反射镜组件的制作方法

1.本公开的一方面涉及一种反射镜组件。


背景技术：

2.已知一种反射镜组件，其包括具有可动反射镜部的光扫描器件和收纳光扫描器件的封装(例如参照专利文献1、2)。在这种反射镜组件中，封装主体的光入射开口被窗部件堵塞，封装内被气密地密封。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开2018-17832号公报。
6.专利文献2：日本特开2016-99567号公报。


技术实现要素：

7.发明要解决的问题
8.在上述那样的反射镜组件中，因封装的内部与外部之间的温度差，窗部件可能发生结露。本公开的一方面的目的在于提供一种能够抑制在封装内发生结露的反射镜组件。
9.用于解决问题的技术手段
10.本公开的一方面提供了一种反射镜组件，其包括：反射镜器件，其具有支承部和构成为相对于支承部可移动的可动反射镜部；以及封装，其具有光入射开口，且以从光入射开口入射的光能够入射到可动反射镜部的方式收纳并保持反射镜器件，在封装设置有将封装的内部与外部连通的通气口。
11.在该反射镜组件中，能够经由通气口使封装的内部与外部之间通气，其结果，能够抑制在封装内发生结露。
12.也可以是，规定方向上的通气口的最小宽度，小于可动反射镜部与反射镜组件中的位置被固定的部分之间的最小距离。在该情况下，能够抑制可动反射镜部的动作被从通气口进入封装内的尘埃阻碍。
13.也可以是，可动反射镜部具有可动部和设置在可动部上的反射镜，规定方向上的通气口的最小宽度，小于从与反射镜垂直的方向观察时的支承部与可动部之间的最小距离。在该情况下，能够抑制从通气口进入封装内的尘埃夹在支承部与可动部之间，能够抑制可动反射镜部的动作被尘埃阻碍。
14.也可以是，规定方向上的通气口的最小宽度，小于可动反射镜部相对于支承部移动至可移动范围内的最大位置时的可动反射镜部与反射镜组件中的位置被固定的部分之间的最小距离。在该情况下，即使在可动反射镜部相对于支承部移动至可移动范围内的最大位置时，也能够抑制可动反射镜部的动作被从通气口进入封装内的尘埃阻碍。
15.也可以是，封装具有：设置有光入射开口且保持反射镜器件的主体部；和以覆盖光入射开口的方式配置在主体部上的窗部件，通气口由主体部与窗部件之间的间隙构成。在
该情况下，能够简易地形成通气口。另外，因为通气口位于窗部件附近，所以窗部件附近的空气的温度和湿度容易接近封装外的空气的温度和湿度，能够进一步抑制结露的发生。
16.也可以是，在主体部的顶面设置有凸部，窗部件以与凸部接触的方式配置在顶面上，间隙形成于顶面与窗部件之间。在该情况下，能够更加简易地形成通气口。
17.也可以是，封装具有：设置有光入射开口且保持反射镜器件的主体部；和以覆盖光入射开口的方式配置在主体部上的窗部件，通气口是通过使窗部件的一部分与主体部接合，而窗部件的剩余部分不与主体部接合来构成的。在该情况下，能够简易地形成通气口。
18.也可以是，通气口由光入射开口构成。在该情况下，能够简易地形成通气口。另外，因为光入射开口兼具通气口，所以能够有效地抑制结露。
19.也可以是，通气口被可剥离的膜覆盖。在该情况下，能够防止尘埃在反射镜组件搬送时等从通气口进入到封装内。另外，在使用反射镜组件时，能够将膜剥离而使通气口敞开。
20.也可以是，封装具有设置有光入射开口且保持反射镜器件的主体部，通气口由光入射开口构成，通气口被粘接于主体部的可剥离的膜覆盖，膜粘接于主体部的宽度比光入射开口的宽度窄。在该情况下，因为通气口由光入射开口构成，所以能够简易地形成通气口。另外，因为光入射开口兼具通气口，所以能够有效地抑制结露。另外，因为通气口被可剥离的膜覆盖，所以能够防止尘埃在反射镜组件搬送时等从通气口进入封装内。在使用反射镜组件时，能够将膜剥离而使通气口敞开。而且，因为膜粘接于主体部的宽度比光入射开口的宽度窄，所以容易将膜剥离，在主体部不易残留粘接剂。
21.发明效果
22.根据本公开的一方面，可以提供一种能够抑制在封装内发生结露的反射镜组件。
附图说明
23.图1是实施方式的反射镜组件的俯视图。
24.图2是沿着图1的ii－ii线的剖视图。
25.图3是沿着图1的iii－iii线的剖视图。
26.图4是沿着图1的iv－iv的剖视图。
27.图5是光扫描器件的俯视图。
28.图6是另一例的光扫描器件的俯视图。
29.图7是另一例的光扫描器件的俯视图。
30.图8是沿着图7的xiii－xiii线的剖视图。
31.图9是第一变形例的反射镜组件的剖视图。
32.图10是第二变形例的反射镜组件的剖视图。
具体实施方式
33.以下，参照附图对本公开的一实施方式进行详细说明。此外，在以下说明中，对相同或相当的要素使用相同的附图标记，并省略重复的说明。
34.[反射镜组件的整体结构]
[0035]
如图1～图4所示，反射镜组件100包括光扫描器件(反射镜器件)1和收纳光扫描器
件1的封装40。封装40具有主体部41和窗部件51。在主体部41设置有在规定方向(z轴方向)的一方侧s1开口的光入射开口41a。主体部41以从光入射开口41a入射的光能够入射到光扫描器件1的方式保持光扫描器件1。窗部件51以覆盖光入射开口41a的方式配置。
[0036]
[光扫描器件的结构]
[0037]
如图5所示，光扫描器件1具有支承部2、相对于支承部2可摆动的可动反射镜部10和磁场发生部m。可动反射镜部10具有第一可动部3、第二可动部4、一对第一连结部5、一对第二连结部6和反射镜7。支承部2、第一可动部3、第二可动部4、一对第一连结部5和一对第二连结部6由例如soi(silicon on insulator)基板一体形成。即，光扫描器件1作为mems器件构成。磁场发生部m例如包含采用海尔贝克阵列的永磁体而构成，形成为大致长方体状。
[0038]
第一可动部3形成为例如矩形板状。在从光轴方向a观察的情况下，第二可动部4以隔着间隙包围第一可动部3的方式形成为例如矩形环状。在从光轴方向a观察的情况下，支承部2以隔着间隙包围第二可动部4的方式形成为例如矩形框状。即，在从光轴方向a观察的情况下，支承部2以包围第一可动部3和第二可动部4的方式形成为框状。
[0039]
第一可动部3以可绕第一轴线x1摆动的方式经由一对第一连结部5与第二可动部4连结。即，第一可动部3在支承部2以可绕第一轴线x1摆动的方式被支承。第一可动部3包含第一部分31和第二部分32。在从光轴方向a观察的情况下，第一部分31形成为例如圆形形状。在从光轴方向a观察的情况下，第二部分32形成为例如矩形环状。在从光轴方向a观察的情况下，第一部分31被第二部分32包围，且经由多个(在该例中为两个)连接部分33与第二部分32连接。即，在第一部分31与第二部分32之间除了多个连接部分33以外还形成有间隙。
[0040]
连接部分33例如位于第二部分32的矩形形状的内缘中的与第二轴线x2交叉的2边的中央部。即，在该例中，连接部分33位于第二轴线x2上。第一部分31至少在沿着第二轴线x2的方向上与第二部分32连接即可。
[0041]
第二可动部4以可绕第二轴线x2摆动的方式经由一对第二连结部6与支承部2连结。即，第二可动部4在支承部2以可绕第二轴线x2摆动的方式被支承。第一轴线x1和第二轴线x2与光轴方向a垂直，且相互交叉(在该例中为相互正交)。此外，在从光轴方向a观察的情况下，第一部分31也可以形成为矩形形状或多边形状。在从光轴方向a观察的情况下，第一部分31也可以形成为圆形形状(例如椭圆形状)。在从光轴方向a观察的情况下，第二部分32也可以形成为五边形以上的多边形环状或圆环状。
[0042]
一对第一连结部5在第一可动部3的第二部分32与第二可动部4之间的间隙中以隔着第一可动部3的方式配置于第一轴线x1上。各第一连结部5作为扭力杆发挥作用。一对第二连结部6在第二可动部4与支承部2之间的间隙中以隔着第二可动部4的方式配置于第二轴线x2上。各第二连结部6作为扭力杆发挥作用。
[0043]
反射镜7设置于第一可动部3的第一部分31。反射镜7以包含第一轴线x1与第二轴线x2的交点的方式形成于第一部分31的与磁场发生部m相反侧的表面。反射镜7由例如铝、铝系合金、金或银等金属材料形成为圆形、椭圆形或矩形的膜状。反射镜7的与第一可动部3相反侧的表面构成与光轴方向a垂直地延伸的反射镜面7a。在从光轴方向a观察的情况下，反射镜7的中心与第一轴线x1和第二轴线x2的交点一致。这样，在经由多个连接部分33与第二部分32连接的第一部分31设置有反射镜7，因此即使第一可动部3以谐振频率水平绕第一轴线x1摆动，也能够抑制反射镜7发生挠曲等变形。
[0044]
而且，光扫描器件1具有第一驱动用线圈11、第二驱动用线圈12、配线15a、15b、配线16a、16b、电极焊盘21a、21b和电极焊盘22a、22b。此外，在图2中，为了便于说明，第一驱动用线圈11和第二驱动用线圈12以点划线表示，配线15a、15b和配线16a、16b以实线表示。
[0045]
第一驱动用线圈11设置于第一可动部3的第二部分32。第一驱动用线圈11在从光轴方向a观察时的反射镜7的外侧区域(即第二部分32)呈螺旋状(漩涡状)卷绕多圈。由磁场发生部m产生的磁场作用于第一驱动用线圈11。
[0046]
第一驱动用线圈11配置在形成于第一可动部3的表面的槽内。即，第一驱动用线圈11嵌入第一可动部3。第一驱动用线圈11的一端经由配线15a与电极焊盘21a连接。配线15a从第一可动部3经由一方的第一连结部5、第二可动部4及一方的第二连结部6延伸至支承部2。配线15a及电极焊盘21a由例如钨、铝、金、银、铜或铝系合金等金属材料一体形成。第一驱动用线圈11和配线15a相互连接。
[0047]
第一驱动用线圈11的另一端经由配线15b与电极焊盘21b连接。配线15b从第一可动部3经由另一方的第一连结部5、第二可动部4及另一方的第二连结部6延伸至支承部2。配线15b及电极焊盘21b由例如钨、铝、金、银、铜或铝系合金等金属材料一体形成。第一驱动用线圈11和配线15b相互连接。
[0048]
第二驱动用线圈12设置于第二可动部4。第二驱动用线圈12在第二可动部4呈螺旋状(漩涡状)卷绕多圈。由磁场发生部m产生的磁场作用于第二驱动用线圈12。第二驱动用线圈12配置在第二可动部4的表面所形成的槽内。即，第二驱动用线圈12嵌入第二可动部4。
[0049]
第二驱动用线圈12的一端经由配线16a与电极焊盘22a连接。配线16a从第二可动部4经由一方的第二连结部6延伸至支承部2。配线16a和电极焊盘22a由例如钨、铝、金、银、铜或铝系合金等金属材料一体形成。此外，第二驱动用线圈12和配线16a相互连接。
[0050]
第二驱动用线圈12的另一端经由配线16b与电极焊盘22b连接。配线16b从第二可动部4经由另一方的第二连结部6延伸至支承部2。配线16b及电极焊盘22b由例如钨、铝、金、银、铜或铝系合金等金属材料一体形成。此外，第二驱动用线圈12和配线16b相互连接。
[0051]
举出光扫描器件1中的可动反射镜部10的动作的例子。作为第一例，对第一驱动用线圈11施加高频驱动电流。此时，因为由磁场发生部m产生的磁场作用于第一驱动用线圈11，所以在第一驱动用线圈11中产生洛伦兹力。由此，使第一可动部3例如以谐振频率水平绕第一轴线x1摆动。
[0052]
另外，对第二驱动用线圈12施加一定大小的驱动电流。此时，因为由磁场发生部m产生的磁场作用于第二驱动用线圈12，所以在第二驱动用线圈12中产生洛伦兹力。由此，使第二可动部4例如根据驱动电流的大小绕第二轴线x2旋转，并以该状态使其停止。由此，根据光扫描器件1，能够使反射镜7反射来自规定的光源的光并同时进行扫描。光从外部经由窗部件51而入射到反射镜面7a，且被反射镜面7a反射，经由窗部件51而向外部射出。在第一例中，第一可动部3以谐振频率摆动并且第二可动部4被静态使用。
[0053]
作为第二例，与第一例的第一可动部3的动作同样，通过对第一驱动用线圈11施加高频驱动电流而第一可动部3根据谐振频率摆动，并且通过对第二驱动用线圈12施加高频驱动电流而第二可动部4根据谐振频率摆动。这样，在第二例中，第一可动部3和第二可动部4双方以谐振频率摆动。
[0054]
作为第三例，与第一例的第二可动部4的动作同样，通过对第一驱动用线圈11施加
一定大小的驱动电流，使第一可动部3根据驱动电流的大小绕第一轴线x1旋转并停止，并且通过对第二驱动用线圈12施加一定大小的驱动电流，使第二可动部4根据驱动电流的大小绕第二轴线x2旋转并停止。这样，在第三例中，第一可动部3和第二可动部4双方被静态使用。
[0055]
作为第四例，例如在未设置第二可动部4的情况下等，通过对第一驱动用线圈11施加高频驱动电流，仅第一可动部3根据谐振频率进行摆动。而且，作为第五例，在同样的情况下，通过对第一驱动用线圈11施加一定大小的驱动电流，使第一可动部3根据驱动电流的大小绕第一轴线x1旋转并停止。在第四例及第五例中，仅第一可动部3被驱动。
[0056]
此外，如图2所示，支承部2由磁场发生部m支承，第一可动部3和第二可动部4从磁场发生部m分离。由此，第一可动部3和第二可动部4可以不干扰磁场发生部m地旋转。
[0057]
[封装的结构]
[0058]
如图1～图4所示，封装40的主体部41形成为例如大致长方体状。主体部41由例如pps(聚苯硫醚)、pp(聚丙烯)等树脂材料构成，通过注塑成形而形成。主体部41在由树脂材料构成的情况下，也可以被填料强化。主体部41也可以由al、fe或它们的合金等金属材料形成。在主体部41形成有在一方侧s1开口的凹部42。由凹部42的开口构成上述的光入射开口41a。
[0059]
窗部件51通过在由例如玻璃等透光性材料形成的矩形平板状的基材的两表面上形成反射防止膜而构成。如上述，窗部件51覆盖光入射开口41a。窗部件51具有与z轴方向垂直地延伸的一对主面51a、与x轴方向垂直地延伸的一对侧面51b、以及与y轴方向垂直地延伸的一对侧面51c。一对侧面51b及一对侧面51c与一对主面51a连续。
[0060]
主体部41的凹部42包含配置光扫描器件1的器件配置部43和配置从光扫描器件1向外部延伸的配线等的配线配置部44。器件配置部43具有相对于窗部件51的主面51a倾斜延伸的第一面43a、从第一面43a与第一面43a垂直地延伸的第二面43b、以及从第一面43a与z轴方向垂直地延伸的一对第三面43c。
[0061]
光扫描器件1以磁场发生部m与第一面43a、第二面43b及一对第三面43c接触的状态配置于器件配置部43。由此，光扫描器件1成为可动反射镜部10的反射镜面7a相对于窗部件51的主面51a倾斜的状态。光扫描器件1被配置为例如第一轴线x1与x轴方向平行且第二轴线x2与y轴方向平行。
[0062]
配线配置部44具有相对于窗部件51的主面51a倾斜的第一面44a和与第一面44a连续且弯曲的第二面44b。在第一面44a配置有例如多个电极焊盘。从光扫描器件1延伸的配线和穿过第二面44b而向封装40的外部延伸的配线wr与这些电极焊盘电连接。配线wr与配置于反射镜组件100的外部的外部端子电连接。配线wr在该例中设置于主体部41的表面上且向外部延伸，但也可以穿过主体部41的内部而向外部延伸。配线wr也可以与具有嵌入主体部的一端和在封装40的外部露出的另一端的引线端子的一端电连接。第二面44b也可以不必弯曲。
[0063]
在从z轴方向观察的情况下(换言之，在从与窗部件51的主面51a垂直的方向观察的情况下)，光入射开口41a呈大致矩形形状。更具体而言，在从z轴方向观察的情况下，光入射开口41a包含与器件配置部43对应的矩形形状的区域和与配线配置部44对应的矩形形状的区域。与配线配置部44对应的区域的y轴方向上的宽度，比与器件配置部43对应的区域的
y轴方向上的宽度窄。在图1中，光入射开口41a的边缘以虚线表示。
[0064]
主体部41具有划定凹部42的框状的侧壁45。在从z轴方向观察的情况下，侧壁45呈大致矩形环状，且包围光扫描器件1。侧壁45具有位于最靠一方侧s1的顶面45a、沿着z轴方向延伸的内表面45b、以及与顶面45a及内表面45b连接的倾斜面45c。顶面45a与z轴方向垂直地延伸，倾斜面45c以随着靠近顶面45a而靠近一方侧s1的方式相对于z轴方向倾斜地延伸。
[0065]
另外，侧壁45具有沿着与x轴方向交叉的平面延伸的一对外表面45d、和沿着与y轴方向交叉的平面延伸的一对外表面45e。在该例中，一对外表面45d与x轴方向垂直地延伸。一对外表面45e包含与z轴方向平行地延伸的第一部分45f和相对于z轴方向倾斜地延伸的第二部分45g。侧壁45具有在x轴方向上彼此相对的一对第一壁部46和在y轴方向上彼此相对的一对第二壁部47。
[0066]
第二部分45g相对于第一部分45f配置于另一方侧(与一方侧s1相反的一侧)，且延伸至主体部41的另一方侧的端部。通过形成第二部分45g，y轴方向上的主体部41(侧壁45)的宽度随着靠近另一方侧而变窄。由此，在通过注塑成形而形成主体部41的情况下，能够容易地从成形模具中取出成形品。另外，因为不仅形成第二部分45g，还形成与z轴方向平行的第一部分45f，所以在将反射镜组件100装入光学系统时通过推压第一部分45f，能够将反射镜组件100进行对位，能够提高反射镜组件100的对位精度。
[0067]
封装40还具有设置于侧壁45的顶面45a的突起61。突起61沿着光入射开口41a的边缘延伸。在从z轴方向观察的情况下，突起61呈矩形环状，且包围光入射开口41a。通过形成突起61，在突起61的内表面61a与顶面45a之间形成台阶部62。
[0068]
突起61沿着顶面45a的外缘延伸。在从y轴方向观察的情况下(图2)，突起61的外表面61b位于与侧壁45的外表面45d同一平面上。在从x轴方向观察的情况下(图3)，突起61的外表面61b位于与侧壁45的外表面45e的第一部分45f同一平面上。突起61例如由与主体部41相同的树脂材料构成，且与主体部41一体形成。主体部41及突起61例如通过一次注塑成形而同时形成，构成单一的部件。突起61具有分别设置于侧壁45的一对第一壁部46上的一对第一部分64和分别设置于侧壁45的一对第二壁部47上的一对第二部分65。
[0069]
在侧壁45的顶面45a设置有三个凸部(抵接部)63。在从z轴方向观察的情况下，各凸部63配置于比突起61靠内侧。各凸部63具有朝向一方侧s1的平坦的抵接面63a。抵接面63a例如与z轴方向垂直地延伸，且呈圆形形状。
[0070]
窗部件51以覆盖光入射开口41a的方式配置于台阶部62。即，窗部件51在突起61的内侧配置于顶面45a上，且覆盖光入射开口41a。窗部件51的一对主面51a中的一方(以下也简单记为主面51a)与侧壁45的顶面45a相对，窗部件51的侧面51b、51c与突起61的内表面61a相对。窗部件51的主面51a与凸部63的抵接面63a接触(抵接)。由此，在顶面45a中的未设置抵接面63a的区域内，在窗部件51的主面51a与顶面45a之间形成有间隙g1。另外，在窗部件51的侧面51b、51c与突起61的内表面61a之间形成有间隙g2。即，侧面51b、51c从内表面61a分离。
[0071]
间隙g1和间隙g2相互连接。由间隙g1、g2构成将封装40的内部与外部连通的通气口80。即，通气口80由主体部41与窗部件51之间的间隙g1、g2构成。封装40的内部与外部之间的空气可以通过通气口80流通。
[0072]
窗部件51通过例如低熔点玻璃等接合材料70与主体部41接合。窗部件51例如在从z轴方向观察时的四个角部与主体部41接合。除四个角部外，或者代替之，窗部件51也可以在与抵接面63a的接触部位通过接合材料而与主体部41接合。在窗部件51与主体部41接合的部位，主体部41与窗部件51之间被接合材料70堵塞，在主体部41与窗部件51之间未形成间隙g1(通气口80)。另一方面，在窗部件51与主体部41未接合的部位，在主体部41与窗部件51之间形成有间隙g1(通气口80)。即，通气口80可以通过使窗部件51的一部分与主体部41接合，而窗部件51的剩余部分不与主体部41接合来构成。
[0073]
突起61的一方侧s1的端面61c遍及整周(在端面61c上的任一位置均)位于比窗部件51靠一方侧s1。即，突起61距顶面45a的高度h大于窗部件51的厚度(一对主面51a间的距离)t1与凸部63距顶面45a的高度(z轴方向上的间隙g1的长度)之和。窗部件51的厚度t1例如为0.6mm左右。
[0074]
突起61的厚度t2比突起61距顶面45a的高度h小。突起61的厚度t2比窗部件51的厚度t1薄。突起61的厚度t2为突起61的与延伸方向垂直的方向上的厚度，例如，突起61中的与x轴方向垂直地延伸的部分为x轴方向上的厚度，与y轴方向垂直地延伸的部分为y轴方向上的厚度。突起61的厚度t2为突起61的最大厚度。例如，在如实施方式那样突起61的一部分形成为前端变细的形状的情况下，突起61的厚度t2为突起61的最厚部分的厚度。在该例中，突起61中沿着y轴方向延伸的一对部分中的一方形成为前端变细的形状，且具有倾斜面61d。由此，能够使窗部件51向台阶部62的配置作业容易。另外，能够容易地使突起61挠曲变形。
[0075]
[通气口的结构]
[0076]
通气口80的最小宽度w小于可动反射镜部10与反射镜组件100中的位置被固定的部分之间的最小距离l。
[0077]
首先，对通气口80的最小宽度w进行说明。如果将通气口80中从封装40的内部朝向外部的方向设为延伸方向，则通气口80的最小宽度w为与延伸方向垂直的截面的最小宽度。在如实施方式那样通气口80由间隙g1、g2构成的情况下，间隙g1中的形成于窗部件51与侧壁45的第一壁部46之间的部分的延伸方向为x轴方向(图2)，间隙g1中的形成于窗部件51与侧壁45的第二壁部47之间的部分的延伸方向为y轴方向(图3)。间隙g2中的通气口80的延伸方向为z轴方向。
[0078]
在实施方式中，间隙g1的最小宽度w1为z方向上的间隙g1的宽度。就间隙g2的最小宽度w2而言，间隙g2中的形成于窗部件51与突起61的第一部分64之间的部分为x方向上的间隙g2的宽度(图2)，间隙g2中的形成于窗部件51与突起61的第二部分65之间的部分为y方向上的间隙g2的宽度(图3)。在该例中，间隙g1的最小宽度w1遍及间隙g1的延伸方向整体相同，间隙g2的最小宽度w2遍及间隙g2的延伸方向整体相同。最小宽度w1与最小宽度w2相等。因此，通气口80的最小宽度w与间隙g1的最小宽度w1及间隙g2的最小宽度w2相等。在最小宽度w1比最小宽度w2窄的情况下，通气口80的最小宽度w为最小宽度w1，在最小宽度w2比最小宽度w1窄的情况下，通气口80的最小宽度w为最小宽度w2。
[0079]
在实施方式中，与延伸方向垂直的截面上的间隙g1的形状在延伸方向上一致，但与延伸方向垂直的截面上的间隙g1的形状也可以在延伸方向上变化。在该情况下，就间隙g1的最小宽度w1而言，最小宽度为最窄的截面的最小宽度。与实施方式不同，在y方向上的间隙g1的最小宽度比z方向上的间隙g1的最小宽度窄的情况下，间隙g1的最小宽度w1为y方
向上的间隙g1的宽度。在这些点上，间隙g2也同样。
[0080]
最小距离l为可动反射镜部10与反射镜组件100中的位置被固定的部分之间的最小距离。在实施方式中，反射镜组件100中的位置被固定的部分是指反射镜组件100中的除可动反射镜部10外的全部要素，具体为光扫描器件1的支承部2和磁场发生部m、以及封装40。
[0081]
在图5所示的光扫描器件1中，最小距离l为从光轴方向a(与反射镜7垂直的方向)观察时的支承部2与第二可动部4之间的最小距离，且为与第一轴线x1平行的方向上的支承部2与第二可动部4之间的距离。
[0082]
在图6所示的光扫描器件1a中，最小距离l为从光轴方向a观察时的支承部2与第二可动部4之间的最小距离，且为与第一轴线x1平行的方向上的支承部2与第二可动部4之间的距离l1。在该例中，距离l1和平行于第二轴线x2的方向上的支承部2与第二可动部4之间的距离l2、以及平行于第一轴线x1的方向上的支承部2与第二连结部6之间的距离l3相等。在距离l1、l2、l3不同的情况下，最小距离l为距离l1、l2、l3中最短的距离。支承部2与第二连结部6之间的距离是指与第二连结部6的延伸方向垂直的方向上的距离。在图6的例子中，第一可动部3形成为圆形板状。
[0083]
在图7及图8所示的光扫描器件1b中，未设置第二可动部4和第二连结部6，第一可动部3经由第一连结部5与支承部2连结。可动反射镜部10仅绕第一轴线x1摆动。第一可动部3形成为圆形形状。支承部2具有以与第一可动部3(可动反射镜部10)相对的方式延伸的平板状的基体部2a。基体部2a以即使在可动反射镜部10绕第一轴线x1旋转至最大振动角度的情况下，可动反射镜部10(第一可动部3)也不与基体部2a接触的方式配置。
[0084]
在光扫描器件1b中，将从光轴方向a观察时的支承部2与可动反射镜部10之间的最小距离设为l4。最小距离l4例如为与光轴方向a及第一轴线x1垂直的方向上的支承部2与第一连结部5之间的距离。在该例中，支承部2与第一连结部5之间的距离和支承部2与第一可动部3之间的距离(最短距离)相等。支承部2与第一连结部5之间的距离是指与第一连结部5的延伸方向垂直的方向上的距离。
[0085]
在图8中示出了可动反射镜部10相对于支承部2绕第一轴线x1旋转至最大振动角度(移动至可移动范围内的最大位置)的状态。在光扫描器件1b中，将可动反射镜部10相对于支承部2绕第一轴线x1旋转至最大振动角度时的可动反射镜部10与支承部2之间的最小距离设为l5。最小距离l5例如为光轴方向a上的第一可动部3与支承部2的基体部2a之间的最小距离。如图2所示，在可动反射镜部10与磁场发生部m相对的情况下，最小距离l5为光轴方向a上的可动反射镜部10与磁场发生部m之间的最小距离。作为另一例，在可动反射镜部10与封装40的主体部41相对的情况下，最小距离l5为可动反射镜部10旋转至最大振动角度时的光轴方向a上的可动反射镜部10与主体部41之间的最小距离。
[0086]
在光扫描器件1b中，最小距离l为最小距离l5、l6中较短的一方。在该例中，最小距离l5与最小距离l6相等。最小距离l5换言之为可动反射镜部10相对于支承部2未旋转(移动)的状态下的支承部2与可动反射镜部10之间的最小距离。最小距离l换言之为可动反射镜部10相对于支承部2在可旋转范围内进行了旋转的情况下的支承部2与可动反射镜部10之间的最小距离。
[0087]
即使在反射镜组件100具有光扫描器件1、1a、1b中的任一个的情况下，通气口80的
最小宽度w也小于可动反射镜部10与反射镜组件100中的位置被固定的部分之间的最小距离l。由此，能够抑制可动反射镜部10的动作被从通气口80进入到封装40之内的尘埃阻碍。
[0088]
[作用及效果]
[0089]
如以上所说明，在反射镜组件100的封装40上设置有将封装40的内部与外部连通的通气口80。由此，能够经由通气口80使封装40的内部与外部之间通气，其结果，能够抑制在封装40内发生结露。
[0090]
通气口80的最小宽度w小于可动反射镜部10与反射镜组件100中的位置被固定的部分之间的最小距离l。由此，能够抑制可动反射镜部10的动作被从通气口80进入到封装40内的尘埃阻碍。
[0091]
通气口80的最小宽度w小于从光轴方向a观察时的支承部2与第一可动部3或第二可动部4之间的最小距离l。由此，能够抑制从通气口80进入到封装40内的尘埃夹在支承部2与第一可动部3或第二可动部4之间，能够抑制可动反射镜部10的动作被尘埃阻碍。
[0092]
通气口80的最小宽度w小于可动反射镜部10相对于支承部2移动至可移动范围内的最大位置时的可动反射镜部10与反射镜组件100中的位置被固定的部分之间的最小距离l。由此，即使在可动反射镜部10相对于支承部2移动至可移动范围内的最大位置时，也能够抑制可动反射镜部10的动作被从通气口80进入到封装40内的尘埃阻碍。
[0093]
通气口80也可以由主体部41与窗部件51之间的间隙g1、g2构成。由此，例如，与由形成于主体部41的贯通孔构成通气口80的情况相比，能够简易地形成通气口80。另外，因为通气口80位于窗部件51附近，所以窗部件51附近的空气的温度和湿度容易接近封装40外的空气的温度和湿度，能够进一步抑制结露的发生。
[0094]
窗部件51以与设置于主体部41的顶面45a的凸部63接触的方式配置于顶面45a上，间隙g1形成于顶面45a与窗部件51之间。由此，能够更加简易地形成通气口80。另外，能够降低窗部件51与主体部41之间的接触面积，能够抑制窗部件51与主体部41之间的热膨胀系数的差导致的窗部件51的歪斜。
[0095]
通气口80是通过使窗部件51的一部分与主体部41接合，而窗部件51的剩余部分不与主体部41接合来构成的。由此，能够简易地形成通气口80。另外，能够降低窗部件51与主体部41之间的接触面积，能够抑制窗部件51与主体部41之间的热膨胀系数的差导致的窗部件51的歪斜。
[0096]
[变形例]
[0097]
图9中示出了第一变形例的反射镜组件100a。图9所示的截面与沿着图1的ix－ix线的截面对应。在反射镜组件100a中，通气口80a由形成于主体部41的贯通孔构成。更具体而言，通气口80a形成于主体部41的侧壁45的第二壁部47，且沿着y方向延伸。通气口80a例如在与延伸方向垂直的截面上呈圆形形状。在反射镜组件100a中，通气口80a的最小宽度w也小于可动反射镜部10与反射镜组件100中的位置被固定的部分之间的最小距离l。在该情况下，通气口80a的最小宽度w为与延伸方向垂直的圆形截面的直径。通气口80a的截面形状不限定于圆形形状，例如也可以为矩形形状。在第一变形例中，在窗部件51与主体部41之间没有形成间隙g1、g2，窗部件51与主体部41之间也可以被堵塞而气密地密封。
[0098]
与上述实施方式同样，通过第一变形例，也能够经由通气口80a使封装40的内部与外部之间通气，其结果，能够抑制在封装40内发生结露。
[0099]
在图10所示的第二变形例的反射镜组件100b中，通气口80b由主体部41的光入射开口41a构成。即，在反射镜组件100b中，没有设置窗部件51，光入射开口41a未被窗部件51覆盖。通气口80b被粘接于主体部41的可剥离的膜90覆盖。在该例中，膜90粘接于突起61的端面61c整面。在与反射镜7垂直的截面上，膜90粘接于主体部41的宽度r1比光入射开口41a的宽度r2窄。宽度r1比主体部41的侧壁45的厚度(最小厚度)r3窄。
[0100]
与上述实施方式同样，通过第二变形例，也能够经由通气口80b使封装40的内部与外部之间通气，其结果，能够抑制在封装40内发生结露。另外，因为通气口80b由光入射开口41a构成，所以能够简易地形成通气口80b。另外，因为光入射开口41a兼具通气口80b，所以能够有效地抑制结露(本身不发生结露)。另外，因为在从光入射开口41a入射的光到达可动反射镜部10的光路上未配置可反射光的要素，所以能够抑制漫射光的产生。另外，因为通气口80b被可剥离的膜90覆盖，所以能够防止尘埃在反射镜组件100b搬送时等从通气口80b进入封装40内。在使用反射镜组件100b时，能够将膜90剥离而使通气口80b敞开。而且，因为膜90粘接于主体部41的宽度r1比光入射开口41a的宽度r2窄，所以容易将膜90剥离，在主体部41不易残留粘接剂。此外，在第二变形例中，未设置突起61，膜90也可以粘接于主体部41的侧壁45的顶面45a。
[0101]
本公开不限于上述实施方式及变形例。例如，各结构的材料及形状不限于上述的材料及形状，可以采用各种材料及形状。在上述实施方式或第一变形例中，通气口80、80a也可以被可剥离的膜覆盖。通气口80也可以由形成于窗部件51的贯通孔构成。在该情况下，可以看作，通气口80由光入射开口41a构成。在上述实施方式中，也可以在侧壁45的顶面45a不设置凸部63。即使在该情况下，也能够通过使窗部件51的一部分与主体部41接合，而窗部件51的剩余部分不与主体部41接合，来构成通气口80。在上述实施方式中，也可以在侧壁45的顶面45a不设置突起61。在该情况下，通气口80也可以仅由间隙g1构成。
[0102]
在上述实施方式、第一变形例及第二变形例中，规定方向(某方向)上的通气口80、80a、80b的最小宽度w也可以小于可动反射镜部10与反射镜组件100中的位置被固定的部分之间的最小距离l。即，在上述实施方式、第一变形例及第二变形例中，与通气口80、80a、80b的延伸方向垂直的全部方向上的通气口80、80a、80b的最小宽度w小于最小距离l，但与通气口80、80a、80b的延伸方向垂直的至少一个方向上的通气口80、80a、80b的最小宽度w小于最小距离l即可，与延伸方向垂直的其他方向上的通气口80、80a、80b的最小宽度也可以不必小于最小距离l。
[0103]
主体部41以从光入射开口41a入射的光能够入射到光扫描器件1的方式收纳并保持光扫描器件1即可，也可以具有任意结构。例如，支承光扫描器件1的基体部也可以与侧壁45分体构成。在实施方式的光扫描器件1中，可动反射镜部10由电磁力进行驱动，但可动反射镜部10也可以由静电力或压电元件进行驱动。在上述实施方式中，可动反射镜部10构成为绕第一轴线x1及第二轴线x2可摆动(可移动)，但可动反射镜部10也可以构成为沿着光轴方向a可移动。在上述实施方式中，磁场发生部m配置于封装40的内部，但磁场发生部m也可以配置于封装40的外部。
[0104]
附图标记说明
[0105]1…
光扫描器件(反射镜器件)，2
…
支承部，3
…
第一可动部，4
…
第二可动部，7
…
反射镜，10
…
可动反射镜部，40
…
封装，41
…
主体部，41a
…
光入射开口，45a
…
顶面，51
…
窗部
件，63
…
凸部(抵接部)，80、80a、80b
…
通气口，90
…
膜，100、100a、100b
…
反射镜组件，g1
…
间隙(通气口80)，g2
…
间隙(通气口80)，l
…
最小距离，w
…
最小宽度。