玻璃膜的制造方法以及玻璃膜的制造装置与流程

1.本发明涉及玻璃膜的制造方法以及玻璃膜的制造装置，特别是涉及用于利用激光将带状的玻璃膜切断而切出规定的宽度方向尺寸的技术。


背景技术：

2.如众所周知的那样，实际情况是，在用于液晶显示器、有机el显示器等平板显示器(fpd)的板玻璃、用于有机el照明的板玻璃、用于作为触摸面板的构成要素的强化玻璃等的制造的板玻璃、以及用于太阳电池的面板等的板玻璃中，薄壁化不断推进。
3.例如在专利文献1中公开有厚度方向尺寸为几百μm以下的板玻璃(玻璃膜)。这种板玻璃也如在该文献所记载的那样，通常是由利用了所谓的溢流下拉法的成形装置连续地成形。
4.在该情况下，已由溢流下拉法连续地成形的长条的玻璃膜在将其搬运方向从铅垂方向转换为水平方向之后，被搬运装置的横搬运部(水平搬运部)继续向下游侧搬运。在该搬运中途，玻璃膜的宽度方向两端部(厚壁部)被切断去除。之后，玻璃膜被卷绕辊呈卷状卷绕，从而成为玻璃卷。
5.作为切断玻璃膜的技术，在专利文献1中公开有利用了激光的切断方法。该切断方法是被称作所谓的激光割断的方法，在该切断方法中，将玻璃膜沿其长度方向搬运的同时，利用金刚石刀具等裂纹形成机构在玻璃膜形成初始裂纹，之后对该部分照射激光并进行加热，之后，利用冷却机构对已加热的部分进行冷却。由此，在玻璃膜产生热应力，在该热应力的作用下使初始裂纹发展，从而该玻璃膜被切断。
6.另外，这种利用激光的切断方法不仅在将带状的玻璃膜的位于宽度方向两端的厚壁部切断的情况下使用，也有时对在去除了上述厚壁部之后的玻璃膜进行。在该情况下，例如如专利文献2所记载那样，将由第一次激光切断去除了厚壁部的玻璃膜呈卷状卷绕，将已呈卷状卷绕的状态的玻璃膜(玻璃卷)向下一工序搬运了后，从该玻璃卷拉出玻璃膜并再次实施激光切断，由此玻璃膜再次被切断为规定的宽度方向尺寸。在第二次激光切断中，由于在成形时产生的厚壁部(耳部)已被去除，因此与第一次激光切断相比能够高精度地将玻璃膜切断成规定的宽度方向尺寸。
7.在如上述那样切断玻璃膜的情况下，对于利用激光的照射的玻璃膜切断，通过利用带式输送机等搬运装置将带状的玻璃膜在沿着其长度方向的方向上搬运的同时利用设置于规定的位置的激光照射装置朝向铅垂下方照射激光来进行。这里，在搬运装置中使用带式输送机的情况下，提出利用一条带对玻璃膜的下表面在其宽度方向整个区域的范围内进行接触支承的方式(参照专利文献1)、以避开激光的照射位置的目的利用在玻璃膜的宽度方向上隔开规定的间隔配设的多条带对该玻璃膜的下表面进行接触支承的方式(参照专利文献2)等。
8.现有技术文献
9.专利文献
10.专利文献1：日本特开2012-240883号公报
11.专利文献2：国际公开2019/049646号公报


技术实现要素：

12.发明要解决的课题
13.然而，作为对去除了厚壁部之后的玻璃膜再次实施切断的方式，不仅考虑如上述那样从一张玻璃膜将一张玻璃膜切出(再次切断)为规定的宽度方向尺寸的方式，还考虑从一张玻璃膜将两张以上的玻璃膜分别切出为规定的宽度方向尺寸的方式。在该情况下，通过根据例如玻璃膜的切断位置来调整激光切断装置(激光照射装置)的宽度方向位置，从而能够利用一个生产线来应对玻璃膜的切出张数的变更。然而，关于带式输送机，由于为大型，因此无法如激光照射装置那样容易地变更宽度方向的位置。因此，在如上述那样多个带式输送机沿玻璃膜的宽度方向排列配设的情况下，根据切出张数、切出后的玻璃膜的宽度方向尺寸，有可能产生带与切断后的玻璃膜的偏向宽度方向一侧的位置接触，导致切断后的玻璃膜斜行的情况。如此一来，会给玻璃膜的切断位置带来影响，因此难以得到稳定的切断品质的玻璃膜。
14.鉴于以上的情况，本发明的应解决的技术课题在于，避免伴随着切断条件的变更带来的玻璃膜的搬运不良而稳定地得到良好品质的玻璃膜。
15.用于解决课题的方案
16.通过本发明的玻璃膜的制造方法实现所述课题的解决。即，该制造方法在利用搬运装置沿规定的方向搬运带状的一次玻璃膜的同时将该带状的一次玻璃膜切断从而得到一个或者多个二次玻璃膜，所述玻璃膜的制造方法的特征在于，通过使用激光切断装置在规定的切断区域向一次玻璃膜照射激光从而进行一次玻璃膜的切断，并且搬运装置包括相对地位于一次玻璃膜的搬运方向上游侧的上游侧输送机以及相对地位于一次玻璃膜的搬运方向下游侧并能够搬运二次玻璃膜的下游侧输送机，下游侧输送机包括能够利用带对二次玻璃膜进行接触支承的多个下游侧带式输送机，并且下游侧输送机构成为能够在一次玻璃膜的宽度方向上调整各下游侧带式输送机的带的位置。需要说明的是，这里所说的一次玻璃膜不仅包括在成形为膜状之后且接受第一次切断加工之前的玻璃膜，还包括在接受第一次切断加工之后且接受第二次切断加工之前的玻璃膜。另外，这里所说的二次玻璃膜不仅包括之后接受进一步的加工的玻璃膜，还包括本发明的切断加工成为最终加工的玻璃膜(即实质上成为最终产品的玻璃膜)。另外，这里所说的一次玻璃膜的宽度方向的意思是指相对于该膜的长度方向以及厚度方向均正交的方向。
17.如此，在本发明的玻璃膜的制造方法中，利用相对地位于一次玻璃膜的搬运方向上游侧的上游侧输送机以及相对地位于搬运方向下游侧并能够搬运二次玻璃膜的下游侧输送机构成搬运装置，并且利用能够由带接触支承二次玻璃膜的多个下游侧带式输送机构成下游侧输送机，能够在一次玻璃膜的宽度方向上调整各下游侧带式输送机的带的位置。由此，不用改变用于搬运一次玻璃膜的上游侧输送机的结构，就能够自由地设定二次玻璃膜的宽度方向上的与带接触的接触支承位置，因此能够根据应由激光切断取得的二次玻璃膜的宽度方向位置或者宽度方向尺寸，将各下游侧带式输送机配设于适当的宽度方向位置。因而，能够以必要最小限度的设备变更来避免带与二次玻璃膜的偏向宽度方向一侧的
位置接触的情况，而防止因该接触位置的偏向引起的二次玻璃膜的斜行等二次玻璃膜的搬运不良。另外，若能不斜行地搬运二次玻璃膜，则能够尽可能避免在宽度方向上相邻的一方的二次玻璃膜的切断面(侧端面)与另一方的二次玻璃膜的切断面(侧端面)干涉的情况，因此能够得到良好切断品质的玻璃膜。
18.另外，在本发明的玻璃膜的制造方法中，也可以是，激光切断装置具有多个激光照射部，激光切断装置构成为能够在一次玻璃膜的宽度方向上调整各激光照射部的位置。
19.通过如此构成，从而能够在宽度方向上自由地设定激光对一次玻璃膜照射的照射位置，因此例如通过调整在宽度方向上相邻的一对激光照射部的宽度方向距离，从而即使在所要求的二次玻璃膜的宽度方向尺寸变更了的情况下，也能够高精度地管理该变更后的宽度方向尺寸。
20.另外，在本发明的玻璃膜的制造方法中，也可以是，通过一次玻璃膜的切断从而取得分别具有规定的宽度方向尺寸的多个二次玻璃膜，根据各二次玻璃膜的宽度方向位置以及宽度方向尺寸，调整带的位置。
21.如此，在切出分别具有规定的宽度方向尺寸的多个二次玻璃膜的情况下，优选为根据各二次玻璃膜的宽度方向位置以及宽度方向尺寸，调整下游侧带式输送机的带的宽度方向位置。如此，通过设定带的宽度方向位置，从而能够将带配置在适合于切出的二次玻璃膜各自的位置、大小的位置，因此能够避免切出的全部二次玻璃膜的斜行而稳定地向准确方向搬运。
22.或者，在如上述那样构成为能够调整激光照射部的位置的情况下，在本发明的玻璃膜的制造方法中，也可以是，在通过一次玻璃膜的切断从而取得分别具有规定的宽度方向尺寸的多个二次玻璃膜的情况下，根据各二次玻璃膜的宽度方向位置以及宽度方向尺寸，分别调整带的位置以及激光照射部的位置。
23.另外，在能够调整激光照射部的位置的情况下，优选为根据各二次玻璃膜的宽度方向位置以及宽度方向尺寸，分别调整下游侧带式输送机的带的位置以及激光照射部的位置。如此，通过设定带以及激光照射部的宽度方向位置，从而能够将带配置在适合于切出的二次玻璃膜各自的位置、大小的位置，并且能够将激光照射部配置在适合于激光切断的位置。因此，能够将各二次玻璃膜切断成准确的宽度方向尺寸，并且能够稳定地将这些全部二次玻璃膜向准确方向搬运。
24.另外，在如上述那样得到多个二次玻璃膜的情况下，在本发明的玻璃膜的制造方法中，也可以是，根据各二次玻璃膜的宽度方向中央位置，调整带的位置。或者也可以是，根据各二次玻璃膜的宽度方向两端位置，调整带的位置。
25.如上述那样，根据本发明的玻璃膜的制造方法，能够根据切出的二次玻璃膜所要求的搬运方式，适当设定带的位置。例如，在将抑制二次玻璃膜的搬运时的晃动等变动作为主要目标的情况下，根据二次玻璃膜的宽度方向两端位置调整带的位置，从而能够将二次玻璃膜在其宽度方向两侧稳定地接触支承。因此，能够抑制上述的变动而稳定地搬运二次玻璃膜。或者，如后述那样，在将避免在宽度方向上相邻的任意一对二次玻璃膜的切断面彼此的接触作为主要目标的情况下，根据二次玻璃膜的宽度方向中央位置调整带，从而能够对二次玻璃膜在其宽度方向中央侧进行接触支承。在该情况下，二次玻璃膜呈与宽度方向中央相比使宽度方向两端侧垂下的形状(朝上方凸出的形状)弯曲变形，从而能够避免刚切
断后的二次玻璃膜的切断面彼此的接触并且将各二次玻璃膜向下游侧搬运。
26.另外，在本发明的玻璃膜的制造方法中，也可以是，多个下游侧带式输送机的至少一部分构成为能够将二次玻璃膜朝向带吸附。
27.通过如此构成为能够将二次玻璃膜朝向带吸附，从而能够将二次玻璃膜相对于带的接触支承方式始终保持在恒定的状态。因此，能够进一步稳定地搬运二次玻璃膜。但是，如后述那样，在考虑到避免刚切断后的二次玻璃膜的切断面彼此的接触的情况下，也能够采用使对相互接近的一方的二次玻璃膜的宽度方向一侧进行支承的带与对另一方的二次玻璃膜的宽度方向另一侧进行支承的带中的任一方进行吸附且使另一方非吸附的结构，例如在后进行叙述。
28.另外，在本发明的玻璃膜的制造方法中，也可以是，上游侧输送机包括能够利用带对一次玻璃膜进行接触支承的多个上游侧带式输送机，并且上游侧输送机构成为多个上游侧带式输送机中的位于一次玻璃膜的宽度方向中央的上游侧带式输送机能够将一次玻璃膜朝向带吸附。
29.激光切断前的玻璃膜(一次玻璃膜)尚允许成形后的尺寸的偏差等，另外在由于为巨大尺寸因此产生了翘曲等变形的状态下进行搬运的情况并不少见。因此，当要利用多个带吸附并搬运上述方式的一次玻璃膜时，存在因长度方向尺寸的左右差(宽度方向一端侧与另一端侧的长度方向尺寸之差)而容易产生褶皱这样的问题。根据以上，从抑制褶皱的产生的观点出发，如上述那样，优选为多个上游侧带式输送机中的位于一次玻璃膜的宽度方向中央的上游侧带式输送机构成为能够将一次玻璃膜朝向带吸附。通过在仅吸附宽度方向中央的状态下搬运一次玻璃膜，从而能够抑制褶皱的产生并且将一次玻璃膜向激光的切断区域供给。
30.另外，在通过一次玻璃膜的切断得到多个二次玻璃膜的情况下，在本发明的玻璃膜的制造方法中，也可以是，用于在宽度方向上相邻的任意一组二次玻璃膜之间形成宽度方向间隙的间隙形成部设置于比下游侧输送机靠一次玻璃膜的搬运方向下游侧的位置。
31.通过如此在比下游侧输送机靠一次玻璃膜的搬运方向下游侧的位置设置间隙形成部，从而不使下游侧输送机的结构复杂化，就能够在二次玻璃膜之间形成规定的宽度方向间隙。这里，二次玻璃膜呈从其基端(位于切断区域)朝向下游侧连续的形态，因此即使在比下游侧输送机靠下游侧的位置设置有间隙形成部的情况下，也能够比较容易地在刚切断后的二次玻璃膜之间形成规定的宽度方向间隙。
32.另外，在如上述那样设置有间隙形成部的情况下，在本发明的玻璃膜的制造方法中，也可以是，间隙形成部具有与二次玻璃膜相同数量的宽度方向中央直径最大的桶状的支承辊，以使各二次玻璃膜向朝上方凸出的方向弯曲变形。
33.如此，通过间隙形成部成为具有宽度方向中央直径最大的桶状的支承辊的结构，从而例如伴随着在比支承辊靠下游侧的位置卷绕二次玻璃膜，二次玻璃膜中的在间隙形成部的支承辊上通过的部分向朝上方凸出的方向弯曲变形。因此，能够利用简单的结构避免二次玻璃膜彼此的接触并安全地搬运各二次玻璃膜。
34.另外，根据以上的说明的玻璃膜的制造方法，能够防止由伴随着切出张数的变更而玻璃膜的支承搬运位置偏向宽度方向一侧导致的玻璃膜的搬运不良，而稳定地得到良好品质的玻璃膜。因此，例如利用位于比下游侧输送机靠搬运方向下游侧的位置的卷绕装置
呈卷状卷绕由上述的方法得到的二次玻璃膜而得到玻璃卷，从而能够与二次玻璃膜的切出数量、其宽度方向尺寸无关地防止卷绕时的偏移，而稳定地得到良好品质的玻璃卷。
35.另外，也通过本发明的玻璃膜的制造装置实现所述课题的解决。即，该制造装置用于在沿规定的方向搬运带状的一次玻璃膜的同时将该带状的一次玻璃膜切断从而得到一个或者多个二次玻璃膜，所述玻璃膜的制造装置的特征在于，具备：搬运装置，其能够沿规定的方向搬运一次玻璃膜；以及激光切断装置，其能够向正在由搬运装置搬运的一次玻璃膜照射激光并在规定的切断区域切断该一次玻璃膜，搬运装置包括相对地位于一次玻璃膜的搬运方向上游侧的上游侧输送机以及相对地位于一次玻璃膜的搬运方向下游侧并能够搬运二次玻璃膜的下游侧输送机，下游侧输送机包括能够利用带对二次玻璃膜进行接触支承的多个下游侧带式输送机，并且下游侧输送机构成为能够在一次玻璃膜的宽度方向上调整各下游侧带式输送机的带的位置。
36.如此，在本发明的玻璃膜的制造装置中，也是利用相对地位于一次玻璃膜的搬运方向上游侧的上游侧输送机以及相对地位于搬运方向下游侧并能够搬运二次玻璃膜的下游侧输送机构成搬运装置，并且利用能够由带接触支承二次玻璃膜的多个下游侧带式输送机构成下游侧输送机，能够在一次玻璃膜的宽度方向上调整各下游侧带式输送机的带的位置。由此，不用改变用于搬运一次玻璃膜的上游侧输送机的结构，就能够自由地设定二次玻璃膜的宽度方向上的与带接触的接触支承位置，因此能够根据应由激光切断取得的二次玻璃膜的宽度方向位置或者宽度方向尺寸，将各下游侧带式输送机配设于适当的宽度方向位置。因而，能够以必要最小限度的设备变更来避免带与二次玻璃膜的偏向宽度方向一侧的位置接触的情况，而防止因该接触位置的偏向引起的二次玻璃膜的斜行等二次玻璃膜的搬运不良。另外，若能不斜行地搬运二次玻璃膜，则能够尽可能避免在宽度方向上相邻的一方的二次玻璃膜的切断面与另一方的二次玻璃膜的切断面干涉的情况，因此能够得到良好切断品质的玻璃膜。
37.发明效果
38.如上所述，根据本发明，能够避免伴随着切断条件的变更带来的玻璃膜的搬运不良，而稳定地得到良好品质的玻璃膜。
附图说明
39.图1是示出本发明的第一实施方式的玻璃膜的制造装置的整体结构的侧视图。
40.图2是图1所示的搬运装置的俯视图。
41.图3是沿着图2中的a-a切断线的搬运装置的剖视图。
42.图4是图2所示的第一平台的俯视图。
43.图5是沿着图4中的b-b切断线的第一平台的剖视图。
44.图6是沿着图5中的c-c切断线的第一平台的剖视图。
45.图7是图2所示的第二平台的俯视图。
46.图8是沿着图7中的d-d切断线的第二平台的剖视图。
47.图9是沿着图8中的e-e切断线的第二平台的剖视图。
48.图10是用于说明图2所示的支承辊的作用的概念图。
49.图11是本发明的第二实施方式的搬运装置的俯视图。
50.图12是本发明的第三实施方式的搬运装置的俯视图。
具体实施方式
51.以下，基于图1～图10对本发明的玻璃膜的制造方法的第一实施方式进行说明。需要说明的是，以下，举出将玻璃膜呈卷状卷绕而最终得到玻璃卷的情况为例来进行说明。
52.如图1所示，本发明的第一实施方式的玻璃膜(玻璃卷)的制造装置1具备：成形部2，其成形带状的母材玻璃膜g；方向转换部3，其将母材玻璃膜g的行进方向从纵向下方转换为横向；第一搬运部4，其在方向转换后将母材玻璃膜g沿横向搬运；第一切断部5，其将母材玻璃膜g的宽度方向两端部切断；以及第一卷绕部6，其将已去除宽度方向两端部的玻璃膜(以下，称作第一玻璃膜。)g1呈卷状卷绕而得到第一玻璃卷grl1。需要说明的是，在本实施方式中，纵向为铅垂方向，横向为水平方向。
53.另外，玻璃卷的制造装置1还具备：拉出部7，其从第一玻璃卷grl1拉出第一玻璃膜g1；第二搬运部8，其将已被拉出部7拉出的第一玻璃膜g1沿横向搬运；第二切断部9，其将第一玻璃膜g1的一部分切断；以及第二卷绕部10，其将由第二切断部9切断而成的玻璃膜(以下，称作第二玻璃膜。)g2呈卷状卷绕而得到第二玻璃卷grl2a、grl2b。
54.需要说明的是，本实施方式中的第一玻璃膜g1相当于本发明的一次玻璃膜，第二玻璃膜相当于本发明的二次玻璃膜。因此，第一玻璃卷grl1相当于本发明的将一次玻璃膜呈卷状卷绕而成的玻璃卷，第二玻璃卷grl2相当于本发明的将二次玻璃膜呈卷状卷绕而成的玻璃卷。
55.另外，本实施方式中的第二卷绕部10相当于本发明的卷绕装置，第二切断部9相当于本发明的激光切断装置，第二搬运部8相当于本发明的搬运装置。
56.成形部2具有：剖视大致楔形的成形体11，其在上端部形成有溢流槽11a；边缘辊12，其配置于成形体11的正下方，且从表背两侧夹着从成形体11溢出的熔融玻璃gm；以及退火炉13，其配备于边缘辊12的正下方。
57.成形部2使从成形体11的溢流槽11a溢出的熔融玻璃gm沿着两侧面分别流下，并在其下端部合流而成形为膜状。边缘辊12对该熔融玻璃gm的宽度方向收缩进行限制并调整母材玻璃膜g的宽度方向尺寸。退火炉13用于对母材玻璃膜g实施除应变处理。退火炉13具有上下方向多段配设的退火辊14。
58.在退火炉13的下方配设有从表背两侧夹持母材玻璃膜g的支承辊15。在支承辊15与边缘辊12之间或者支承辊15与任一部位的退火辊14之间赋予用于促进使母材玻璃膜g成为薄壁的张力。
59.方向转换部3设置于支承辊15的下方位置。在方向转换部3呈弯曲状排列有对母材玻璃膜g进行引导的多个引导辊16。这些引导辊16将沿铅垂方向搬运的母材玻璃膜g向横向引导。
60.第一搬运部4配置于方向转换部3的行进方向前方(下游侧)。第一搬运部4通过对具有支承搬运面的驱动部进行驱动，从而将通过了方向转换部3的母材玻璃膜g沿着其长度方向向下游侧搬运。需要说明的是，第一搬运部4能够采用任意的结构，例如能够包括一个或者多个带式输送机。在该情况下，具有支承搬运面的驱动部是带，通过对该带进行驱动，从而能以上述的方案搬运母材玻璃膜g。当然，第一搬运部4并不局限于上述例示的结构，也
能够使用辊式输送机及其他各种搬运装置。
61.第一切断部5配置于第一搬运部4的上方。在本实施方式中，第一切断部5构成为能够通过激光割断将母材玻璃膜g切断。具体而言，第一切断部5具有一对激光照射装置17a以及配置于该激光照射装置17a的下游侧的一对冷却装置17b。第一切断部5在从各激光照射装置17a向所搬运的母材玻璃膜g的规定部位照射激光l并进行了加热之后，从冷却装置17b释放出冷媒r而对该加热部位进行冷却。
62.第一卷绕部6设置于第一搬运部4以及第一切断部5的下游侧。第一卷绕部6通过使卷芯18旋转，从而将第一玻璃膜g1呈卷状卷绕。如此得到的第一玻璃卷grl1被搬运到拉出部7的位置。拉出部7将由第一卷绕部6得到的第一玻璃卷grl1从第一玻璃膜g1拉出，并向第二搬运部8上供给。
63.第二搬运部8将在拉出部7中从第一玻璃卷grl1拉出的第一玻璃膜g1沿着横向(以下，称作搬运方向x。)搬运。这里，如图2以及图3所示，第二搬运部8包括两个输送机19、20。在该情况下，第二搬运部8的支承搬运面被由第二切断部9进行切断的第一玻璃膜g1的切断区域21(图2中的由单点划线包围的区域)断开。由此，第二搬运部8形成被分割为位于比切断区域21靠第一玻璃膜g1的搬运方向上游侧的位置的上游侧输送机19以及位于比切断区域21靠搬运方向下游侧的位置的下游侧输送机20的结构。
64.其中，上游侧输送机19具有多个上游侧带式输送机22。这些多个上游侧带式输送机22均构成为利用带(以下，称作第一带23。)在相同的方向上接触支承第一玻璃膜g1并能够将该第一玻璃膜g1向下游侧搬运。这里，各第一带23例如为环带状的带，将第一玻璃膜g1在其长度方向上接触的整个区域的范围内保持为大致水平姿态，各第一带23设定在相同的高度方向位置。由此，利用成为第一玻璃膜g1的支承搬运面的各第一带23的表面23a构成沿着水平方向的第一玻璃膜g1的运送线pl(参照后述的图5等)。
65.这里，如图3所示，各上游侧带式输送机22具有上述的环带状的第一带23、用于对第一带23赋予张力并且将第一带23配设在规定的位置的多个带轮24以及支承这些多个带轮24的支承体25。支承体25固定于地板面。另外，在多个带轮24中的规定的带轮24(驱动带轮24a)连结有马达等驱动源26(参照图2)，利用该驱动源26对驱动带轮24a赋予驱动力，从而各上游侧带式输送机22的第一带23能够被朝向规定的方向驱动。
66.另外，上述结构的多个上游侧带式输送机22分别设置于规定的宽度方向位置。这里，设想在上游侧输送机19上搬运宽度方向尺寸互不相同的多种第一玻璃膜g1，并以在所设想的各第一玻璃膜g1的宽度方向两端侧进行接触支承的方式设定各第一带23的宽度方向位置。另外，在本实施方式中，不论宽度方向尺寸的大小如何，都以能够对全部第一玻璃膜g1在其宽度方向中央位置进行接触支承的方式配设上游侧带式输送机22(参照图2)，并且该上游侧带式输送机22构成为能够将第一玻璃膜g1吸附于成为其支承搬运面的第一带23的表面23a。在本实施方式中，在第一带23的表面23a形成有多个孔23b，通过该孔23b进行吸气，从而第一玻璃膜g1能被吸附于表面23a。
67.下游侧输送机20具有多个下游侧带式输送机27。这些多个下游侧带式输送机27均构成为利用带(以下，称作第二带28。)在相同的方向上对切断后的第一玻璃膜g1、即第二玻璃膜g2a、g2b进行接触支承并能够将该第二玻璃膜g2a、g2b向下游侧搬运。这里，各第二带28例如为环带状的带，并以将第二玻璃膜g2a、g2b在其长度方向上接触的整个区域的范围
内保持为大致水平姿态的方式将各第二带28设定在相同的高度方向位置。由此，利用成为第一玻璃膜g1的支承搬运面的各第一带23的表面23a以及成为第二玻璃膜g2a、g2b的支承搬运面的各第二带28的表面28a构成沿着水平方向的第一玻璃膜g1的切断前后的运送线pl、即第二搬运部8的运送线pl。
68.这里，如图3所示，各下游侧带式输送机27具有上述的环带状的第二带28、用于对第二带28赋予张力并且将第二带28配设于规定的位置的多个带轮29以及支承这些多个带轮29的支承体30。另外，在多个带轮29中的规定的带轮29(驱动带轮29a)连结有马达等驱动源31(参照图2)，利用驱动源31对驱动带轮29a赋予驱动力，从而各下游侧带式输送机27的第二带28能够被朝向规定的方向驱动。该驱动源31与上游侧带式输送机22的驱动源26分别独立地设置。因此，能够不连动地单独控制各驱动源26、31的驱动，进而不连动地单独控制上游侧带式输送机22与下游侧带式输送机27的驱动。
69.另外，多个下游侧带式输送机27构成为能够分别设置在规定的宽度方向位置，并且能够在第一玻璃膜g1的宽度方向上调整各第二带28的位置。具体而言，在各下游侧带式输送机27的下方配设有沿第一玻璃膜g1的宽度方向延伸的导轨部32。并且，在构成各下游侧带式输送机27的支承体30的下部安装有能够在与导轨部32之间相对移动的滑动部33。由此，各支承体30的滑动部33相对于导轨部32在宽度方向上滑动，从而支承于各支承体30的多个带轮29以及支承于这些带轮29的第二带28能够一体地在宽度方向上滑动。需要说明的是，各下游侧带式输送机27的驱动带轮29a被支承为能够相对于共用的轴34在宽度方向上滑动。因此，能够自由地变更相对于轴34的在宽度方向上的位置，并且在任意的宽度方向位置接受来自驱动源31的驱动力而进行驱动。
70.在本实施方式中，如图2所示，以一对第二带28位于作为切断后的第一玻璃膜g1的各第二玻璃膜g2a、g2b的宽度方向两端附近的方式调整各第二带28(各下游侧带式输送机27)的宽度方向位置。需要说明的是，如本实施方式那样，在将第一玻璃膜g1的宽度方向两端部割弃，并且从该一张第一玻璃膜g1切出两张第二玻璃膜g2a、g2b的情况下，由于下游侧带式输送机27中的一个变得不需要，因此例如优选为使位于宽度方向最外侧的下游侧带式输送机27移动到退避空间35。由此，在可靠地避免不需要的下游侧带式输送机27与第二玻璃膜g2a、g2b干涉的情况的同时，利用各两个下游侧带式输送机27支承搬运两张第二玻璃膜g2a、g2b，并且利用各一个下游侧带式输送机27分别支承搬运割弃了的第一玻璃膜g1的宽度方向端部。需要说明的是，在本实施方式中，如图2所示，全部下游侧带式输送机27的第二带28构成为能够将第二玻璃膜g2a、g2b吸附于成为其支承搬运面的表面28a。在本实施方式中，在第二带28的表面28a形成有多个孔28b，通过该孔28b进行吸气，从而第二玻璃膜g2a、g2b能被吸附于表面28a。
71.第二切断部9配置于第二搬运部8中的位于上游侧输送机19与下游侧输送机20之间的区域的上方(参照图1以及图3)。在本实施方式中，第二切断部9构成为能够利用激光割断将第一玻璃膜g1切断，且具有多个激光照射装置36以及配置于各激光照射装置36的下游侧的冷却装置37。在该情况下，冷却装置37以与激光照射装置36相同的数量配置。在本实施方式中，由第二切断部9进行切断的第一玻璃膜g1的切断区域21设置于宽度方向上的三个部位(参照图2)，因此激光照射装置36与冷却装置37各配设三个。上述结构的第二切断部9构成为在从各激光照射装置36向所搬运的第一玻璃膜g1的规定部位照射激光l并进行了加
热之后，能够从冷却装置37释放出冷媒r而对该加热部位进行冷却。详情见后述。
72.另外，在本实施方式中，如图2所示，在与上述的第一玻璃膜g1的切断区域21在宽度方向上分离的位置配设有能够对由第二搬运部8搬运的第一玻璃膜g1进行接触支承的第一平台38。准确地讲，在与切断后的第一玻璃膜g1(第二玻璃膜g2a、g2b)的宽度方向中央侧对应的位置配设有第一平台38。在本实施方式中，由于从一张第一玻璃膜g1切出两张第二玻璃膜g2a、g2b，因此在相对于切断区域21位于宽度方向上并且与各第二玻璃膜g2a、g2b的宽度方向中央对应的位置分别有配设第一平台38。这些第一平台38设置于地板面并固定，且始终处于静止的状态，对此省略图示。
73.这里，如图4所示，第一平台38具有能够接触支承第一玻璃膜g1的第一支承面39以及能够将第一玻璃膜g1朝向第一支承面39吸引的第一吸引部40。
74.第一平台38例如由金属形成为大致长方体状。在本实施方式中，如图5所示，第一支承面39由设置于第一平台38的上侧的片构件41的表面构成。该片构件41例如由树脂等与第一玻璃膜g1接触时的阻力小的材料或者相对于第一玻璃膜g1的滑动性良好的材料形成。需要说明的是，在本实施方式中，利用片构件41的表面构成第一支承面39，但当然也可以利用第一平台38的上表面构成第一支承面39。
75.另外，第一支承面39的高度方向位置既可以是与第一玻璃膜g1的运送线pl相同的位置，但也可以例如如图5以及图6所示，设定得比运送线pl稍(例如3mm以内的范围)高。由此，能更可靠地使第一玻璃膜g1与第一支承面39紧贴。
76.在本实施方式中，第一吸引部40具有在第一支承面39开口的第一吸气口42、与第一吸气口42连通的连通空间43、进行连通空间43内部的排气的泵等排气部44以及将连通空间43和排气部44连接的连接管45(均参照图3)。在本实施方式中，第一吸气口42呈槽状。另外，该呈槽状的第一吸气口42以沿着第一玻璃膜g1的长度方向、即搬运方向延伸的方式形成于第一支承面39(参照图4)。第一吸气口42以贯通片构件41并且在第一平台38的上表面开口的方式形成。另外，在本实施方式中，第一吸气口42的长度方向两端相对于第一平台38的侧面开口。因此，第一吸气口42的两端开口部42a、42a成为相对于外部空间(外部空气)始终开放的状态。
77.在第一吸气口42的底面形成有多个贯通孔42b，且与在支承第一平台38的支承构件46形成的连通空间43相连。在该情况下，贯通孔42b形成于第一平台38，连通空间43形成于支承构件46。连接管45安装于支承构件46。也可以是，排气部44例如为共用，且利用与第一平台38相同的数量的连接管45与一个排气部44连接。或者也可以是，连通空间43为共用且在一个支承构件46支承有多个第一平台38。在该情况下，一根连接管45安装于一个支承构件46。根据形成以上的结构的第一吸引部40，通过排气部44的驱动，进行来自在第一支承面39开口的第一吸气口42以及位于其长度方向两端的两端开口部42a、42a的吸气。因此，在第一平台38的第一支承面39上搬运第一玻璃膜g1的情况下，通过上述吸气动作，第一玻璃膜g1的下表面被相对于第一支承面39吸引。
78.另外，在本实施方式中，如图2所示，在上述的第一玻璃膜g1的切断区域21配设有能够接触支承第一玻璃膜g1的第二平台47。在本实施方式中，采取将第一玻璃膜g1在宽度方向上的三个部位切断的方式，因此分别对三个部位的切断区域21配设有三个第二平台47。这些第二平台47设置并固定于地板面，且成为始终静止的状态，对此省略图示。
79.这里，如图7所示，第二平台47具有能够接触支承第一玻璃膜g1的第二支承面48以及能够将第一玻璃膜g1朝向第二支承面48吸引的第二吸引部49。
80.第二平台47例如由金属形成为大致长方体状。第二支承面48在本实施方式中，如图8所示，由设置于第二平台47的上侧的片构件50的表面构成。该片构件50例如由树脂等与第一玻璃膜g1接触时的阻力小的材料或者相对于第一玻璃膜g1的滑动性良好的材料形成。需要说明的是，在本实施方式中，利用片构件50的表面构成了第二支承面48，但当然也可以利用第二平台47的上表面构成第二支承面48。
81.另外，第二支承面48的高度方向位置可以为与第一玻璃膜g1的运送线pl相同的位置，但例如也可以如图8以及图9所示那样设定得比运送线pl稍(例如3mm以内的范围)高。由此，能更可靠地使第一玻璃膜g1与第二支承面48紧贴。
82.在本实施方式中，如图8以及图9所示，第二吸引部49具有在第二支承面48开口的第二吸气口51、位于第二吸气口51的宽度方向两侧的一对第三吸气口52、52、与第二吸气口51及第三吸气口52、52连通的连通空间53、进行连通空间53内部的排气的泵等排气部54以及将连通空间53与排气部54连接的连接管55。
83.在本实施方式中，第二吸气口51以及第三吸气口52均以呈沿着第一玻璃膜g1的搬运方向x延伸的长孔形状的方式形成于第二支承面48。这里，第二吸气口51的宽度方向尺寸、长度方向尺寸以与第三吸气口52的宽度方向尺寸、长度方向尺寸相平衡的方式设定为适当的大小。换言之，优选为根据所需的对第一玻璃膜g1的吸引力(变形力)，适当地设定上述的尺寸，特别是第二吸气口51的各种尺寸与第三吸气口52的各种尺寸的大小关系。
84.上述结构的第二吸气口51以及一对第三吸气口52、52形成于片构件50与第二平台47。这些第二吸气口51以及第三吸气口52、52以将片构件50与第二平台47分别在上下方向上贯通的方式形成，并与在从下方支承第二平台47的支承构件56形成的连通空间53相连。在该情况下，连通空间53形成于支承构件56，连接管55安装于支承构件56的下侧。可以是，排气部54例如为共用，且利用与第二平台47相同的数量的连接管55与一个排气部54连接。或者也可以是连通空间53为共用且在一个支承构件56支承有多个第二平台47。在该情况下，一根连接管55安装于一个支承构件56。另外，在本实施方式中，在支承构件56与第二平台47之间形成有在支承构件56的宽度方向开口且能够吸引外部的空气的狭缝部57。
85.根据形成以上的结构的第二吸引部49，通过排气部54的驱动，进行来自在第二支承面48开口的第二吸气口51与第三吸气口52、52以及狭缝部57的吸气。因此，在第二平台47的第二支承面48上搬运第一玻璃膜g1的情况下，通过上述吸气动作，第一玻璃膜g1的下表面被相对于第二支承面48吸引。
86.另外，如本实施方式那样，在利用第一吸引部40与第二吸引部49设置分别独立的排气部44、54的情况下，能够单独控制吸引力。例如，能够以第一吸引部40对第一玻璃膜g1的吸引力比第二吸引部49对第一玻璃膜g1的吸引力小的方式，单独地调整各吸引部40、49的吸引力，换言之单独地调整各排气部44、54的排气量。当然，也能够在第一吸引部40与第二吸引部49使排气部共用(省略图示)，从而简化结构。
87.激光照射装置36通过向沿着搬运方向x移动的第一玻璃膜g1的规定部位照射激光l，从而对该部位进行局部加热。如图9所示，激光照射装置36具有多个激光照射部36a。各激光照射部36a配置于第二平台47的第二吸气口51的上方。由此，激光照射部36a向通过在第
二支承面48开口的第二吸气口51的第一玻璃膜g1的多个部位照射激光l。来自各激光照射部36a的激光l的照射位置o设定成位于与第一玻璃膜g1的搬运方向x大致平行的直线上。
88.冷却装置37在第一玻璃膜g1的搬运方向x上配置于激光照射装置36的下游侧。冷却装置37对第一玻璃膜g1中的通过上述激光l的照射被局部加热的部位供给冷媒r而对该部位进行冷却。
89.在比第二搬运部8靠下游侧的位置设置有用于在宽度方向上相邻的一组第二玻璃膜g2a、g2b之间形成宽度方向间隙的间隙形成部58。在本实施方式中，该间隙形成部58具有宽度方向中央直径最大的桶状的支承辊59a、59b，以使各第二玻璃膜g2a、g2b向朝上方凸出的方向弯曲变形。在本实施方式中，切出两张第二玻璃膜g2a、g2b，因此配设两个支承辊59a、59b。另外，在本实施方式中，如图10所示，配设有喷嘴60a、60b，该喷嘴60a、60b用于从上方朝向被支承辊59a、59b支承的各第二玻璃膜g2a、g2b的宽度方向两端部吹送空气等气体。
90.第二卷绕部10配设于比第二搬运部8靠下游侧的位置。具体而言，第二卷绕部10利用卷芯61a、61b将由第二搬运部8搬运的第二玻璃膜g2a、g2b卷绕从而得到第二玻璃卷grl2a、grl2b。在本实施方式中，切出两张第二玻璃膜g2a、g2b，因此分别卷绕这些两张第二玻璃膜g2a、g2b，从而得到两个第二玻璃卷grl2a、grl2b。
91.作为由上述结构的制造装置1制造的第二玻璃膜g2a、g2b(第一玻璃膜g1)的材质，使用硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃，优选使用硼硅酸玻璃、钠钙玻璃、铝硅酸盐玻璃、化学强化玻璃，最优选使用无碱玻璃。这里，无碱玻璃是指实质上不含碱成分(碱金属氧化物)的玻璃，具体而言，是指碱成分的重量比为3000ppm以下的玻璃。本发明中的碱成分的重量比优选为1000ppm以下，更优选为500ppm以下，最优选为300ppm以下。
92.另外，第二玻璃膜g2a、g2b(第一玻璃膜g1)的厚度尺寸为10μm以上且300μm以下，优选为30μm以上且200μm以下，最优选为30μm以上且100μm以下。
93.以下，对使用上述结构的制造装置1来制造第二玻璃膜g2a、g2b(在本实施方式中为第二玻璃卷grl2a、grl2b)的方法进行说明。本方法包括成形工序s1、两端部去除工序s2、第一卷绕工序s3、拉出工序s4、切断工序s5以及第二卷绕工序s6。
94.在成形工序s1中，如图1所示，使从成形部2中的成形体11的溢流槽11a溢出了的熔融玻璃gm沿着成形体11的两侧面分别流下，并在其下端合流而成形为膜状。此时，利用边缘辊12限制熔融玻璃gm的宽度方向收缩并制成规定宽度的母材玻璃膜g。之后，利用退火炉13对母材玻璃膜g实施除应变处理(退火工序)。在支承辊15的张力的作用下，母材玻璃膜g形成为规定的厚度。
95.在两端部去除工序s2中，同样如图1所示，利用方向转换部3以及第一搬运部4将母材玻璃膜g向下游侧进给的同时，在第一切断部5中从激光照射装置17a对母材玻璃膜g的一部分激光l照射并进行加热。之后，利用冷却装置17b向已加热的部位吹送冷媒r。由此，在母材玻璃膜g产生热应力。在母材玻璃膜g预先形成有初始裂纹，使该裂纹在热应力的作用下发展。由此，母材玻璃膜g的宽度方向两端部被去除，形成第一玻璃膜g1。
96.接着，在第一卷取工序s3中，同样如图1所示，通过在卷芯18卷绕第一玻璃膜g1，从而得到第一玻璃卷grl1。之后，第一玻璃卷grl1被向拉出部7移送。在拉出工序s4中，从被移送到拉出部7的第一玻璃卷grl1拉出第一玻璃膜g1，并利用第二搬运部8将该第一玻璃膜g1
向第二搬运部8上的切断区域21搬运(参照图2以及图3)。
97.在切断工序s5中，利用激光照射装置36向第一玻璃膜g1中的通过第二搬运部8上的切断区域21的部分照射激光l，并且对已照射的区域吹送冷媒r，从而进行第一玻璃膜g1的沿着搬运方向x的方向的切断。另外，此时，第一玻璃膜g1被上游侧输送机19在沿着搬运方向x的方向上搬运，并在配设在相对于切断区域21沿宽度方向分离的位置的第一平台38的第一支承面39上通过(参照图2)。这里，通过使第一吸引部40的排气部44工作(预先使其始终工作)，从而通过在第一支承面39开口的第一吸气口42对第一支承面39上的第一玻璃膜g1作用向下的吸引力，第一玻璃膜g1被朝向第一支承面39吸引。由此，第一玻璃膜g1在承受朝向第一支承面39的力(约束力)的状态下被接触支承的同时被沿搬运方向x搬运。另外，根据第一吸引部40的吸引力的程度，第一玻璃膜g1的被吸引部分变形(例如如图5所示，向朝下方凸出的方向弯曲变形)。
98.另外，在本实施方式中，在切断区域21配设有第二平台47，因此如上述那样第一玻璃膜g1在切断区域21上通过的同时，也在第二平台47的第二支承面48上通过(参照图2)。这里，使第二吸引部49的排气部54工作，从而通过在第二支承面48开口的第二吸气口51以及一对第三吸气口52、52对第二支承面48上的第一玻璃膜g1作用向下的吸引力，第一玻璃膜g1被朝向第二支承面48吸引。由此，第一玻璃膜g1被第二支承面48接触支承的同时被沿着搬运方向x搬运。另外，根据第二吸引部49的吸引力的程度，第一玻璃膜g1的被吸引部分变形(例如如图8所示，各吸气口51、52正上方的部分分别向朝下方凸出的方向弯曲变形)。
99.需要说明的是，此时，第一吸引部40的吸引力例如通过对排气部44的输出、各开口部(第一吸气口42、两端开口部42a、42a)的形状、尺寸进行调整从而被控制为适当的大小。同样，第二吸引部49的吸引力例如通过对排气部54的输出、各开口部(第二吸气口51、第三吸气口52以及狭缝部57)的形状、尺寸进行调整从而被控制为适当的大小。
100.在上述的吸引力的调整中，当增大吸引力时，上述的第一玻璃膜g1的变形量变大，另一方面，第一玻璃膜g1的上下移动的幅度存在变小的倾向。相反，当减小吸引力时，上述的变形量变小，另一方面，上下移动的幅度存在变大的倾向。因而，优选的是，在能够允许的上下移动的幅度的范围内尽可能减小变形量。
101.在切断工序s5中，如上述那样将第一玻璃膜g1吸引于第一平台38的第一支承面39以及第二平台47的第二支承面48的同时利用第二搬运部8(上游侧输送机19)沿规定的搬运方向x搬运第一玻璃膜g1，并且从激光照射装置36的激光照射部36a向第一玻璃膜g1照射多束激光l(激光照射工序)。激光l照射至第一玻璃膜g1中的在第二平台47的第二吸气口51上通过的部分。
102.通过上述那样的激光l的照射，在其照射位置o(参照图7)处第一玻璃膜g1被加热。之后，第一玻璃膜g1中的已加热的部分当到达位于第二吸气口51的下游侧的冷却装置37的正下方时，喷淋从冷却装置37朝向下方喷射的冷媒r而被冷却。在由激光照射装置36的局部加热带来的膨胀与由冷却装置37的冷却带来的收缩的作用下在第一玻璃膜g1产生热应力。在第一玻璃膜g1由未图示的机构预先形成有初始裂纹，并利用上述的热应力使初始裂纹发展，从而第一玻璃膜g1在其宽度方向规定位置处被连续地切断(割断)。在本实施方式中，通过在宽度方向的三个部位进行上述的激光切断，从而第一玻璃膜g1的宽度方向两端部被割弃，并且切出两张分别具有规定的宽度方向尺寸的第二玻璃膜g2a、g2b(参照图2)。这些第
二玻璃膜g2a、g2b被位于比切断区域21靠搬运方向x的下游侧的位置的下游侧输送机20朝向位于比下游侧输送机20靠搬运方向x的下游侧的位置的第二卷绕部10搬运。
103.在第二卷绕工序s6中，利用分别配设于规定的位置的卷芯61a、61b卷绕第二玻璃膜g2a、g2b。通过卷绕规定长度的第二玻璃膜g2a、g2b，从而得到第二玻璃卷grl2a、grl2b。
104.另外，在本实施方式中，在下游侧输送机20与第二卷绕部10之间配设有作为间隙形成部58的支承辊59a、59b，因此在各支承辊59a、59b上通过的第二玻璃膜g2仿照支承辊59a、59b的外周面形状而变形(这里，向朝上方凸出的方向弯曲变形)的同时被向下游侧搬运。由此，在刚切断后的第二玻璃膜g2a、g2b之间形成规定的宽度方向间隙(参照图10)，因此能够避免切断面彼此的干涉而分别向第二卷绕部10搬运。
105.如以上说明的那样，在本实施方式的玻璃膜(第二玻璃膜g2a、g2b)的制造方法中，利用相对地位于第一玻璃膜g1的搬运方向x的上游侧的上游侧输送机19以及相对地位于搬运方向x的下游侧并能够搬运第二玻璃膜g2a、g2b的下游侧输送机20构成作为搬运装置的第二搬运部8，并且利用能够由第二带28接触支承第二玻璃膜g2a、g2b的多个下游侧带式输送机27构成下游侧输送机20，能够在第一玻璃膜g1的宽度方向上调整各下游侧带式输送机27的第二带28的位置。由此，不用改变用于搬运第一玻璃膜g1的上游侧输送机19的结构，就能够自由地设定第二玻璃膜g2a、g2b的宽度方向上的与第二带28接触的接触支承位置，因此能够根据应由激光切断取得的第二玻璃膜g2a、g2b的宽度方向位置或者宽度方向尺寸，将各下游侧带式输送机27配设在适当的宽度方向位置。因而，能够以必要最小限度的设备变更来避免第二带28与第二玻璃膜g2a、g2b的偏向宽度方向一侧的位置接触的情况，而防止因该接触位置的偏向引起的第二玻璃膜g2a、g2b的斜行等第二玻璃膜g2a、g2b的搬运不良。另外，若能不斜行地搬运第二玻璃膜g2a、g2b，则能够尽可能避免在宽度方向上相邻的一方的第二玻璃膜g2a的切断面(侧端面)与另一方的第二玻璃膜g2b的切断面(侧端面)干涉的情况，因此能够得到良好切断品质的第二玻璃膜g2a、g2b。
106.另外，在本实施方式中，在通过第一玻璃膜g1的切断来取得分别具有规定的宽度方向尺寸的多个第二玻璃膜g2a、g2b的情况下，根据各第二玻璃膜g2a、g2b的宽度方向位置以及宽度方向尺寸，调整第二带28的位置。由此，能够将第二带28配置在适合于切出的第二玻璃膜g2a、g2b各自的位置、大小的位置，因此能够避免切出的全部第二玻璃膜g2a、g2b的斜行而稳定地向准确的方向搬运。特别是，在本实施方式中，构成为能够根据各第二玻璃膜g2a、g2b的宽度方向两端位置调整第二带28的位置，因此能够将第二玻璃膜g2a、g2b在其宽度方向两侧稳定地接触支承。因此，能够抑制第二玻璃膜g2a、g2b的搬运时的晃动等变动而稳定地搬运第二玻璃膜g2a、g2b。
107.另外，在本实施方式中，设为将用于在宽度方向上相邻的任意一组的第二玻璃膜g2a、g2b之间形成宽度方向间隙的间隙形成部58(这里为支承辊59a、59b)设置于比下游侧输送机20靠第一玻璃膜g1的搬运方向下游侧的位置。由此，第二玻璃膜g2a、g2b中的在间隙形成部58的支承辊59a、59b上通过的部分向朝上方凸出的方向弯曲变形。因此，即使在如上述那样利用下游侧带式输送机27接触支承第二玻璃膜g2a、g2b的宽度方向两端的情况下，也能够避免刚切断后的第二玻璃膜g2a、g2b彼此的接触而安全地搬运各第二玻璃膜g2a、g2b。
108.以上，说明了本发明的玻璃膜的制造方法以及制造装置的第一实施方式，但该制
造方法以及制造装置当然能够在本发明的范围内采用任意的方式。
109.图11示出本发明的玻璃膜的制造方法的第二实施方式。即，在上述的第一实施方式中，例示了在从一张第一玻璃膜g1切出两张第二玻璃膜g2a、g2b时应用本发明的情况下的结构，但在本实施方式中例示出在从一张第一玻璃膜g1切出三张第二玻璃膜g2a、g2b、g2c时应用本发明的情况下的结构。即，在本实施方式中，在图11所示的制造装置1中，根据切出的第二玻璃膜g2a～g2c的宽度方向位置以及宽度方向尺寸，调整下游侧带式输送机27的宽度方向位置。即，如图11所示，多个下游侧带式输送机27构成为能够沿着导轨部32在宽度方向上滑动，例如根据第二玻璃膜g2a～g2c的宽度方向两端位置，在宽度方向上调整这些多个下游侧带式输送机27的第二带28的位置。
110.另外，在本实施方式中，根据第二玻璃膜g2a～g2c的宽度方向位置以及宽度方向尺寸，调整第一平台38以及第二平台47的数量以及宽度方向位置。另外，根据第二玻璃膜g2a～g2c的宽度方向位置以及宽度方向尺寸，调整激光照射装置36以及冷却装置37的数量以及宽度方向位置。即，在位置调整后的各第二平台47上配置激光照射装置36以及冷却装置37，对此省略图示。
111.需要说明的是，在下游侧输送机20与第二卷绕部10之间设置间隙形成部58的情况下，如图11所示，根据第二玻璃膜g2a～g2c的宽度方向位置以及宽度方向尺寸，将适当的宽度方向尺寸的支承辊59a～59c分别配置于适当的宽度方向位置。
112.如此，根据第二玻璃膜g2a～g2c的宽度方向位置以及宽度方向尺寸，在宽度方向上调整下游侧带式输送机27的位置，从而能够在宽度方向上均等的位置支承搬运第二玻璃膜g2a。因此，即使在切出的第二玻璃膜g2a～g2c的张数、宽度方向尺寸变更的情况下，也能够避免第二带28与偏向宽度方向一侧的位置接触的情况，防止因该接触位置的偏向引起的第二玻璃膜g2a～g2c的斜行等第二玻璃膜g2a～g2c的搬运不良。
113.另外，在上述实施方式中，例示出以能够对从第一玻璃膜g1切出的各第二玻璃膜g2a、g2b在其宽度方向两端附近进行接触支承的方式在宽度方向上调整多个下游侧带式输送机27的位置的情况(参照图2以及图11)，但当然也能够采用除此以外的配置方案。图12示出其一例(本发明的第三实施方式)。在本实施方式中，如图12所示，多个下游侧带式输送机27构成为能够沿着导轨部32在宽度方向上滑动，并根据第二玻璃膜g2a～g2c中的至少一部分的第二玻璃膜g2a、g2c的宽度方向中央位置，在宽度方向上调整所对应的两对下游侧带式输送机27的第二带28的位置。
114.如此在宽度方向上调整下游侧带式输送机27的位置，从而能够对所对应的第二玻璃膜g2a、g2c在其宽度方向中央位置进行接触支承。在该情况下，第二玻璃膜g2a、g2c呈与宽度方向中央相比使宽度方向两端侧垂下的形状(朝上方凸出的形状)弯曲变形，因此能够避免刚切断后的第二玻璃膜g2a(g2c)、g2b的切断面彼此的接触并且将各第二玻璃膜g2a～g2c向下游侧搬运。
115.另外，在上述实施方式中，例示出在第一玻璃膜g1的切断区域21配置第二平台47，并且在相对于切断区域21在宽度方向上分离的位置配置第一平台38的情况，但当然并不限定于此。只要不对激光切断带来大到一定程度的影响，则也可以以使支承搬运面通过切断区域21的方式配设第三输送机(省略图示)，并省略第一平台38与第二平台47中的至少一方。
116.另外，搬运装置(第二搬运部8)的支承搬运面并不一定需要在搬运方向x上在与切断区域21对应的位置断开。例如，也可以是，第二搬运部8的支承搬运面在从切断区域21向搬运方向x的下游侧偏移的位置断开。
117.需要说明的是，在以上的说明中，例示了使作为搬运装置的第二搬运部8被切断区域21分割而成的上游侧输送机19与下游侧输送机20均包括带式输送机的情况，但当然也能够采用除此以外的方式。例如，也能够利用辊式输送机及其他各种搬运装置构成上游侧输送机19。
118.另外，在以上的说明中，例示了从一张第一玻璃膜g1切出两张(或者三张)第二玻璃膜g2a、g2b(g2a～g2c)的情况，但当然也能够在切出宽度方向尺寸不同的一张第二玻璃膜g2a的情况下应用本发明，另外，也能够在切出四张以上的第二玻璃膜g2a
…
的情况下应用本发明。
119.另外，在以上的说明中，说明了对利用第一切断部5将母材玻璃膜g的宽度方向两端部切断而得到的第一玻璃膜g1应用本发明的情况，但在第一切断部5对母材玻璃膜g的切断中也能够应用本发明。在该情况下，第一搬运部4能够通过采用与图2等所示的第二搬运部8相同的结构而实施本发明。
120.另外，在以上的说明中，说明了对呈带状的第一玻璃膜g1应用本发明的情况，但当然也能够对呈除此以外的形态的第一玻璃膜g1应用本发明。即，也能够将本发明应用于矩形形状等的单张状的板玻璃(玻璃膜)，对此省略图示。另外，也可以不必将切断而得到的第二玻璃膜g2a
···
呈卷状卷绕。换言之，也能够将本发明应用于未呈卷状卷绕的第二玻璃膜g2a
…
的制造工序。
121.附图标记说明
122.1：制造装置，2：成形部，3：方向转换部，4：第一搬运部，5：第一切断部，6：第一卷绕部，7：拉出部，8：第二搬运部，9：第二切断部，10：第二卷绕部，11：成形体，17a：激光照射装置，17b：冷却装置，19：上游侧输送机，20：下游侧输送机，21：切断区域，22：上游侧带式输送机，23、28：带，26、31：驱动源，27：下游侧带式输送机，32：导轨部，33：滑动部，35：退避空间，36：激光照射装置，37：冷却装置，38：第一平台，39：第一支承面，40：第一吸引部，41、50：片构件，42：第一吸气口，42a、42a：两端开口部，42b：贯通孔，43、53：连通空间，44、54：排气部，45、55：连接管，46、56：支承构件，47：第二平台，48：第二支承面，49：第二吸引部，51：第二吸气口，52：第三吸气口，57：狭缝部，58：间隙形成部，59a、59b、59c：支承辊，60a、60b：喷嘴，g：母材玻璃膜，g1：第一玻璃膜，g2a、g2b、g2c：第二玻璃膜，gm：熔融玻璃，grl1：第一玻璃卷，grl2a、grl2b、grl2c：第二玻璃卷，l：激光，pl：运送线，r：冷媒。