一种真空镀膜机用移动轨道的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜机部件技术领域，特别涉及一种真空镀膜机用移动轨道。


背景技术：

2.真空镀膜机是一种在基片表面进行薄膜的设备，其中，为了方便对基片架进行位移，所以移动轨道是十分必要的。
3.以往的移动轨道存在以下缺点：1、滚轮沿轨道移动时只具备单一导向结构，在位移时的稳定性效果不佳；2、不具备对与滚轮接触的导槽内壁进行喷气清洁的结构，导槽内壁不能方便进行自清洁。为此，我们提出一种真空镀膜机用移动轨道。


技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的在于提供一种真空镀膜机用移动轨道，可以有效解决背景技术中的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
6.一种真空镀膜机用移动轨道，包括固定块、条形框板、第一导槽和固定板，所述固定块外侧设置有条形框板，所述条形框板一端设置有转槽且转槽内套设有转轴，所述转轴一端连接有滚轮，所述固定块内顶部和内底部均设置有第一导槽，所述滚轮位于第一导槽内，所述条形框板顶端下侧和底端上侧均设置有导块，所述固定块顶部和底部均开设有第二导槽，所述导块位于第二导槽内。
7.进一步地，所述固定块一端开设有与第一导槽和滚轮贯通的凹槽，所述固定块另一端外侧设置有多通阀，所述多通阀的进液端连接有进气管，所述多通阀的出液端连接有出气管，所述出气管端部贯穿固定块且通入凹槽内，外部气源经过增压泵的增压后，在经由进气管进入多通阀，最终经由出气管进入凹槽内，从而可以利用增压后的高压气体喷出，对第一导槽内进行清洁，使得本移动轨道的导槽具备自清洁功能。
8.进一步地，所述进气管外侧设置有增压泵，所述增压泵的进液端和出液端均通过管道连接有第一法兰，所述进气管端部连接有第二法兰，其中一组所述第一法兰与第二法兰之间通过螺钉进行紧固连接。
9.进一步地，所述转轴外围设置有链轮，所述转轴端部外围套设有轴承且轴承外围设置有固定板。
10.进一步地，所述固定板一端靠近拐角处均贯穿开设有安装孔，所述固定板底部焊接有滑块，利用安装孔与外部螺栓配合，方便将基片架固定在固定板一侧，滑块套设在外部限位轨道上，方便对固定板的转动自由度进行限定，使得固定板只能进行水平移动。
11.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
12.1.本实用新型一种真空镀膜机用移动轨道，在条形框板顶部开设螺孔，外部驱动电机可安装在条形框板顶部，外部驱动电机的动力输出端连接外部链轮，将链条套接在外
部链轮和链轮外围，从而可以通过外部驱动电机的工作带动转轴进行转动，利用安装孔与外部螺栓配合，方便将基片架固定在固定板一侧，滑块套设在外部限位轨道上，方便对固定板的转动自由度进行限定，使得固定板只能进行水平移动，使得外部驱动电机工作时，通过滚轮在第一导槽内的滚动，带动固定板进行水平移动，使得安装在固定板一侧的基片架水平移动，通过第一导槽对滚轮的导向作用，以及第二导槽对导块的导向作用，使得本轨道的滚轮在移动时具备多组导向结构，在位移时的稳定效果更好。
13.2.本实用新型一种真空镀膜机用移动轨道，外部气源经过增压泵的增压后，在经由进气管进入多通阀，最终经由出气管进入凹槽内，从而可以利用增压后的高压气体喷出，对第一导槽内进行清洁，使得本移动轨道的导槽具备自清洁功能。
附图说明
14.图1为本实用新型一种真空镀膜机用移动轨道的整体结构示意图。
15.图2为本实用新型一种真空镀膜机用移动轨道的增压泵、进气管和多通阀结构示意图。
16.图3为本实用新型一种真空镀膜机用移动轨道的转轴、链轮和固定板结构示意图。
17.图中：1、固定块；2、条形框板；3、转轴；4、链轮；5、轴承；6、固定板；7、安装孔；8、滚轮；9、第一导槽；10、滑块；11、凹槽；12、进气管；13、多通阀；14、增压泵；15、第一法兰；16、第二法兰；17、第二导槽；18、导块；19、出气管。
具体实施方式
18.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
19.如图1-3所示，一种真空镀膜机用移动轨道，包括固定块1、条形框板2、第一导槽9和固定板6，所述固定块1外侧设置有条形框板2，所述条形框板2一端设置有转槽且转槽内套设有转轴3，所述转轴3一端连接有滚轮8，所述固定块1内顶部和内底部均设置有第一导槽9，所述滚轮8位于第一导槽9内，所述条形框板2顶端下侧和底端上侧均设置有导块18，所述固定块1顶部和底部均开设有第二导槽17，所述导块18位于第二导槽17内。
20.其中，所述固定块1一端开设有与第一导槽9和滚轮8贯通的凹槽11，所述固定块1另一端外侧设置有多通阀13，所述多通阀13的进液端连接有进气管12，所述多通阀13的出液端连接有出气管19，所述出气管19端部贯穿固定块1且通入凹槽11内。
21.本实施例中如图1和图2所示，外部气源经过增压泵14的增压后，在经由进气管12进入多通阀13，最终经由出气管19进入凹槽11内，从而可以利用增压后的高压气体喷出，对第一导槽9内进行清洁，使得本移动轨道的导槽具备自清洁功能。
22.其中，所述进气管12外侧设置有增压泵14，所述增压泵14的进液端和出液端均通过管道连接有第一法兰15，所述进气管12端部连接有第二法兰16，其中一组所述第一法兰15与第二法兰16之间通过螺钉进行紧固连接。
23.本实施例中如图1和图2所示，通过第一法兰15与第二法兰16之间连接，方便对增压泵14与进气管12之间进行连接。
24.其中，所述转轴3外围设置有链轮4，所述转轴3端部外围套设有轴承5且轴承5外围
设置有固定板6。
25.本实施例中如图1和图3所示，外部驱动电机的动力输出端连接外部链轮，将链条套接在外部链轮和链轮4外围，从而可以通过外部驱动电机的工作带动转轴3进行转动。
26.其中，所述固定板6一端靠近拐角处均贯穿开设有安装孔7，所述固定板6底部焊接有滑块10。
27.本实施例中如图1和图3所示，利用安装孔7与外部螺栓配合，方便将基片架固定在固定板6一侧，滑块10套设在外部限位轨道上，方便对固定板6的转动自由度进行限定，使得固定板6只能进行水平移动。
28.需要说明的是，本实用新型为一种真空镀膜机用移动轨道，工作时，在条形框板2顶部开设螺孔，外部驱动电机可安装在条形框板2顶部，外部驱动电机的动力输出端连接外部链轮，将链条套接在外部链轮和链轮4外围，从而可以通过外部驱动电机的工作带动转轴3进行转动，利用安装孔7与外部螺栓配合，方便将基片架固定在固定板6一侧，滑块10套设在外部限位轨道上，方便对固定板6的转动自由度进行限定，使得固定板6只能进行水平移动，使得外部驱动电机工作时，通过滚轮8在第一导槽9内的滚动，带动固定板6进行水平移动，使得安装在固定板6一侧的基片架水平移动，通过第一导槽9对滚轮8的导向作用，以及第二导槽17对导块18的导向作用，使得本轨道的滚轮8在移动时具备多组导向结构，在位移时的稳定效果更好，外部气源经过增压泵14的增压后，在经由进气管12进入多通阀13，最终经由出气管19进入凹槽11内，从而可以利用增压后的高压气体喷出，对第一导槽9内进行清洁，使得本移动轨道的导槽具备自清洁功能。
29.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。