一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯的制作方法

技术特征：
1.一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，包括滤芯(1)，其特征在于：所述滤芯(1)的底部通过固定机构连接有转轴(2)，所述转轴(2)的外壁套设有轴套(3)，所述轴套(3)的内部转轴(2)的外壁由外到内依次对称设有轴承(4)和磁极块(5)，所述磁极块(5)之间转轴(2)的外壁上套设有磁铁(6)，所述磁极块(5)内侧壁面与转轴(2)之间转轴(2)的外壁上设有若干磁流体液(7)，所述轴套(3)的一侧设有排气口(17)，所述排气口(17)与轴套(3)内下方的磁铁(6)与轴承(4)之间的部分相对应。2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，其特征在于：所述固定机构包括滤芯(1)底部开设的连接槽(14)内部设有的连接头(8)，所述连接头(8)套设在转轴(2)的外壁上，所述连接头(8)的顶部开设有若干固定槽(10)，所述固定槽(10)内部设有一端与转轴(2)固定连接的固定块(9)，所述连接头(8)的外壁连接有若干连接块(11)，所述滤芯(1)底部连接槽(14)的外侧开设若干与连接块(11)相匹配的卡槽(16)，所述连接块(11)一侧设有螺杆(12)，所述螺杆(12)一端穿过连接块(11)并延伸至卡槽(16)内顶部开设的限制槽(15)内，所述限制槽(15)内部设有限制块(13)，所述限制块(13)与螺杆(12)一端固定连接。3.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，其特征在于：所述轴套(3)的顶部设有密封圈，所述磁极块(5)与轴套(3)的内壁之间设有密封圈。4.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，其特征在于：所述限制槽(15)截面为t字形，所述限制槽(15)由一个矩形槽和圆形槽组合形成。5.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，其特征在于：所述螺杆(12)与连接块(11)螺纹连接，所述连接块(11)与连接头(8)固定连接，所述螺杆(12)的下端连接有把手。6.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，其特征在于：若干所述卡槽(16)呈圆周等距阵列方式分布，且所述卡槽(16)与连接槽(14)相连通，所述连接块(11)与卡槽(16)相对应。

技术总结
本实用新型公开了一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，包括滤芯，所述滤芯的底部通过固定机构连接有转轴，所述转轴的外壁套设有轴套，所述轴套的内部转轴的外壁由外到内依次对称设有轴承和磁极块，所述磁极块之间转轴的外壁上套设有磁铁，本实用新型通过设有的转轴、轴套、轴承、磁极块、磁铁磁流体液和排气口之间的配合使用，使其能够避免对高粉尘尾气处理时，防止粉尘堵塞滤芯孔，并通过高速旋转滤芯将粉尘甩出以通过滤筒进行收集，提高了滤芯和帮浦的寿命；通过设有的连接头、固定块、连接块、螺杆和限制块之间的配合使用，使其能够便于将滤芯与转轴连接固定，同时也方便拆卸更换滤芯。也方便拆卸更换滤芯。也方便拆卸更换滤芯。


技术研发人员：刘峰 吴铭钦
受保护的技术使用者：苏州工业园区雨竹半导体有限公司
技术研发日：2021.11.23
技术公布日：2022/7/8