1.本实用新型涉及一种匀胶显影机光刻胶回收装置，属于匀胶显影机技术领域。
背景技术：
2.在匀胶显影机的工作过程中，会使用到较多的光刻胶，而这些光刻胶在旋转匀胶的过程中，会被甩落较多，造成资源的浪费，虽然也有一些光刻胶回收装置，但是存在以下不足：1、光刻胶具有粘附性，不便于将内壁上附着的光刻胶进行收集；2、回收后不能及时将光刻胶储存，容易使光刻胶受到污染。
技术实现要素：
3.本实用新型要解决的技术问题克服现有的缺陷，提供一种匀胶显影机光刻胶回收装置，以解决上述背景技术中的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
5.一种匀胶显影机光刻胶回收装置，包括匀胶机，所述匀胶机顶部固定连接有匀胶罐，所述匀胶罐内设有作业盘，所述作业盘底部连接有转杆，所述作业盘外侧设有集胶箱，所述集胶箱的位置结构与作业盘相匹配，所述匀胶罐上设有刮壁机构，所述刮壁机构包括气缸、升降板、升降杆、刮壁环，所述刮壁环外侧紧靠集胶箱内壁。
6.进一步的，所述匀胶机上设有控制面板，所述匀胶机两侧设有散热通孔。
7.进一步的，所述气缸顶部通过升降板连接升降杆，所述升降杆底端固定连接刮壁环。
8.进一步的，所述集胶箱内腔底部呈倾斜结构，所述集胶箱顶部开设有槽口。
9.进一步的，所述集胶箱一侧靠近底部的位置设有排胶口，所述排胶口连接有排胶管。
10.进一步的，所述排胶管底端连接有储胶罐，所述储胶罐上设有观察窗。
11.进一步的，所述储胶罐底部设有支撑台，所述支撑台固定连接匀胶机。
12.本实用新型的有益效果是：1、通过设置刮壁机构，其结构包括气缸、升降板、升降杆、刮壁环，在匀胶工作结束后，刮壁环可以将附着在集胶箱内壁的光刻胶刮下，避免大量光刻胶附着；
13.2、通过设置排胶口、排胶管、储胶罐等结构，可以及时将光刻胶收集并储存，避免光刻胶受到污染。
附图说明
14.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的具体实施方式一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
15.图1是本实用新型一种匀胶显影机光刻胶回收装置的外观图；
16.图2是本实用新型一种匀胶显影机光刻胶回收装置的侧视图；
17.图3是本实用新型一种匀胶显影机光刻胶回收装置的匀胶罐的剖视图；
18.图4是本实用新型一种匀胶显影机光刻胶回收装置的集胶箱的外观图。
19.图中标号：1、匀胶机；2、匀胶罐；3、作业盘；4、转杆；5、集胶箱；6、刮壁机构；7、气缸；8、升降板；9、升降杆；10、刮壁环；11、控制面板；12、散热通孔；13、槽口；14、排胶口；15、排胶管；16、储胶罐；17、观察窗；18、支撑台。
具体实施方式
20.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
21.如图1-图4所示，一种匀胶显影机光刻胶回收装置，包括匀胶机1，所述匀胶机1顶部固定连接有匀胶罐2，所述匀胶罐2内设有作业盘3，所述作业盘3底部连接有转杆4，转杆4底端伸入匀胶机1内，所述作业盘3外侧设有集胶箱5，所述集胶箱5的位置结构与作业盘3相匹配，所述匀胶罐2上设有刮壁机构6，所述刮壁机构6包括气缸7、升降板8、升降杆9、刮壁环10，所述刮壁环10外侧紧靠集胶箱5内壁。
22.具体的，如图1所示，所述匀胶机1上设有控制面板11，所述匀胶机1两侧设有散热通孔12。
23.具体的，如图2所示，所述集胶箱5一侧靠近底部的位置设有排胶口14，所述排胶口14连接有排胶管15，所述排胶管15底端连接有储胶罐16，所述储胶罐16上设有观察窗17，所述储胶罐16底部设有支撑台18，所述支撑台18固定连接匀胶机1。
24.具体的，如图3所示，所述气缸7顶部通过升降板8连接升降杆9，所述升降杆9底端固定连接刮壁环10，所述集胶箱5内腔底部呈倾斜结构，所述集胶箱5顶部开设有槽口13。
25.本实用新型工作原理：在匀胶工作完成后，部分光刻胶粘附在集胶箱5内壁上，启动刮壁机构6的气缸7，进而升降板8带动升降杆9下移，进而刮壁环10下移刮下附着的光刻胶，光刻胶集中在集胶箱5内腔底部，进而光刻胶经排胶口14、排胶管15后收集在储胶罐16内，以避免光刻胶的污染，有利于人们的使用。
26.以上为本实用新型较佳的实施方式，本实用新型所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改，因此，本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，凡是本领域技术人员在本实用新型的基础上所作的任何显而易见的改进.替换或变型均属于本实用新型的保护范围。
技术特征：
1.一种匀胶显影机光刻胶回收装置，包括匀胶机(1)，其特征在于，所述匀胶机(1)顶部固定连接有匀胶罐(2)，所述匀胶罐(2)内设有作业盘(3)，所述作业盘(3)底部连接有转杆(4)，所述作业盘(3)外侧设有集胶箱(5)，所述集胶箱(5)的位置结构与作业盘(3)相匹配，所述匀胶罐(2)上设有刮壁机构(6)，所述刮壁机构(6)包括气缸(7)、升降板(8)、升降杆(9)、刮壁环(10)，所述刮壁环(10)外侧紧靠集胶箱(5)内壁。2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机光刻胶回收装置，其特征在于：所述匀胶机(1)上设有控制面板(11)，所述匀胶机(1)两侧设有散热通孔(12)。3.根据权利要求2所述的一种匀胶显影机光刻胶回收装置，其特征在于：所述气缸(7)顶部通过升降板(8)连接升降杆(9)，所述升降杆(9)底端固定连接刮壁环(10)。4.根据权利要求3所述的一种匀胶显影机光刻胶回收装置，其特征在于：所述集胶箱(5)内腔底部呈倾斜结构，所述集胶箱(5)顶部开设有槽口(13)。5.根据权利要求4所述的一种匀胶显影机光刻胶回收装置，其特征在于：所述集胶箱(5)一侧靠近底部的位置设有排胶口(14)，所述排胶口(14)连接有排胶管(15)。6.根据权利要求5所述的一种匀胶显影机光刻胶回收装置，其特征在于：所述排胶管(15)底端连接有储胶罐(16)，所述储胶罐(16)上设有观察窗(17)。7.根据权利要求6所述的一种匀胶显影机光刻胶回收装置，其特征在于：所述储胶罐(16)底部设有支撑台(18)，所述支撑台(18)固定连接匀胶机(1)。
技术总结
本实用新型公开了一种匀胶显影机光刻胶回收装置，包括匀胶机，所述匀胶机顶部固定连接有匀胶罐，所述匀胶罐内设有作业盘，所述作业盘底部连接有转杆，所述作业盘外侧设有集胶箱，所述集胶箱的位置结构与作业盘相匹配，所述匀胶罐上设有刮壁机构，所述刮壁机构包括气缸、升降板、升降杆、刮壁环，所述气缸顶部通过升降板连接升降杆，所述升降杆底端固定连接刮壁环，所述刮壁环外侧紧靠集胶箱内壁，所述集胶箱一侧靠近底部的位置设有排胶口，所述排胶口连接有排胶管，该匀胶显影机光刻胶回收装置设置了集胶箱，可以回收光刻胶，并且设置了刮壁机构，避免光刻胶粘附在集胶箱内壁上，有利于光刻胶的回收再利用。于光刻胶的回收再利用。于光刻胶的回收再利用。
技术研发人员：贺武峰 吴想
受保护的技术使用者：江西维易尔半导体设备有限公司
技术研发日：2022.02.14
技术公布日：2022/7/8
再多了解一些
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