阴极射线发光电子显微镜的制作方法

技术特征：
1.一种电磁物镜，包括：壳体，在其顶部表面有入口孔径，在其底部有出口孔径；径向定位在壳体内的电磁线圈；光收集光学元件，其定位在壳体内并且包括具有第一轴向孔径的凹镜和具有第二轴向孔径的凸镜；电子束偏转器，其定位在壳体内并且包括第一组偏转器和定位在第一组偏转器下方的第二组偏转器，其中，第二组偏转器定位在由假想锥限定的区域内，假想锥从第一轴向孔径延伸至电磁线圈的焦点。2.如权利要求1所述的电磁物镜，其中，第二组偏转器至少部分地定位在第二轴向孔径内。3.如权利要求1所述的电磁物镜，其中，第二组偏转器定位在凸镜下方。4.如权利要求1所述的电磁物镜，其中，第二组偏转器定位在凸镜的阻碍锥内。5.如权利要求1所述的电磁物镜，其中，第一组偏转器至少部分地定位在第一轴向孔径内。6.如权利要求5所述的电磁物镜，其中，第二组偏转器至少部分地定位在第二轴向孔径内。7.如权利要求5所述的电磁物镜，其中，第二组偏转器定位在凸镜下方。8.如权利要求1所述的电磁物镜，其中，第一组偏转器和第二组偏转器中的每一个包括四极或八极中的一个。9.如权利要求1所述的电磁物镜，其中，光收集光学元件包括schwarzschild反射物镜。10.如权利要求1所述的电磁物镜，其中，光收集光学元件包括消球差的且无限远校正的反射物镜。11.如权利要求1所述的电磁物镜，还包括定位在电磁物镜内的消像散器。12.如权利要求1所述的电磁物镜，还包括将凸镜机械地附接到凹镜的连接器。13.如权利要求1所述的电磁物镜，其中，由光收集光学元件的焦点和凸镜的外径限定的立体角比由光收集光学元件的焦点和凹镜的外径限定的立体角小至少0.3球面度。14.一种扫描电子显微镜，包括：样品架；电子柱，其定位成将电子束引导到定位在样品架上的样品上；以及光成像器，其定位成接收来自电子柱的光束；其中，电子柱包括：真空外壳；电子源；定位在真空外壳内的电磁物镜，电磁物镜包括壳体，所述壳体在其顶部表面有入口孔径且在其底部有出口孔径；径向定位在壳体内的电磁线圈；光物镜，其定位在壳体内并且包括具有第一轴向孔径的凹镜和具有第二轴向孔径的凸镜；电子束偏转器，其定位在壳体内并且包括第一组偏转器和定位在第一组偏转器下方的
第二组偏转器，其中，第二组偏转器定位在第一轴向孔径下方，并且第一组偏转器定位在第二组偏转器上方。15.如权利要求14所述的扫描电子显微镜，其中，光成像器包括定位在真空外壳的外部的成像单色器和定位成接收来自成像单色器的光的光传感器。16.如权利要求15所述的扫描电子显微镜，其中，样品架包括低温台。17.如权利要求16所述的扫描电子显微镜，其中，电子源包括脉冲电子源。18.如权利要求14所述的扫描电子显微镜，其中，第一组偏转器至少部分地定位在第一轴向孔径内。19.如权利要求18所述的扫描电子显微镜，其中，第二组偏转器至少部分地定位在第二轴向孔径内。20.如权利要求14所述的扫描电子显微镜，其中，第二组偏转器定位在由从第一孔径延伸至电磁线圈的焦点的假想锥限定的区域内。21.如权利要求14所述的扫描电子显微镜，还包括将凸镜机械地附接到凹镜的连接器。22.如权利要求14所述的电磁物镜，其中，由光收集光学元件的焦点和凸镜的外径限定的立体角比由光收集光学元件的焦点和凹镜的外径限定的立体角小至少0.3球面度。

技术总结
一种具有电子柱的扫描电子显微镜，该电子柱定位成将电子束引导到样品上，该电子柱具有：真空外壳；电子源；以及定位在真空外壳内的电磁物镜，该电磁物镜包括壳体，该壳体在其顶面具有入口孔径且在其底部具有出口孔径；径向定位在壳体内的电磁线圈；光物镜，其定位在壳体内并且包括具有第一轴向孔径的凹镜和具有第二轴向孔径的凸镜；电子束偏转器，其定位在壳体内并且包括第一组偏转器和定位在第一组偏转器下方的第二组偏转器，其中，第二组偏转器定位在第一轴向孔径下方，并且第一组偏转器定位在第二组偏转器上方。定位在第二组偏转器上方。定位在第二组偏转器上方。


技术研发人员：J
受保护的技术使用者：阿托莱特股份公司
技术研发日：2020.05.11
技术公布日：2022/7/9