一种镜面在线洁净处理装置的制作方法

技术特征：
1.一种镜面在线洁净处理装置，其特征在于，包括镜架、风刀和壳体，所述镜架上开设用于安装光学镜的安装孔，且壳体套设于镜架的外围，所述风刀与气源连通，且风刀固设于固定组件上，所述固定组件与壳体之间设有用于调节风刀刀口方向的调节组件。2.根据权利要求1所述的镜面在线洁净处理装置，其特征在于，所述固定组件包括第一固定板和第二固定板，且第一固定板、第二固定板分别位于风刀的不同侧。3.根据权利要求2所述的镜面在线洁净处理装置，其特征在于，所述第一固定板上开设固定孔，所述固定孔内设有用于连接第一固定板和风刀的固定螺栓。4.根据权利要求2所述的镜面在线洁净处理装置，其特征在于，所述第二固定板上开设球窝孔，所述球窝孔内设有球头螺钉，所述壳体上开设用于容纳球头螺钉的条形孔。5.根据权利要求4所述的镜面在线洁净处理装置，其特征在于，所述条形孔的延伸方向与风刀的长度方向相垂直。6.根据权利要求5所述的镜面在线洁净处理装置，其特征在于，所述壳体上设有调节孔，所述调节孔内设有调节螺栓，且调节螺栓的末端与第二固定板相抵。7.根据权利要求1-6任一所述的镜面在线洁净处理装置，其特征在于，所述镜架上设有收集箱，所述收集箱通过连接管路与外围排放设备连通。

技术总结
本实用新型涉及一种镜面在线洁净处理装置，包括镜架、风刀和壳体，所述镜架上开设用于安装光学镜的安装孔，且壳体套设于镜架的外围，所述风刀与气源连通，且风刀固设于固定组件上，所述固定组件与壳体之间设有用于调节风刀刀口方向的调节组件，本实用新型通过风刀在线去除光学镜镜面的污染物，避免开启光学镜放置舱体及人员引入污染的问题，提高了光学镜镜面的损伤阈值及激光器装置的安全性。面的损伤阈值及激光器装置的安全性。面的损伤阈值及激光器装置的安全性。


技术研发人员：谢秀芳 刘军 李春领 张绍武 柳丽卿 万敏 吴建平 姜淞元 耶军 陈刚
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院应用电子学研究所
技术研发日：2022.03.29
技术公布日：2022/7/19