行星式穹顶安装架和真空镀膜机的制作方法

技术特征：
1.一种行星式穹顶安装架，其特征在于，所述行星式穹顶安装架包括：行星轨道(1)，为圆环形状，所述行星轨道(1)的内壁上设置有内齿(11)；行星支架(2)，可滑动地安装在所述行星轨道(1)的内部；传动齿轮组(3)，安装在所述行星支架(2)上，且与所述内齿(11)啮合；传动杆(4)，安装在所述行星支架(2)上，所述传动杆(4)的一端与所述传动齿轮组(3)连接；万向节(5)，安装在所述传动杆(4)上；穹顶插口组件(6)，连接在所述万向节(5)上。2.根据权利要求1所述的行星式穹顶安装架，其特征在于，所述行星轨道(1)的顶部开设有滑槽(12)，所述行星支架(2)的端部下侧安装有滚轮(21)，所述滚轮(21)可滚动地设置在所述滑槽(12)内。3.根据权利要求1所述的行星式穹顶安装架，其特征在于，所述传动齿轮组(3)包括依次啮合的中央主动齿轮(31)、第一传动齿轮(32)、第二传动齿轮(33)和第三传动齿轮(34)，所述第三传动齿轮(34)连接在所述传动杆(4)的端部，所述第三传动齿轮(34)与所述内齿(11)啮合。4.根据权利要求3所述的行星式穹顶安装架，其特征在于，所述行星支架(2)包括中心支架(22)和三个分支架(23)，三个所述分支架(23)呈发散状地连接在所述中心支架(22)的外侧，每个所述分支架(23)远离所述中心支架(22)的一端连接一个所述传动杆(4)。5.根据权利要求4所述的行星式穹顶安装架，其特征在于，所述中央主动齿轮(31)安装在所述中心支架(22)内，每个所述分支架(23)内安装一组所述第一传动齿轮(32)、所述第二传动齿轮(33)和所述第三传动齿轮(34)。6.根据权利要求2所述的行星式穹顶安装架，其特征在于，所述行星支架(2)包括第一顶板(24)、第一底板(25)和第一侧板(26)，所述第一顶板(24)与所述第一底板(25)间隔相对设置，所述第一侧板(26)连接在所述第一顶板(24)与所述第一底板(25)之间，所述第一顶板(24)的底部安装有所述滚轮(21)。7.根据权利要求6所述的行星式穹顶安装架，其特征在于，所述行星轨道(1)的内壁上、且位于所述内齿(11)的下方开设有凹槽(13)，所述第一底板(25)的端部插入所述凹槽(13)，所述第一底板(25)的端部安装有所述滚轮(21)、且可在所述凹槽(13)内滚动。8.根据权利要求6所述的行星式穹顶安装架，其特征在于，所述行星式穹顶安装架还包括导杆壳体(7)和角度调整壳体(8)，所述导杆壳体(7)连接在所述行星支架(2)上，所述导杆壳体(7)包覆所述传动杆(4)，所述角度调整壳体(8)连接在所述导杆壳体(7)上，所述角度调整壳体(8)包覆所述万向节(5)和所述穹顶插口组件(6)。9.根据权利要求8所述的行星式穹顶安装架，其特征在于，所述穹顶插口组件(6)包括插口接头(61)和插口轴承(62)，所述插口接头(61)连接在所述万向节(5)上，所述插口轴承(62)的内圈套设在所述插口接头(61)上，所述插口轴承(62)的外圈支撑在所述角度调整壳体(8)内。10.一种真空镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜机包括：权利要求1～9任一项所述的行星式穹顶安装架；穹顶(200)，安装在所述行星式穹顶安装架的所述穹顶插口组件(6)上。

技术总结
本发明的实施例提供了一种行星式穹顶安装架和真空镀膜机，涉及半导体技术领域。行星式穹顶安装架包括行星轨道、行星支架、传动齿轮组、传动杆、万向节和穹顶插口组件，行星轨道为圆环形状，行星轨道的内壁上设置有内齿；行星支架可滑动地安装在行星轨道的内部；传动齿轮组安装在行星支架上，且与内齿啮合；传动杆安装在行星支架上，传动杆的一端与传动齿轮组连接；万向节安装在传动杆上；穹顶插口组件连接在万向节上。行星式穹顶安装架可以实现更平稳的传动，相对传统行星导轨磨损大幅度降低，而且，可以实现穹顶公转和自转的效果，而且可以实现穹顶多角度转动。以实现穹顶多角度转动。以实现穹顶多角度转动。


技术研发人员：谈晶 陆帅龙 薛文明
受保护的技术使用者：捷捷微电(南通)科技有限公司
技术研发日：2022.04.22
技术公布日：2022/7/15