一种导流装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工设备领域，具体而言，涉及一种导流装置。


背景技术：

2.连续喷雾显影是将显影液以雾状形式喷洒到基片上,同时基片以100r/min～500r/min的速度旋转。该方法容易导致显影单元内形成过多的小水滴式的显影液,它们类似一个个透镜,对后续的工艺会造成不良影响。另外显影液采用喷嘴以雾状形式喷出,从高压区进入低压区,会发生绝热冷却效应,从而改变显影单元内的温度,为此还需添加一个加热系统。
3.经发明人研究发现，现有的显影设备存在如下缺点：
4.显影液排出位置与定位基片的定位件之间的距离是固定的，使用范围小，并且显影效果差。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种导流装置，其能够适应对不同厚度尺寸的基片的作业场景，使用范围广，成本低，同时，在应用于基片显影场景下时显影效果好。
6.本实用新型的实施例是这样实现的：
7.本实用新型提供一种导流装置，包括：
8.溢流组件、基体和导流板，所述溢流组件具有出液口，所述溢流组件与所述基体连接；所述导流板设有出液侧，所述导流板用于承接从所述出液口流出的液体并使所述液体从所述出液侧排出；所述导流板与所述基体活动连接，用于调节所述出液侧相对于所述基体之间的距离。
9.在可选的实施方式中，所述导流板与所述基体在第一方向上可滑动地连接，以调节所述导流板与所述基体在所述第一方向上的距离，其中所述第一方向为导流板的厚度方向。
10.在可选的实施方式中，所述导流板与所述基体通过卡接组件连接；所述卡接组件具有相互切换的解锁状态和锁定状态，处于所述解锁状态时，所述导流板能相对于所述基体在所述第一方向上滑动，处于所述锁定状态时，所述导流板与所述基体在所述第一方向上相对固定。
11.在可选的实施方式中，所述卡接组件包括固定杆和多个凸起，所述多个凸起均与所述固定杆连接且在所述固定杆的延伸方向上间隔排布；所述固定杆与所述导流板连接；所述基体上设置有连通的避让孔和卡接孔；在所述卡接组件处于所述解锁状态时，所述固定杆穿设于所述避让孔内；所述卡接组件处于所述锁定状态时，所述固定杆穿设于所述卡接孔内，且所述多个凸起中的一个与所述卡接孔的孔口所在端面抵持。
12.在可选的实施方式中，所述凸起设置为环形结构。
13.在可选的实施方式中，所述导流板与所述基体在与第一方向具有夹角的第二方向
上可滑动地连接，以调节所述导流板与所述基体在所述第二方向上的距离。
14.在可选的实施方式中，所述导流板具有相连的引导平面和引导斜面，所述引导平面与所述引导斜面具有夹角，所述引导斜面远离所述引导平面的一侧设置为出液侧。
15.在可选的实施方式中，所述溢流组件与所述基体活动连接，以调节所述溢流组件与所述导流板之间的距离。
16.在可选的实施方式中，所述溢流组件包括溢流箱和连接件，所述出液口设于所述溢流箱上，所述连接件与所述溢流箱连接；所述连接件与所述基体活动连接，用于调节所述溢流箱与所述基体之间的距离。
17.在可选的实施方式中，所述基体上设置有调节件，所述调节件设置有多个间隔排布的插孔，所述连接件与多个所述插孔中的一个插接配合。
18.在可选的实施方式中，所述连接件上设置有固定孔，所述固定孔内用于插接固定销，所述固定销用于限制所述连接件脱离所述插孔。
19.本实用新型实施例的有益效果是：
20.综上所述，本实施例提供的导流装置，可以应用于基片显影作业场景下，使用时，将该导流装置与定位基片的定位装置配合，基片定位于定位装置上。然后，根据基片的厚度，调整导流板相对于基体的位置，从而调整导流板与基片之间的距离，如此，使得导流板与基片之间的距离可控，既保证从导流板流向基片的显影液能够均匀覆盖基片表面，还能够适应不同厚度尺寸的基片的显影，使用便捷灵活，使用范围广，降低成本。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
22.图1为本实用新型实施例的导流装置的结构示意图；
23.图2为图1中的局部放大结构示意图；
24.图3为本实用新型实施例的溢流组件的一视角的结构示意图；
25.图4为本实用新型实施例的溢流组件的另一视角的结构示意图；
26.图5为本实用新型实施例的基体的结构示意图；
27.图6为本实用新型实施例的安装条的结构示意图。
28.图标:
29.100-溢流组件；110-溢流箱；111-第一补液口；112-第二补液口；113-第一出液口；114-第二出液口；120-连接件；121-固定孔；130-第一引导板；140-第二引导板；200-基体；210-安装杆；220-连接杆；300-导流板；301-安装条；310-避让孔；320-卡接孔；330-出液侧；400-调节件；410-插孔；500-固定销；600-卡接组件；610-固定杆；620-凸起。
具体实施方式
30.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描
述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
31.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
32.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
33.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
34.此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
35.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
36.目前，采用连续喷雾显影设备对基片进行显影作业时，将基片安装在载体上，然后，将显影液通过喷嘴喷至基片表面。现有技术中，显影液通过喷嘴喷向基片表面时，显影液无法均匀地覆盖在基片的表面，会造成显影不足、不完全显影和过显影的现象，从而影响显影之后的工艺。
37.请结合图1-图6，鉴于此，设计者设计了一种导流装置，能应用于基片显影作业场景下，根据基片的厚度可以调整导流板300的高度，从而调整导流板300和基片之间的距离，使得显影液能均匀覆盖基片的表面，同时，还能够适应不同厚度基片的显影，使用范围广。
38.请结合图1，本实施例中，导流装置包括溢流组件100、基体200和导流板300，溢流组件100具有出液口，溢流组件100与基体200连接；导流板300设有出液侧330，导流板300用于承接从出液口流出的液体并使液体从出液侧330排出；导流板300与基体200活动连接，用于调节出液侧330相对于基体200之间的距离。
39.本实施例提供的导流装置的作业原理如下：
40.使用时，将该导流装置与定位基片的定位装置配合，基片定位于定位装置上。然后，根据基片的厚度，调整导流板300相对于基体200的位置，由于基体200与定位装置的位置不变，从而实现了调整导流板300与基片之间的距离，如此，使得导流板300与基片之间的距离可控，既保证从导流板300流向基片的显影液能够均匀覆盖基片表面，还能够适应不同厚度尺寸的基片的显影，使用便捷灵活，使用范围广，降低成本。
41.请参阅图3-图4，本实施例中，溢流组件100包括溢流箱110和连接件120。溢流箱110上设置有均与溢流箱110的内腔连通的第一补液口111、第二补液口112、第一出液口113和第二出液口114。具体的，溢流箱110为矩形箱，溢流箱110包括层叠排布且相互独立的第一内腔和第二内腔，第一补液口111和第一出液口113均与第一内腔连通，第二补液口112和第二出液口114均与第二内腔连通，第一补液口111用于补充显影液，第二补液口112用于补充纯水。第一出液口113供显影液流出，第二出液口114供纯水流出。进一步的，溢流箱110上设置有第一引导板130和第二引导板140，第一引导板130设于第一出液口113下方，第二引导板140处于第二出液口114下方，并且，第一出液口113和第二出液口114均设置为条形口，第一引导板130和第二引导板140均为条形板均倾斜设置，第一引导板130和第二引导板140远离溢流箱110的一侧向下倾斜。从第一出液口113流出的显影液在第一引导板130的作用下流动，使得显影液呈水幕式流动。从第二出液口114流出的纯水在第二引导板140的作用下流动，使得纯水呈水幕式流动。如此，使得显影液和纯水均能够均匀地流动至导流板300上，从而再从导流板300均匀地流向基片表面，提高显影质量。应当理解，在其他实施例中，溢流箱110可以不限制为矩形箱，还可以是其他形状的箱体结构。
42.可选的，连接件120设置为圆柱杆，连接件120的数量为四个，四个连接件120的一端均与溢流箱110的同一侧连接，另一端用于插接在基体200上。同时，每个连接件120上均设置有固定孔121，固定孔121的轴线与连接件120的长度方向垂直。应当理解，在其他实施例中，连接件120可以是板状或其他结构，并且连接件120的数量不限于是四个，例如，在其他实施例中，连接件120的数量为一个、三个、六个、七个或八个等。
43.本实施例中，可选的，基体200上设置有两个调节件400，两个调节件400在第一方向上间隔排布。每个调节件400上设置有多个间隔排布的插孔410，多个插孔410可以呈矩形阵列排布，例如，本实施例中，每个调节件400上的多个插孔410设置为两列，两列插孔410沿第一方向排布。每一列中插孔410的数量均为多个，且位于同一列的多个插孔410在与第一方向垂直的第二方向上均匀间隔排布。四个连接件120分别与四列插孔410对应，每个连接件120能选择性地插接在一个插孔410中，并且，连接件120插入的位置不同，连接件120在第二方向上相对于基体200的位置也不同，而连接件120与溢流箱110固定连接，从而通过调整连接件120与不同位置插孔410对应插接，就能实现溢流箱110相对于基体200在第二方向上的距离调整，也即，能实现溢流箱110相对于与基体200连接的导流板300在第二方向上的距离。
44.请结合图2，进一步的，当连接件120插接在调节件400上的插孔410内后，连接件120上的固定孔121伸出插孔410，也即在连接件120插入插孔410的方向上，固定孔121凸出调节件400设置。为了提高连接件120与调节件400的连接牢固性，在可以在每个连接件120的固定孔121中插接固定销500，从而避免连接件120在沿与连接件120插入插孔410的方向相反的方向上退出插孔410。
45.需要说明的是，固定销500可以为圆柱销，且固定销500的一端与基体200连接，另一端设置有倒角。
46.请参阅图5，本实施例中，可选的，基体200包括平行且相对设置的两根安装杆210以及同时连接于两根安装杆210的连接杆220。每根安装杆210均可以设置为方形杆，每根安装杆210上设置有多个卡接部，多个卡接部在安装杆210的长度方向上均匀间隔排布。每个
卡接部包括连通的避让孔310和卡接孔320，避让孔310和卡接孔320均为圆弧形孔，避让孔310的孔径大于卡接孔320的孔径。例如，本实施例中，每根安装杆210上设置有三个卡接部。连接杆220可以为方形杆，连接杆220的数量不限。
47.本实施例中，可选的，导流板300设置为方形板，导流板300同时与两根安装通过卡接组件600可升降地连接。导流板300位于基体200和第二出液口114之间，导流板300面向第二出液口114的板面包括相连的引导平面和引导斜面，引导平面与引导斜面具有夹角，引导平面用于承接液体并能使液体在重力作用下流向引导斜面，引导斜面远离引导平面的一侧为出液侧。应当理解，当导流板300设于基体200上后，出液侧的高度低于引导平面的高度。
48.可选的，卡接组件600的数量与卡接部的数量相等，在本实施例中，当每个安装杆210上设置三个卡接部时，两根安装杆210上一共具有六个卡接部，此时，卡接组件600的数量为六个，六个卡接组件600与六个卡接部一一对应且在第二方向上可滑动地连接，从而带动导流板300能相对于基体200在第二方向上升降。
49.可选的，每个卡接组件600均包括固定杆610和多个凸起620，固定杆610为圆柱杆，多个凸起620均为环形凸起620，多个凸起620均围绕固定杆610设置，且多个凸起620在固定杆610的轴线延伸方向上均匀间隔排布。固定杆610的一端固定在导流板300上，另一端用于与对应的卡接部配合。同时，凸起620的最大横截面外轮廓上任意两点之间的距离不大于避让孔310的孔径，且不小于卡接孔320的孔径。同时，固定杆610能够在避让孔310和卡接孔320之间往复移动。其中，横截面为垂直于固定杆610的长度方向的平面。如此设计，当固定杆610穿设于避让孔310内时，固定杆610以及凸起620均能够在避让孔310的轴线延伸方向上移动，如此，可以调节导流板300相对于基体200的高度；当高度调节至设定要求后，使固定杆610从避让孔310移动至卡接孔320中，由于凸起620的结构设计，凸起620不能够穿过卡接孔320，从而能使凸起620与安装杆210抵持，限制固定杆610在卡接孔320的轴线延伸方向上的运动，能够保持导流板300与基体200的相对位置固定。或者，当固定杆610从避让孔310移动至卡接孔320内时，同一固定杆610上的相邻两个凸起620能够夹持安装杆210，从而进一步提高导流板300和基体200之间的结构稳定性。
50.应当理解，在其他实施例中，卡接部可以设置于导流板300上，对应的，卡接组件600设置于安装杆210上。如此，同样可以实现通过卡接组件600连接导流板300和基体200，并且使导流板300能够在第二方向上相对于基体200调节位置。如图6中所示，导流板300的两侧分别设有一个安装条301，卡接部设于安装条301上。
51.在其他实施例中，导流板300还可以相对于基体200在第二方向上调整位置，第二方向与第一方向垂直设置。如此，能够调整出液侧330与工件在水平方向上的相对位置。
52.本实施例提供的导流装置的使用流程如下：
53.先根据基片的厚度调整导流板300与基体200之间的距离，使导流板300与基片之间的距离满足要求。然后，在根据需求调整溢流组件100与导流板300之间的距离，使得从溢流组件100流出的液体能够呈水幕状流入导流板300上。然后，在进行显影时，显影液从第一出液口113流出，并经过导流板300后均匀的覆盖在基片的表面上。显影完成后，调整溢流组件100的位置，使第二出液口114与导流板300的距离适中，纯水从第二出液口114流出时能够呈水幕状，并且经过导流板300后能均匀的覆盖基片的表面。导流装置能按需调整溢流组件100和导流板300的位置，显影和清洗效果好，使用范围广。
54.需要说明的是，该导流装置还可以应用于其他作业场景下，例如，应用于涂酸或镀膜等作业场景。
55.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。