显示装置的制作方法

显示装置
1.相关申请的交叉引用
2.本技术基于2021年1月21日提交的日本专利申请号2021－008036并要求其优先权的权益，其全部内容通过参照而引入本文。
技术领域
3.本发明的实施方式涉及显示装置。


背景技术：

4.近年来，应用了有机发光二极管(oled)作为显示元件的显示装置正被实用化。显示元件在像素电极与共用电极之间具备有机层。有机层除了发光层之外还包含空穴输送层、电子输送层等功能层。这种有机层例如通过真空蒸镀法而形成。
5.有机层优选的是例如为了抑制邻接的像素间的串扰而按每个像素被分割配置。例如正在研究通过不使用掩模的蒸镀法按每个像素分割形成有机层的方法。


技术实现要素：

6.根据本实施方式，提供一种显示装置，具备：基材；第一绝缘层，配置于所述基材之上；第一下部电极以及第二下部电极，配置于所述第一绝缘层之上；第二绝缘层，配置于所述第一绝缘层之上，具有与所述第一下部电极重叠的第一开口部、与所述第二下部电极重叠的第二开口部、以及位于所述第一开口部与所述第二开口部之间的第一沟槽；有机层，包含发光层；以及上部电极，覆盖所述有机层，所述第一沟槽具有底面与从所述底面立起的第一侧面以及第二侧面，所述第一沟槽的上部的所述第一侧面与所述第二侧面的间隔比所述第一沟槽的所述底面的所述第一侧面与所述第二侧面的间隔小，所述有机层具有：第一部分，覆盖位于所述第一开口部的所述第一下部电极，且覆盖位于所述第一沟槽与所述第一开口部之间的所述第二绝缘层的第一面；第二部分，覆盖位于所述第二开口部的所述第二下部电极，且覆盖位于所述第一沟槽与所述第二开口部之间的所述第二绝缘层的第二面；以及第三部分，配置于所述第一沟槽的所述底面，与所述第一部分以及所述第二部分分离。
7.本实施方式能够提供可抑制显示质量的降低的显示装置。
附图说明
8.图1是表示本实施方式的显示装置的一构成例的俯视图。
9.图2是表示像素的俯视图。
10.图3是沿着图2所示的a－a’线的显示装置的剖面图。
11.图4是表示沟槽、有机层等的剖面图。
12.图5是表示有机层的俯视图。
13.图6是沿着图1所示的b－b’线的显示装置的剖面图。
14.图7是表示本实施方式的第一变形例的剖面图。
15.图8是表示本实施方式的第二变形例的俯视图。
16.图9是表示本实施方式的第三变形例的俯视图。
具体实施方式
17.以下，一边参照附图一边对本实施方式进行说明。另外，公开只不过是一个例子，关于本领域技术人员能够保持发明的主旨而容易想到的适当变更，当然包含在本发明的范围内。另外，附图为了使说明更明确，因此与实际的方式相比，有示意性地表示各部的宽度、厚度、形状等的情况，但只是一个例子，并非限定本发明的解释。另外，在本说明书与各图中，有时对与关于已出现的图叙述过的构成要素发挥相同或者类似的功能的构成要素，标注相同的参照附图标记，适当省略重复的详细说明。
18.本实施方式的显示装置dsp是作为显示元件而具备有机发光二极管(oled)的有机电致发光显示装置，搭载于电视机、个人计算机、移动终端、移动电话等。
19.图1是表示本实施方式的显示装置dsp的一构成例的俯视图。
20.附图所示的第一方向x、第二方向y以及第三方向z相互正交。另外，第一方向x、第二方向y以及第三方向z也可以以90度以外的角度交叉。在本说明书中，将朝向表示第三方向z的箭头的前端的方向称作“上”，将从箭头的前端朝向相反的方向称作“下”。另外，假设在表示第三方向z的箭头的前端侧具有观察显示装置dsp的观察位置，将从该观察位置朝向由第一方向x以及第二方向y规定的x－y平面观察称为俯视。
21.显示装置dsp具备绝缘性的基材10。基材10也可以是玻璃，也可以是具有挠性的树脂膜。另外，显示装置dsp具有显示图像的显示区域da、以及显示区域da的周边的非显示区域nda。
22.显示装置dsp在显示区域da中具备沿第一方向x以及第二方向y以矩阵状排列的多个像素px。像素px具备多个副像素sp1、sp2、sp3。在一个例子中，像素px具备红色的副像素sp1、绿色的副像素sp2、以及蓝色的副像素sp3。另外，像素px也可以具备除了上述的3色的副像素之外还加上白色等其他颜色的副像素而成的四个以上的副像素。
23.简单地对像素px所含的一个副像素sp的一构成例进行说明。
24.即，副像素sp具备像素电路1与通过像素电路1驱动控制的显示元件20。像素电路1具备像素开关2、驱动晶体管3、及电容器4。像素开关2以及驱动晶体管3例如是由薄膜晶体管构成的开关元件。
25.关于像素开关2，栅极电极连接于扫描线gl，源极电极连接于信号线sl，漏极电极连接于构成电容器4的一个电极以及驱动晶体管3的栅极电极。关于驱动晶体管3，源极电极连接于构成电容器4的另一个电极以及电源线pl，漏极电极连接于显示元件20的阳极。显示元件20的阴极连接于供电线fl。另外，像素电路1的构成不限于图示的例子。
26.显示元件20是作为发光元件的有机发光二极管(oled)。例如副像素sp1具备出射与红波长对应的光的显示元件，副像素sp2具备出射与绿波长对应的光的显示元件，副像素sp3具备出射与蓝波长对应的光的显示元件。关于显示元件20的构成见后述。
27.显示装置dsp具备位于非显示区域nda的电源线51以及52、多个周边电极6、焊盘pd1以及pd2。另外，非显示区域nda具有沿第二方向y延伸的第一区域n1以及第二区域n2与沿第一方向x延伸的第三区域n3。第一区域n1、显示区域da、第二区域n2依次沿第一方向x排
列。在第三区域n3安装未图示的柔性布线基板。
28.电源线51位于第一区域n1，电源线52位于第二区域n2。多个周边电极6分别在第一区域n1以及第二区域n2中沿第二方向y排列。焊盘pd1以及pd2位于第三区域n3。
29.电源线51与位于第一区域n1的多个周边电极6电连接。另外，电源线51与焊盘pd1电连接。电源线52与位于第二区域n2的多个周边电极6电连接。另外，电源线52与焊盘pd2电连接。
30.图2是表示像素px的俯视图。
31.在图2中，图示出显示装置dsp所具备的下部电极e11、e12、e13与绝缘层12。
32.下部电极(第一下部电极)e11配置于副像素sp1。下部电极(第二下部电极)e12配置于副像素sp2。下部电极e13配置于副像素sp3。下部电极e11至e13沿第一方向x排列。包含下部电极e11至e13的下部电极是按照每个副像素或者按照每个显示元件配置的电极，有时被称为像素电极、阳极等。
33.绝缘层12在俯视时形成为格子状。绝缘层12形成为划分显示元件或者副像素，有时被称为肋、隔壁等。绝缘层12具有重叠于下部电极e11的第一开口部op1、重叠于下部电极e12的第二开口部op2、及重叠于下部电极e13的第三开口部op3。绝缘层12覆盖下部电极e11至e13各自的周缘部，下部电极e11至e13各自的中央部在第一开口部op1、第二开口部op2、第三开口部op3从绝缘层12露出。
34.另外，绝缘层12具有沿第二方向y延伸且沿第一方向x排列的沟槽t11、t12、t13、t14与沿第一方向x延伸且沿第二方向y排列的沟槽t21、t22。沟槽(第一沟槽)t12位于第一开口部op1与第二开口部op2之间。沟槽t13位于第二开口部op2与第三开口部op3之间。沟槽t11隔着第一开口部op1而位于沟槽t12的相反侧。沟槽t14隔着第三开口部op3而位于沟槽t13的相反侧。沟槽t21与沟槽t11至t14相连。另外，沟槽t22与沟槽t11至t14相连。沟槽t21隔着第一开口部op1、第二开口部op2、第三开口部op3而位于沟槽t22的相反侧。
35.各沟槽在俯视时不与相邻的下部电极重叠。下部电极e11位于沟槽t11与t12之间，下部电极e12位于沟槽t12与t13之间，下部电极e13位于沟槽t13与t14之间。另外，下部电极e11至e13位于沟槽t21与t22之间。
36.这里，副像素的外形例如相当于下部电极的外形。即，构成一个像素px的副像素sp1、副像素sp2、以及副像素sp3分别形成为沿第二方向y延伸的大致长方形状，并沿第一方向x排列。沿第一方向x排列的邻接的副像素的发光颜色相互不同。另外，副像素sp1、副像素sp2、以及副像素sp3各自的面积可以相同，也可以如后述那样相互不同。另外，副像素的外形也可以由显示元件的发光区域的外形规定。
37.图3是沿着图2所示的a－a’线的显示装置dsp的剖面图。
38.显示装置dsp具备基材10、开关元件sw1以及sw2、绝缘层11、下部电极e11以及e12、绝缘层12、有机层or、及上部电极e2。另外，显示元件20a由下部电极e11、有机层or的第一部分or1、及上部电极e2构成。显示元件20b由下部电极e12、有机层or的第二部分or2、及上部电极e2构成。
39.开关元件sw1以及sw2配置于基材10之上。开关元件sw1以及sw2例如相当于图1所示的驱动晶体管3。绝缘层(第一绝缘层)11配置于基材10之上，将开关元件sw1以及sw2覆盖。绝缘层11相当于显示元件20a以及20b的基底层，例如是有机绝缘层。另外，图1所示的像
素电路1的像素开关2等配置于基材10之上，由绝缘层11覆盖，但这里省略图示。
40.下部电极e11以及e12配置于绝缘层11之上。下部电极e11经由形成在绝缘层11的接触孔ch1而与开关元件sw1电连接。下部电极e12经由形成在绝缘层11的接触孔ch2而与开关元件sw2电连接。
41.下部电极e11以及e12例如是由铟锡氧化物(ito)、铟锌氧化物(izo)等透明导电材料形成的透明电极。另外，下部电极e11以及e12也可以是由银、铝等金属材料形成的金属电极。另外，下部电极e11以及e12也可以是透明电极以及金属电极的层叠体。例如下部电极e11以及e12也可以构成为依次层叠有透明电极、金属电极以及透明电极而成的层叠体，也可以构成为3层以上的层叠体。
42.绝缘层(第二绝缘层)12配置于绝缘层11之上，并且将下部电极e11以及e12各自的周缘部覆盖。绝缘层12例如是有机绝缘层。绝缘层12具有上述的第一开口部op1、第二开口部op2、以及沟槽t12、第一面sf1、第二面sf2。第一开口部op1贯通绝缘层12直到下部电极e11。第二开口部op2贯通绝缘层12直到下部电极e12。第一面sf1位于沟槽t12与第一开口部op1之间。第二面sf2位于沟槽t12与第二开口部op2之间。另外，绝缘层12具有厚度th。厚度th在图示的例子中相当于绝缘层12的最高位置与绝缘层11之间的间隔，例如是1.5μm～2.0μm。
43.沟槽t12具有底面bs、从底面bs立起的第一侧面ss1以及第二侧面ss2。第一侧面ss1以及第二侧面ss2在第一方向x上隔开间隔地对置。第一侧面ss1与第一面sf1相连。第二侧面ss2与第二面sf2相连。沟槽t12相当于由第一侧面ss1、第二侧面ss2、以及底面bs包围的空间。沟槽t12具有深度d。深度d例如是0.5μm～1.0μm。
44.沟槽t12在其上部up具有第一侧面ss1与第二侧面ss2之间的间隔gp1，在底面bs具有第一侧面ss1与第二侧面ss2之间的间隔gp2。间隔gp1比间隔gp2小。即，沟槽t12形成为越从底面bs趋向上部up，则沿着第一方向x的宽度越变小。换言之，第一侧面ss1以与底面bs重叠的方式相对于底面bs的法线方向倾斜。同样，第二侧面ss2以与底面bs重叠的方式相对于底面bs的法线方向倾斜。
45.有机层or具有第一部分or1、第二部分or2、以及第三部分or3。
46.第一部分or1将位于第一开口部op1的下部电极e11与第一面sf1覆盖。
47.第二部分or2将位于第二开口部op2的下部电极e12与第二面sf2覆盖。第三部分or3位于沟槽t12的底面bs。第三部分or3与第一部分or1以及第二部分or2分离。有机层or如后述那样含有发光层el，这些第一部分or1、第二部分or2、以及第三部分or3包含同一颜色的发光层el。另外，有机层or除了发光层el之外还包含空穴注入层、空穴输送层、电子注入层以及电子输送层中的至少一个。
48.上部电极e2覆盖有机层or。即，上部电极e2分别覆盖第一部分or1、第二部分or2、以及第三部分or3。上部电极e2在沟槽t12的内部将第三部分or3覆盖，并与底面bs相接。另外，上部电极e2在沟槽t12的内部与第一侧面ss1以及第二侧面ss2相接。上部电极e2例如是由ito、izo等透明导电材料形成的透明电极。上部电极e2与位于图1所示的显示区域da中的供电线fl电连接。上部电极e2是对于多个副像素或者多个显示元件共用地配置的电极，有时被称为共用电极、对置电极、阴极等。另外，上部电极e2有时可被透明的保护层(包含无机绝缘层以及有机绝缘层中的至少一个)覆盖。
49.在显示元件20a中，第一部分or1位于下部电极e11与上部电极e2之间，因此能够形成发光区域。在显示元件20b中，第二部分or2位于下部电极e12与上部电极e2之间，因此能够形成发光区域。另外，第三部分or3位于绝缘层12与上部电极e2之间，并且与第一部分or1以及第二部分or2完全分离，因此不发光。另外，第一部分or1中的覆盖第一面sf1的区域位于绝缘层12与上部电极e2之间，因此几乎不发光。同样，第二部分or2中的覆盖第二面sf2的区域位于绝缘层12与上部电极e2之间，因此几乎不发光。
50.上述的有机层or例如通过真空蒸镀法形成。在图中用单点划线示出了用于形成有机层or的有机材料被从蒸镀源释放出的情形。
51.在形成具有第一开口部op1、第二开口部op2、以及沟槽t12的绝缘层12之后，将用于形成有机层or的有机材料进行蒸镀。第一侧面ss1以与底面bs重叠的方式倾斜，因此在第一侧面ss1上几乎不形成有机层or。由此，有机层or分离地形成第一部分or1与第三部分or3。同样，第二侧面ss2以与底面bs重叠的方式倾斜，因此在第二侧面ss2上几乎不形成有机层or。由此，有机层or分离地形成第二部分or2与第三部分or3。另外，底面bs中的与第一侧面ss1以及第二侧面ss2在第三方向z上重叠的区域中几乎不形成有机层or。另外，上部电极e2通过溅射形成，因此在有机层or之上连续地形成在底面bs、第一侧面ss1以及第二侧面ss2。
52.根据本实施方式，绝缘层12具有沟槽t12。另外，沟槽t12形成为越从底面bs趋向上部up，则沿着第一方向x的宽度越变小。因此，能够将有机层or在沟槽t12中分离地形成为位于副像素sp1的第一部分or1与位于副像素sp2的第二部分or2。即，通过不使用掩模的整面蒸镀，能够按每个副像素而分离地形成有机层or。由此，可抑制邻接的副像素之间的串扰。另外，由于不需要用于分离有机层or的另外的部件，因此能够抑制制造成本。
53.另外，第一侧面ss1与第二侧面ss2之间的间隔也可以改称为沟槽t12的宽度。另外，在图3所示的例子中，第一侧面ss1、第二侧面ss2、以及底面bs分别是平面，但也可以是曲面。在第一侧面ss1、第二侧面ss2、以及底面bs是平面的情况下，沟槽t12的最大宽度相当于底面bs的宽度。但是，在第一侧面ss1、第二侧面ss2、以及底面bs包含曲面的情况下，沟槽t12的最大宽度不一定相当于底面bs的宽度，而是有在比底面bs靠上侧处沟槽t12的宽度成为最大的情况。在该情况下，例如在沟槽t12的高度的1/2以下、进而是1/3以下的位置处，沟槽t12的宽度成为最大。
54.另外，在下部电极e11以及e12的电位比上部电极e2的电位相对高的情况下，下部电极e11以及e12相当于阳极，上部电极e2相当于阴极。在上部电极e2的电位比下部电极e11以及e12的电位相对高的情况下，上部电极e2相当于阳极，下部电极e11以及e12相当于阴极。
55.另外，例如在显示区域da的所有副像素sp上配置有包含同一颜色的发光层el的有机层or。在各显示元件的发光色是白色的情况下，通过配置与显示元件对置的滤色器，能够实现多色显示。另外，在各显示元件的发光色是紫外光的情况下，通过配置与显示元件对置的光转换层，能够实现多色显示。
56.图4是表示沟槽t12、有机层or等的剖面图。
57.有机层or具备层叠的第一层l1、第二层l2、以及第三层l3。即，第一部分or1、第二部分or2、以及第三部分or3分别具备层叠的第一层l1、第二层l2、以及第三层l3。另外，如上
述那样，有机层or包含发光层el，例如发光层el是第一层l1、第二层l2、以及第三层l3中的任一个。
58.第一部分or1与第一侧面ss1相接。在第一侧面ss1，第一层l1的端部eg11由第二层l2覆盖，第二层l2的端部eg21由第三层l3覆盖。第二部分or2与第二侧面ss2相接。在第二侧面ss2，第一层l1的端部eg12由第二层l2覆盖，第二层l2的端部eg22由第三层l3覆盖。
59.在本实施方式中，第一侧面ss1以及第二侧面ss2分别以与底面bs重叠的方式倾斜，因此以第二层l2覆盖第一层l1、第三层l3覆盖第二层l2的方式被蒸镀。因此，能够抑制第一层l1以及第二层l2从第三层l3露出，能够抑制上部电极e2与第一层l1以及第二层l2接触。由此，从第一层l1以及第二层l2向上部电极e2的电流泄漏得以抑制，能够抑制显示元件的性能恶化。
60.另外，例如设为第一层l1以及第三层l3是功能层，第二层l2是发光层el。第一层l1以及第三层l3例如是空穴注入层、空穴输送层、空穴阻挡层、电子注入层、电子输送层、电子阻挡层，但也可以是其他功能层。另外，第一层l1以及第三层l3各自不限于单层体，也可以是层叠有多个功能层而成的层叠体。另外，也可以省略第一层l1以及第三层l3中的至少一方。
61.作为一个例子，在下部电极相当于阳极的情况下，发光层el与下部电极之间的第一层l1包含空穴注入层以及空穴输送层中的至少一个，发光层el与上部电极e2之间的第三层l3包含电子输送层以及电子注入层中的至少一个。
62.图5是表示有机层or的俯视图。在图5中，用斜线表示配置有有机层or的区域。
63.第一部分or1配置于副像素sp1。第二部分or2配置于副像素sp2。第一部分or1以及第二部分or2沿第一方向x排列。
64.第三部分or3在俯视时形成为格子状。第三部分or3具有沿第二方向y延伸且沿第一方向x排列的部分or31、or32、or33与沿第一方向x延伸且沿第二方向y排列的部分or34、or35。部分or32位于第一部分or1与第二部分or2之间。部分or31隔着第一部分or1而位于部分or32的相反侧。部分or33隔着第二部分or2位于部分or32的相反侧。部分or34与部分or31至or33相连。部分or35与部分or31至or33相连。部分or34隔着第一部分or1以及第二部分or2而位于部分or35的相反侧。
65.部分or31至or33分别位于沟槽t11至t13内。另外，部分or34以及or35分别位于沟槽t21以及t22内。
66.另外，第一部分or1的外形形成为在俯视时比下部电极e11的外形大。第二部分or2的外形形成为在俯视时比下部电极e12的外形大。
67.图6是沿着图1所示的b－b’线的显示装置dsp的剖面图。
68.周边电极6以及电源线52位于绝缘层11之上。绝缘层12覆盖周边电极6以及电源线52。有机层or未形成于非显示区域nda。上部电极e2在非显示区域nda中覆盖绝缘层12，经由形成于绝缘层12的接触孔ch3而连接于周边电极6。另外，在图示的例子中，周边电极6以及电源线52与下部电极e10位于同一层，但也可以分别位于与下部电极e10不同的层。
69.图7是表示本实施方式的第一变形例的剖面图。图7所示的构成与图3所示的构成比较，在沟槽t12贯通绝缘层12直到绝缘层11这一点不同。
70.在图示的例子中，底面bs相当于绝缘层11的上表面。因此，第三部分or3以及上部
电极e2在沟槽t12内与绝缘层11相接。
71.在这种第一变形例中，也能够获得与上述相同的效果。
72.图8是表示本实施方式的第二变形例的俯视图。图8所示的构成与图2所示的构成比较，副像素sp1、副像素sp2、以及副像素sp3的布局不同。
73.下部电极e11以及e12沿第二方向y排列。下部电极e13沿下部电极e11以及e12的第一方向x排列。
74.绝缘层12具有沿第二方向y延伸且沿第一方向x排列的沟槽t15、t16、t17与沿第一方向x延伸且沿第二方向y排列的沟槽t23、t24、t25。沟槽t16位于第一开口部op1以及第二开口部op2与第三开口部op3之间。沟槽t15隔着第一开口部op1以及第二开口部op2而位于沟槽t16的相反侧。沟槽t17隔着第三开口部op3而位于沟槽t16的相反侧。沟槽t23与沟槽t15至t17相连。沟槽t24与沟槽t15以及t16相连。沟槽t25与沟槽t15至t17相连。沟槽t23隔着第一开口部op1、第二开口部op2、以及第三开口部op3而位于沟槽t25的相反侧。沟槽t24位于第一开口部op1与第二开口部op2之间。
75.各个沟槽在俯视时不与相邻的下部电极重叠。在第一方向x上，下部电极e11以及e12位于沟槽t15与t16之间，下部电极e13位于沟槽t16与t17之间。另外，在第二方向y上，下部电极e11位于沟槽t23与t24之间，下部电极e12位于沟槽t24与t25之间，下部电极e13位于沟槽t23与t25之间。
76.副像素sp1以及副像素sp2沿第二方向y排列，副像素sp1以及副像素sp3沿第一方向x排列，副像素sp2以及副像素sp3沿第一方向x排列。副像素sp1形成为沿第一方向x延伸的大致长方形状，副像素sp2以及副像素sp3形成为沿第二方向y延伸的大致长方形状。副像素sp1至sp3的发光色相互不同。另外，副像素sp1至sp3各自的面积相互不同。副像素sp2的面积比副像素sp1的面积大，副像素sp3的面积比副像素sp2的面积大。另外，副像素sp1的面积也可以与副像素sp2的面积相同。
77.在这种第二变形例中，也能够获得与上述相同的效果。
78.图9是表示本实施方式的第三变形例的俯视图。图9所示的构成与图2所示的构成比较，副像素sp1、副像素sp2、以及副像素sp3的布局不同。图9所示的方向dr1相对于第二方向y逆时针以角度θ1倾斜，图9所示的方向dr2相对于第二方向y顺时针以角度θ2倾斜。
79.绝缘层12具有沿方向dr1延伸且沿方向dr2排列的多个沟槽t1与沿方向dr2延伸且沿方向dr1排列的多个沟槽t2。多个下部电极e11与多个第一开口部op1分别位于多个红色的副像素sp1。多个下部电极e12与多个第二开口部op2分别位于多个绿色的副像素sp2。多个下部电极e13与多个第三开口部op3分别位于多个蓝色的副像素sp3。
80.多个下部电极e11以及e12在相邻的两个沟槽t1之间沿方向dr1交替地排列。另外，多个下部电极e12以及e13在相邻的两个沟槽t1之间沿方向dr1交替地排列。多个下部电极e11以及e12在相邻的两个沟槽t2之间沿方向dr2交替地排列。另外，多个下部电极e12以及e13在相邻的两个沟槽t2之间沿方向dr2交替地排列。各个沟槽t1以及t2在俯视时不与相邻的下部电极重叠。
81.副像素sp1以及sp3形成为大致正方形状，一部分的副像素sp2形成为沿方向dr1延伸的大致长方形状，其他副像素sp2形成为沿方向dr2延伸的大致长方形状。另外，副像素sp1至sp3各自的面积相互不同。副像素sp3的面积比副像素sp1的面积大，副像素sp1的面积
比副像素sp2的面积大。
82.在这种第三变形例中，也能够获得与上述相同的效果。
83.如以上说明那样，根据本实施方式，能够获得可抑制显示质量的降低的显示装置。
84.另外，虽然说明了本发明的几个实施方式，但这些实施方式是作为例子而提出的，并不意图限定发明的范围。这些新的实施方式能够以其他各种方式实施，在不脱离发明的主旨的范围内能够进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形包含在发明的范围、主旨中，并且包含在权利要求书所记载的发明及其等价的范围中。