
17.图1是现有技术中弹性接触器的结构示意图；
18.图2是本发明一个实施例中弹性接触器的立体图；
19.图3是图2的横截面图；
20.图4是图2的侧视图；
21.图5是本发明一个实施例中半导体制程腔室的爆炸图；
22.图6是图5的截面图。
23.附图标记：
24.弹性接触器100、本体10、缺口101、半导体制程腔室200、上盖20、第二导电沟槽201、底座21、凹槽210、第一导电沟槽211。
25.本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
26.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
27.需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
28.另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
29.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
30.另外，本发明各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
31.下面参照图2-6描述本发明一些实施例中的一种弹性接触器。
32.如图2-6所示，本发明的实施例提供了一种弹性接触器100，包括管状弹性本体10，本体10的横截面呈螺旋状，沿本体10的长度方向，于本体10上开设若干个缺口101。
33.继续参照图4，在本实施例中，若干个缺口101均匀的分布在本体10上。具体地，相邻的两个缺口101之间的间距相同。
34.在本发明的一个实施例中，本体10呈长条状。具体地，由于本体10上间隔设置有缺
口101，这样本体10可以被任意折弯成其他形状，如图5所示，比如折弯成带有缺口的环形。
35.在本发明的另外一个实施例中，本体10可以直接做成环形。
36.继续参照图5-6，本发明的另外一个实施例中提供了一种半导体制程腔室200，该半导体制程腔室200包括上盖20、底座21以及如上所述弹性接触器100，其中，底座21的中部开设有凹槽210，上盖20盖设在底座21的顶端，并与底座21围设成容纳腔，弹性接触器100设置在上盖20和底座21之间，并将上盖20和底座21导通。
37.进一步地，继续参照图6，底座21的端面上设置环形第一导电沟槽211，上盖20的对应位置开设第二导电沟槽201，第一导电沟槽211和第二导电沟槽201对接构成容纳空间，弹性接触器100位于容纳空间内。具体地，本实施例中的弹性接触器呈带有缺口的环形，当上盖20和底座21连接在一起时，上盖20和底座21压缩弹性接触器100，使得上盖20和底座21导电联通。本实施例中的弹性接触器100，接触面积大，导电性能好，且不容易刮伤上盖20和底座21。
38.以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。


技术特征：
1.一种弹性接触器，其特征在于，包括：管状弹性本体，所述本体的横截面呈螺旋状，沿所述本体的长度方向，于所述本体上开设若干个缺口。2.如权利要求1所述的弹性接触器，其特征在于，若干个缺口均匀的分布在所述本体上。3.如权利要求1所述的弹性接触器，其特征在于，所述本体呈长条形。4.如权利要求1所述的弹性接触器，其特征在于，所述本体呈缺口环形。5.如权利要求1所述的弹性接触器，其特征在于，所述本体呈环形。6.一种半导体制程腔室，其特征在于，包括上盖、底座以及如权利要求5所述的弹性接触器，其中，所述底座的中部开设有凹槽，所述上盖盖设在所述底座的顶端，并与所述底座围设成容纳腔，所述弹性接触器设置在所述上盖和底座之间，并将所述上盖和所述底座导通。7.如权利要求6所述的半导体制程腔室，其特征在于，所述底座的端面上设置环形第一导电沟槽，所述上盖的对应位置开设第二导电沟槽，所述第一导电沟槽和第二导电沟槽对接构成容纳空间，所述弹性接触器位于所述容纳空间内。

技术总结
本发明涉及半导体设备领域，具体公开了一种弹性接触器及半导体制程腔室，包括：管状弹性本体，本体的截面呈螺旋状，沿本体的长度方向，于本体上开设若干个缺口。本申请的弹性接触器的横截面呈螺旋状，接触面积大，回弹力强，保证了与上盖和底座紧密的接触，有效的电导通；本申请的弹性接触器上开设若干个缺口，使得弹性接触器可适配上盖和下盖的导电沟槽的形状。形状。形状。


技术研发人员：刘小俊 徐忠元 李春龙 卓鸿俊
受保护的技术使用者：北京子牛亦东科技有限公司
技术研发日：2022.03.11
技术公布日：2022/7/22