一种导流装置的制作方法

技术特征：
1.一种导流装置，其特征在于，包括：溢流组件、基体和导流板，所述溢流组件具有出液口，所述溢流组件与所述基体连接；所述导流板设有出液侧，所述导流板用于承接从所述出液口流出的液体并使所述液体从所述出液侧排出；所述导流板与所述基体活动连接，用于调节所述出液侧相对于所述基体之间的距离。2.根据权利要求1所述的导流装置，其特征在于：所述导流板与所述基体在第一方向上可滑动地连接，以调节所述导流板与所述基体在所述第一方向上的距离，其中所述第一方向为导流板的厚度方向。3.根据权利要求2所述的导流装置，其特征在于：所述导流板与所述基体通过卡接组件连接；所述卡接组件具有相互切换的解锁状态和锁定状态，处于所述解锁状态时，所述导流板能相对于所述基体在所述第一方向上滑动，处于所述锁定状态时，所述导流板与所述基体在所述第一方向上相对固定。4.根据权利要求3所述的导流装置，其特征在于：所述卡接组件包括固定杆和多个凸起，所述多个凸起均与所述固定杆连接且在所述固定杆的延伸方向上间隔排布；所述固定杆与所述导流板连接；所述基体上设置有连通的避让孔和卡接孔；在所述卡接组件处于所述解锁状态时，所述固定杆穿设于所述避让孔内；所述卡接组件处于所述锁定状态时，所述固定杆穿设于所述卡接孔内，且所述多个凸起中的一个与所述卡接孔的孔口所在端面抵持。5.根据权利要求1所述的导流装置，其特征在于：所述导流板与所述基体在与第一方向具有夹角的第二方向上可滑动地连接，以调节所述导流板与所述基体在所述第二方向上的距离。6.根据权利要求1所述的导流装置，其特征在于：所述导流板具有相连的引导平面和引导斜面，所述引导平面与所述引导斜面具有夹角，所述引导斜面远离所述引导平面的一侧设置为出液侧。7.根据权利要求1所述的导流装置，其特征在于：所述溢流组件与所述基体活动连接，以调节所述溢流组件与所述导流板之间的距离。8.根据权利要求7所述的导流装置，其特征在于：所述溢流组件包括溢流箱和连接件，所述出液口设于所述溢流箱上，所述连接件与所述溢流箱连接；所述连接件与所述基体活动连接，用于调节所述溢流箱与所述基体之间的距离。9.根据权利要求8所述的导流装置，其特征在于：所述基体上设置有调节件，所述调节件设置有多个间隔排布的插孔，所述连接件与多个所述插孔中的一个插接配合。10.根据权利要求9所述的导流装置，其特征在于：所述连接件上设置有固定孔，所述固定孔内用于插接固定销，所述固定销用于限制所述连接件脱离所述插孔。

技术总结
本申请提供一种导流装置，导流装置包括溢流组件、基体和导流板，溢流组件具有出液口，溢流组件与基体连接；导流板设有出液侧，导流板用于承接从出液口流出的液体并使液体从出液侧排出；导流板与基体活动连接，用于调节出液侧相对于基体之间的距离。该导流装置使用时，能够应用于显影场景下，能根据基片的厚度调整导流板的高度，从而调整导流板和基片之间的距离，使得显影液能均匀覆盖基片的表面，同时，还能够适应不同厚度基片的显影，使用范围广。使用范围广。使用范围广。


技术研发人员：史继英 刘博瑞 管文萌
受保护的技术使用者：成都博腾实达智能科技有限公司
技术研发日：2022.04.18
技术公布日：2022/7/19