用于检测对象的装置和方法与流程

技术特征：
1.一种用于检测对象(10)的装置(1)，包括-光学干涉仪(2)，其被配置为：-从光源(3)接收电磁辐射；并且-向检测器(4)发射电磁辐射；其中-所述光学干涉仪(2)耦合到环境，并且被进一步配置为通过以下方式来对环境中的侵入到光学干涉仪(2)的相互作用体积(5)中的对象(10)作出响应：基于相互作用体积(5)中的对象(10)的特性改变发射到所述检测器(4)的电磁辐射的强度；以及-信号处理器，其被配置为基于发射到所述检测器(4)的电磁辐射的强度产生输出信号。2.根据权利要求1所述的装置(1)，还包括用于产生通过所述相互作用体积(5)的流体流的仪器(6)。3.根据权利要求1或2所述的装置(1)，其中，所述光学干涉仪(2)还被配置为，在所述相互作用体积(5)没有对象(10)的情况下在预定的操作点操作。4.根据权利要求1至3之一所述的装置(1)，其中，所述干涉仪(2)是以下类型的干涉仪之一：马赫-曾德干涉仪、迈克尔逊干涉仪和法布里-珀罗干涉仪。5.根据权利要求1至4之一所述的装置(1)，其中，所述相互作用体积(5)的有效路径长度取决于侵入到所述相互作用体积(5)中的对象(10)的数量和/或尺寸。6.根据权利要求1至5之一所述的装置(1)，其中，所述相互作用体积(5)是所述干涉仪(2)的自由空间体积。7.根据权利要求1至5之一所述的装置(1)，其中，所述相互作用体积(5)是所述干涉仪(2)的波导结构的倏逝场区域。8.根据权利要求1至7之一所述的装置(1)，其中，所述光学干涉仪(2)以透射或反射方式操作。9.根据权利要求1至8之一所述的装置(1)，其中，所述光学干涉仪(2)被配置为响应最小直径为约10nm的对象(10)。10.根据权利要求1至9之一所述的装置(1)，其中-所述电磁辐射是单色的；或者-所述电磁辐射是宽带的，并且所述检测器(4)是分光计。11.根据权利要求1至10之一所述的装置(1)，其中，发射到所述检测器(4)的电磁辐射的强度是侵入到所述相互作用体积(5)中的对象(10)的尺寸和/或折射率的函数。12.根据权利要求1至11之一所述的装置(1)，还包括-另外的相互作用体积(5a)，其基本上平行于所述相互作用体积(5)定向；以及-粒子源(7)，其以取决于对象(10)的尺寸的速度发射对象(10)；其中-从所述粒子源(3)发射的对象(10)侵入相互作用体积(5)和另外的相互作用体积(5a)。13.根据权利要求12所述的装置(1)，其中，所述另外的相互作用体积(5a)由布置在所述另外的相互作用体积(5a)的相对侧上的另外的光源(3a)和另外的检测器(4a)之间的光屏障构成。14.根据权利要求12所述的装置(1)，其中，所述另外的相互作用体积(5a)由另外的光
学干涉仪构成，所述另外的光学干涉仪耦合到环境，并且被配置为通过以下方式来对环境中的侵入到所述另外的相互作用体积(5a)中的对象(10)作出响应：基于所述另外的相互作用体积(5a)中的对象(10)的特性改变由所述另外的光学干涉仪发射到另外的检测器(4a)的电磁辐射的强度。15.根据权利要求12至14之一所述的装置(1)，其中，所述信号处理器还被配置为-测量对象(10)穿过相互作用体积(5)和穿过相互作用体积(5a)之间的时间差；和-根据所测量的时间差确定对象(10)的尺寸。16.一种粒子检测器，特别是被设计为集成设备的粒子检测器，所述粒子检测器包括根据权利要求1至15之一所述的用于检测对象(10)的装置(1)。17.一种用于检测对象(10)的方法，所述方法包括-将光学干涉仪(2)耦合到环境；-借助于所述光学干涉仪(2)接收来自光源(3)的电磁辐射；-借助于所述光学干涉仪(2)向检测器(4)发射电磁辐射；-基于从所述环境侵入到所述光学干涉仪(2)的相互作用体积(5)中的对象(10)的特性，改变发射到所述检测器(4)的电磁辐射的强度，以及-基于发射到所述检测器(4)的电磁辐射的强度产生输出信号。

技术总结
一种用于检测对象的装置(1)，包括光学干涉仪(2)，该光学干涉仪被配置为接收来自光源(3)的电磁辐射，并向检测器(4)发射电磁辐射。光学干涉仪(2)耦合到环境,并且被进一步被配置为通过以下方式来对环境中的侵入到光学干涉仪(2)的相互作用体积(5)中的对象(10)作出响应：基于相互作用体积(5)中的对象(10)的特性改变发射到检测器(4)的电磁辐射的强度。信号处理器被配置为基于发射到检测器(4)的电磁辐射的强度产生输出信号。辐射的强度产生输出信号。辐射的强度产生输出信号。


技术研发人员：保罗
受保护的技术使用者：AMS有限公司
技术研发日：2020.11.12
技术公布日：2022/7/9