一种镜面在线洁净处理装置的制作方法

1.本实用新型属于光学元件洁净处理技术领域，具体地说涉及一种镜面在线洁净处理装置。


背景技术：

2.光学镜属于激光器装置的重要器件，主要的作用是激光振荡及激光光束传输。在激光器工作过程中，若光学镜面有颗粒污染，颗粒污染将吸收激光能量产生局部高温，从而诱导激光损伤镜面，导致激光装置性能下降甚至不能工作。
3.目前，光学镜面颗粒污染大多采用人工擦拭进行洁净处理。但是，激光器装置的光学镜通常在密闭性较好的舱体内，镜面检查和洁净处理需开启舱体逐一开展检查和擦拭。同时，随着激光器装置功率密度提升，对镜面洁净控制提出了更高的要求，此外，随着系统光路布局更为复杂，结构紧凑，光学镜洁净处理操作复杂，效率低，实现方式困难。


技术实现要素：

4.针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种镜面在线洁净处理装置。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种镜面在线洁净处理装置，包括镜架、风刀和壳体，所述镜架上开设用于安装光学镜的安装孔，且壳体套设于镜架的外围，所述风刀与气源连通，且风刀固设于固定组件上，所述固定组件与壳体之间设有用于调节风刀刀口方向的调节组件。
7.进一步，所述固定组件包括第一固定板和第二固定板，且第一固定板、第二固定板分别位于风刀的不同侧。
8.进一步，所述第一固定板和第二固定板的夹角为60
°‑
120
°
。
9.进一步，所述第一固定板和第二固定板的夹角为80
°‑
100
°
。
10.进一步，所述第一固定板上开设固定孔，所述第二固定板上开设球窝孔。
11.进一步，所述固定孔内设有固定螺栓，用于连接第一固定板和风刀。
12.进一步，所述球窝孔内设有球头螺钉，所述壳体上开设用于容纳球头螺钉的条形孔。
13.进一步，所述条形孔的延伸方向与风刀的长度方向相垂直。
14.进一步，所述壳体上设有调节孔，所述调节孔内设有调节螺栓，且调节螺栓的末端与第二固定板相抵。
15.进一步，所述调节螺栓上设有调节螺母，通过调整调节螺栓拧入调节孔的长度，调节风刀刀口与光学镜镜面的间距及角度，并过调节螺母锁定。
16.进一步，所述镜架上设有收集箱，所述收集箱通过连接管路与外围排放设备连通。
17.本实用新型的有益效果是：
18.1、通过风刀在线去除光学镜镜面的污染物，避免开启光学镜放置舱体及人员引入
污染的问题，提高了光学镜镜面的损伤阈值及激光器装置的安全性。
19.2、通过调节组件调整风刀刀口与光学镜镜面的间距、角度，调节风刀风幕对光学镜镜面的覆盖范围和受力角度，实现不同放置角度、不同尺度的光学镜镜面洁净处理。
20.3、光学镜安装于镜架上，保证了光学镜镜面与镜架的相对位置，提高污染物去除率。
21.4、通过收集箱收集去除的污染物，避免二次扬尘导致光学镜镜面二次污染的问题，同时，外围排放设备通过负压抽吸方式实现收集污染物排散处理。
附图说明
22.图1是本实用新型的整体结构示意图；
23.图2是本实用新型去除壳体的结构示意图；
24.图3是图2的左视图；
25.图4是壳体的结构示意图。
26.附图中：1-镜架、2-光学镜、3-壳体、4-收集箱、5-连接管路、6-风刀、7-第一固定板、8-第二固定板、9-固定孔、10-球头螺钉、11-调节螺栓、12-调节孔、13-条形孔。
具体实施方式
27.为了使本领域的人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合本实用新型的附图，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本技术保护的范围。此外，以下实施例中提到的方向用词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本发明创造。
28.下面结合附图和较佳的实施例对本实用新型作进一步说明。
29.实施例一：
30.如图1-图4所示，一种镜面在线洁净处理装置，包括镜架1、风刀6和壳体3，所述镜架1上开设用于安装光学镜2的安装孔，且壳体3套设于镜架1的外围，所述风刀6与气源连通，且风刀6固设于固定组件上，所述固定组件与壳体3之间设有用于调节风刀刀口方向的调节组件。
31.所述固定组件包括第一固定板7和第二固定板8，且第一固定板7、第二固定板8分别位于风刀6的不同侧。也就是说，第一固定板7和第二固定板8之间形成夹角，所述第一固定板7和第二固定板8的夹角为60
°‑
120
°
，优选的，所述第一固定板7和第二固定板8的夹角为80
°‑
100
°
，优选的，所述第一固定板7和第二固定板8的夹角为90
°
。
32.所述第一固定板7上开设固定孔9，所述第二固定板8上开设球窝孔。所述固定孔9内设有固定螺栓，用于连接第一固定板7和风刀6。
33.所述球窝孔内设有球头螺钉10，所述壳体3上开设用于容纳球头螺钉10的条形孔13，具体的，所述条形孔13的延伸方向与风刀6的长度方向相垂直。同时，所述壳体3上设有调节孔12，所述调节孔12内设有调节螺栓11，且调节螺栓11的末端与第二固定板8相抵。所述调节螺栓11上设有调节螺母，通过调整调节螺栓11拧入调节孔12的长度，调节风刀刀口与光学镜镜面的间距及角度，并过调节螺母锁定。同时，通过调整球头螺钉10与条形孔13的
相对位置，调节调节风刀刀口与光学镜镜面的相对位置，实现不同放置角度、不同尺度的光学镜镜面洁净处理。
34.所述镜架1上设有收集箱4，所述收集箱4的底部通过连接管路5与外围排放设备连通。
35.一种镜面在线洁净处理装置的工作过程如下：
36.首次启动前，启动外围排放设备，通过收集箱4和连接管路5建立收集流场，通过负压抽吸方式实现收集污染物排散处理。工作阶段，启动气源，污染物受到气流吹扫而克服其与光学镜镜面之间的附着力，从而脱离光学镜镜面被去除。工作结束后，持续启动外围排放设备，通过收集箱4和连接管路5持续收集并排散气流。
37.实施例二：
38.本实施例与实施例一相同的部分不再赘述，不同的是：
39.气源为洁净气体，优选洁净空气或氮气，气源洁净度优于100级、露点优于-40℃、压力范围0.5mpa-1mpa，优选的，气源压力0.7mpa-0.8mpa。
40.风刀刀口为30μm-70μm，优选的，所述风刀刀口为50μm。光学镜镜面风速30m/s-80m/s，优选的，所述镜面风速为50m/s。风刀6进气时间为1s-20s，优选的，所述风刀6进气时间为10s。
41.第一固定板7和第二固定板8的厚度4mm-10mm，优选的，第一固定板7和第二固定板8的厚度5mm。球窝孔内径6mm-10mm，外径14mm-18mm，优选的，所述球窝孔内径8mm，外径16mm。
42.条形孔13长度4mm-8mm，优选的，条形孔13长度6mm，调节孔12大小m4-m8，调节孔12与条形孔13中心间距10mm-14mm，优选的，所述调节孔12大小m6，调节孔12与条形孔13中心间距12.5mm。
43.光学镜2尺寸φ300mm，镜面为0
°
立放方式，监测尺寸φ270mm，镜面洁净度等级大于500级，镜架1采用铝合金，外围排放设备采用无油罗茨风机。镜面污染物去除率95％，镜面洁净度优于200级，满足镜面洁净处理要求。
44.实施例三：
45.本实施例与实施例二相同的部分不再赘述，不同的是：
46.光学镜2放置方式为45
°
方向放置，镜面尺寸为φ300mm，监测尺寸为φ270mm。镜面污染物去除率93％-95％，满足镜面洁净处理要求。
47.实施例四：
48.本实施例与实施例二相同的部分不再赘述，不同的是：
49.光学镜2放置方式为水平方向放置，镜面污染物去除率93％-95％，满足镜面洁净处理要求。
50.以上已将本实用新型做一详细说明，以上所述，仅为本实用新型之较佳实施例而已，当不能限定本实用新型实施范围，即凡依本技术范围所作均等变化与修饰，皆应仍属本实用新型涵盖范围内。